די קאָוטינג מעטהאָדס פון פאָטאָרעסיסט זענען בכלל צעטיילט אין ומדריי קאָוטינג, טונקען קאָוטינג און זעמל קאָוטינג, צווישן וואָס ומדריי קאָוטינג איז די מערסט קאַמאַנלי געניצט. דורך ומדריי קאָוטינג, פאָטאָרעסיסט איז דריפּט אויף די סאַבסטרייט, און די סאַבסטרייט קענען זיין ראָוטייטיד מיט הויך גיכקייַט צו באַקומען אַ פאָטאָרעסיסט פילם. נאָך דעם, אַ האַרט פילם קענען זיין באקומען דורך באַהיצונג עס אויף אַ הייס טעלער. ספּין קאָוטינג איז פּאַסיק פֿאַר קאָוטינג פון הינטער-דין פילמס (וועגן 20נם) צו דיק פילמס פון וועגן 100ום. זייַן טשאַראַקטעריסטיקס זענען גוט יונאַפאָרמאַטי, מונדיר פילם גרעב צווישן ווייפערז, ווייניק חסרונות, אאז"ו ו, און אַ פילם מיט הויך קאָוטינג פאָרשטעלונג קענען זיין באקומען.
ומדריי קאָוטינג פּראָצעס
בעשאַס ספּין קאָוטינג, די הויפּט ראָוטיישאַן גיכקייַט פון די סאַבסטרייט דיטערמאַנז די פילם גרעב פון די פאָטאָרעסיסט. די שייכות צווישן די ראָוטיישאַן גיכקייַט און די פילם גרעב איז ווי גייט:
ספּין=קטן
אין די פאָרמולע, ספּין איז די ראָוטיישאַן גיכקייַט; ה איז די פילם גרעב; k און n זענען קעסיידערדיק.
סיבות וואָס ווירקן די ומדריי קאָוטינג פּראָצעס
כאָטש די פילם גרעב איז באשלאסן דורך די הויפּט ראָוטיישאַן גיכקייַט, עס איז אויך שייַכות צו צימער טעמפּעראַטור, הומידיטי, פאָטאָרעסיסט וויסקאָסיטי און פאָטאָרעסיסט טיפּ. פאַרגלייַך פון פאַרשידענע טייפּס פון פאָטאָרעסיסט קאָוטינג קורוועס איז געוויזן אין פיגורע 1.
פיגורע 1: פאַרגלייַך פון פאַרשידענע טייפּס פון פאָטאָרעסיסט קאָוטינג קורוועס
די השפּעה פון הויפּט ראָוטיישאַן צייַט
די קירצער די הויפּט ראָוטיישאַן צייַט, די טיקער די פילם גרעב. ווען די הויפּט ראָוטיישאַן צייַט איז געוואקסן, די טינער די פילם ווערט. ווען עס יקסידז 20 ס, די פילם גרעב בלייבט כּמעט אַנטשיינדזשד. דעריבער, די הויפּט ראָוטיישאַן צייט איז יוזשאַוואַלי אויסגעקליבן צו זיין מער ווי 20 סעקונדעס. די שייכות צווישן די הויפּט ראָוטיישאַן צייט און די פילם גרעב איז געוויזן אין פיגורע 2.
פיגורע 2: שייכות צווישן הויפּט ראָוטיישאַן צייט און פילם גרעב
ווען די פאָטאָרעסיסט איז דריפּט אַנטו די סאַבסטרייט, אפילו אויב די סאַבסאַקוואַנט הויפּט ראָוטיישאַן גיכקייַט איז די זעלבע, די ראָוטיישאַן גיכקייַט פון די סאַבסטרייט בעשאַס די דריפּינג וועט ווירקן די לעצט פילם גרעב. די גרעב פון די פאָטאָרעסיסט פילם ינקריסיז מיט די פאַרגרעסערן פון די סאַבסטרייט ראָוטיישאַן גיכקייַט בעשאַס די דריפּינג, וואָס איז רעכט צו דער השפּעה פון סאַלוואַנט יוואַפּעריישאַן ווען די פאָטאָרעסיסט איז אַנפאָולדאַד נאָך דריפּינג. פיגורע 3 ווייזט די שייכות צווישן די פילם גרעב און די הויפּט ראָוטיישאַן גיכקייַט אין פאַרשידענע סאַבסטרייט ראָוטיישאַן ספּידז בעשאַס די פאָטאָרעסיסט דריפּינג. עס קענען זיין געזען פון די פיגור אַז מיט די פאַרגרעסערן פון די ראָוטיישאַן גיכקייַט פון די דריפּינג סאַבסטרייט, די פילם גרעב ענדערונגען פאַסטער, און דער חילוק איז מער קלאָר ווי דער טאָג אין דער געגנט מיט נידעריקער הויפּט ראָוטיישאַן גיכקייַט.
פיגורע 3: שייכות צווישן פילם גרעב און הויפּט ראָוטיישאַן גיכקייַט אין פאַרשידענע סאַבסטרייט ראָוטיישאַן ספּידז בעשאַס פאָטאָרעסיסט דיספּענסינג
ווירקונג פון הומידיטי בעשאַס קאָוטינג
ווען הומידיטי דיקריסאַז, די פילם גרעב ינקריסיז, ווייַל די פאַרקלענערן אין הומידיטי פּראַמאָוץ די יוואַפּעריישאַן פון די סאַלוואַנט. אָבער, די פילם גרעב פאַרשפּרייטונג טוט נישט טוישן באטייטיק. פיגורע 4 ווייזט די שייכות צווישן הומידיטי און פילם גרעב פאַרשפּרייטונג בעשאַס קאָוטינג.
פיגורע 4: באַציונג צווישן הומידיטי און פילם גרעב פאַרשפּרייטונג בעשאַס קאָוטינג
ווירקונג פון טעמפּעראַטור בעשאַס קאָוטינג
ווען די דרינענדיק טעמפּעראַטור ריסעס, די פילם גרעב ינקריסיז. עס קענען זיין געזען פֿון פיגור 5 אַז די פאָטאָרעסיסט פילם גרעב פאַרשפּרייטונג ענדערונגען פון קאַנוועקס צו קאָנקאַווע. די ויסבייג אין די פיגור אויך ווייזט אַז די העכסטן יונאַפאָרמאַטי איז באקומען ווען די דרינענדיק טעמפּעראַטור איז 26 ° C און די פאָטאָרעסיסט טעמפּעראַטור איז 21 ° C.
פיגורע 5: שייכות צווישן טעמפּעראַטור און פילם גרעב פאַרשפּרייטונג בעשאַס קאָוטינג
ווירקונג פון ויסמאַטערן גיכקייַט בעשאַס קאָוטינג
פיגורע 6 ווייזט די שייכות צווישן ויסמאַטערן גיכקייַט און פילם גרעב פאַרשפּרייטונג. אין דער אַוועק פון ויסמאַטערן, עס ווייזט אַז דער צענטער פון די ווייפער טענדז צו טיקאַן. פאַרגרעסערן די ויסמאַטערן גיכקייַט וועט פֿאַרבעסערן די יונאַפאָרמאַטי, אָבער אויב עס איז געוואקסן צו פיל, די יונאַפאָרמאַטי וועט פאַרמינערן. עס קענען זיין געזען אַז עס איז אַ אָפּטימאַל ווערט פֿאַר די ויסמאַטערן גיכקייַט.
פיגורע 6: שייכות צווישן ויסמאַטערן גיכקייַט און פילם גרעב פאַרשפּרייטונג
HMDS באַהאַנדלונג
אין סדר צו מאַכן די פאָטאָרעסיסט מער קאָאַטאַבאַל, די ווייפער דאַרף זיין באהאנדלט מיט העקסאַמעטהילדיסילאַסאַנע (HMDS). ספּעציעל ווען נעץ איז אַטאַטשט צו די ייבערפלאַך פון די סי אַקסייד פילם, סילאַנאָל איז געשאפן, וואָס ראַדוסאַז די אַדכיזשאַן פון די פאָטאָרעסיסט. אין סדר צו באַזייַטיקן נעץ און צעלאָזן סילאַנאָל, די ווייפער איז יוזשאַוואַלי העאַטעד צו 100-120 ° C, און נעפּל המדס איז באַקענענ צו פאַרשאַפן אַ כעמישער רעאַקציע. דער אָפּרוף מעקאַניזאַם איז געוויזן אין פיגורע 7. דורך HMDS באַהאַנדלונג, די כיידראָופיליק ייבערפלאַך מיט אַ קליין קאָנטאַקט ווינקל ווערט אַ כיידראָופאָביק ייבערפלאַך מיט אַ גרויס קאָנטאַקט ווינקל. באַהיצונג די ווייפער קענען באַקומען העכער פאָטאָרעסיסט אַדכיזשאַן.
פיגורע 7: HMDS אָפּרוף מעקאַניזאַם
די ווירקונג פון HMDS באַהאַנדלונג קענען זיין באמערקט דורך מעסטן די קאָנטאַקט ווינקל. פיגורע 8 ווייזט די שייכות צווישן HMDS באַהאַנדלונג צייט און קאָנטאַקט ווינקל (באַהאַנדלונג טעמפּעראַטור 110 ° C). די סאַבסטרייט איז סי, די HMDS באַהאַנדלונג צייט איז מער ווי 1 מין, די קאָנטאַקט ווינקל איז גרעסער ווי 80 °, און די באַהאַנדלונג ווירקונג איז סטאַביל. פיגורע 9 ווייזט די שייכות צווישן HMDS באַהאַנדלונג טעמפּעראַטור און קאָנטאַקט ווינקל (באַהאַנדלונג צייט 60 ס). ווען די טעמפּעראַטור יקסידז 120 ℃, די קאָנטאַקט ווינקל דיקריסאַז, וואָס ינדיקייץ אַז HMDS דיקאַמפּאָוזד רעכט צו היץ. דעריבער, HMDS באַהאַנדלונג איז יוזשאַוואַלי דורכגעקאָכט ביי 100-110 ℃.
פיגורע 8: שייכות צווישן HMDS באַהאַנדלונג צייט
און קאָנטאַקט ווינקל (באַהאַנדלונג טעמפּעראַטור 110 ℃)
פיגורע 9: שייכות צווישן HMDS באַהאַנדלונג טעמפּעראַטור און קאָנטאַקט ווינקל (באַהאַנדלונג צייט 60 ס)
HMDS באַהאַנדלונג איז דורכגעקאָכט אויף אַ סיליציום סאַבסטרייט מיט אַ אַקסייד פילם צו פאָרעם אַ פאָטאָרעסיסט מוסטער. דער אַקסייד פילם איז דעמאָלט עטשט מיט הידראָפלואָריק זויער מיט אַ באַפער צוגעגעבן, און עס איז געפונען אַז נאָך HMDS באַהאַנדלונג, די פאָטאָרעסיסט מוסטער קענען זיין געהאלטן פון פאַלינג אַוועק. פיגורע 10 ווייזט די ווירקונג פון HMDS באַהאַנדלונג (מוסטער גרייס איז 1ום).
פיגורע 10: HMDS באַהאַנדלונג ווירקונג (מוסטער גרייס איז 1ום)
פּרעבאַקינג
אין דער זעלביקער ראָוטיישאַן גיכקייַט, די העכער די פּרעבאַקינג טעמפּעראַטור, דער קלענערער די פילם גרעב, וואָס ינדיקייץ אַז די העכער די פּרעבאַקינג טעמפּעראַטור, די מער סאַלוואַנט יוואַפּערייץ, ריזאַלטינג אין אַ טינער פילם גרעב. פיגורע 11 ווייזט די שייכות צווישן די פאַר-באַקינג טעמפּעראַטור און דיל ס א פּאַראַמעטער. דער א פּאַראַמעטער ינדיקייץ די קאַנסאַנטריישאַן פון די פאָטאָסענסיטיווע אַגענט. ווי קענען זיין געזען פון די פיגור, ווען די פאַר-באַקינג טעמפּעראַטור ריסעס צו העכער 140 ° C, די א פּאַראַמעטער דיקריסאַז, וואָס ינדיקייץ אַז די פאָטאָסענסיטיווע אַגענט דיקאַמפּאָוזיז אין אַ טעמפּעראַטור העכער ווי דעם. פיגורע 12 ווייזט די ספּעקטראַל טראַנסמיטטאַנס ביי פאַרשידענע פאַר-באַקינג טעמפּעראַטורעס. ביי 160 ° C און 180 ° C, אַ פאַרגרעסערן אין טראַנסמיטטאַנס קענען זיין באמערקט אין די ווייוולענגט קייט פון 300-500 נם. דעם קאַנפערמז אַז די פאָטאָסענסיטיווע אַגענט איז בייקט און דיקאַמפּאָוזד אין הויך טעמפּעראַטורעס. די פאַר-באַקינג טעמפּעראַטור האט אַ אָפּטימאַל ווערט, וואָס איז באשלאסן דורך ליכט קעראַקטעריסטיקס און סענסיטיוויטי.
פיגורע 11: שייכות צווישן פאַר-באַקינג טעמפּעראַטור און דיל ס א פּאַראַמעטער
(געמאסטן ווערט פון OFPR-800/2)
פיגורע 12: ספּעקטראַל טראַנסמיטטאַנס אין פאַרשידענע פאַר-באַקינג טעמפּעראַטורעס
(OFPR-800, 1ום פילם גרעב)
אין קורץ, די ספּין קאָוטינג אופֿן האט יינציק אַדוואַנטידזשיז אַזאַ ווי גענוי קאָנטראָל פון פילם גרעב, הויך פּרייַז פאָרשטעלונג, מילד פּראָצעס טנאָים און פּשוט אָפּעראַציע, אַזוי עס האט באַטייַטיק יפעקץ אין רידוסינג פאַרפּעסטיקונג, שפּאָרן ענערגיע און ימפּרוווינג פּרייַז פאָרשטעלונג. אין די לעצטע יאָרן, ספּין קאָוטינג איז גיינינג ינקריסינג ופמערקזאַמקייט, און זייַן אַפּלאַקיישאַן האט ביסלעכווייַז פאַרשפּרייטן צו פאַרשידן פעלדער.
פּאָסטן צייט: נאוועמבער 27-2024