קאָנטראָל פון ריידיאַל רעסיסטיוויטי יונאַפאָרמאַטי בעשאַס קריסטאַל פּולינג

די הויפּט סיבות וואָס ווירקן די יונאַפאָרמאַטי פון ריידיאַל רעסיסטיוויטי פון איין קריסטאַלז זענען די פלאַטנאַס פון די האַרט-פליסיק צובינד און די קליין פלאַך ווירקונג בעשאַס קריסטאַל וווּקס

640

די השפּעה פון די פלאַטנאַס פון די האַרט-פליסיק צובינד בעשאַס קריסטאַל וווּקס, אויב די צעשמעלצן איז סטערד יוואַנלי, די גלייַך קעגנשטעל ייבערפלאַך איז די האַרט-פליסיק צובינד (די טומע קאַנסאַנטריישאַן אין די צעשמעלצן איז אַנדערש פון די טומע קאַנסאַנטריישאַן אין די קריסטאַל, אַזוי די רעסיסטיוויטי איז אַנדערש, און די קעגנשטעל איז גלייַך בלויז אין די האַרט-פליסיק צובינד). ווען די טומע ק <1, די צובינד קאַנוועקס צו די צעשמעלצן וועט פאַרשאַפן די ריידיאַל רעסיסטיוויטי צו זיין הויך אין די מיטל און נידעריק בייַ די ברעג, בשעת די קאַנקאַווע צובינד צו די צעשמעלצן איז דער פאַרקערט. די יונאַפאָרמאַטי פון די ריידיאַל רעסיסטיוויטי פון די פלאַך האַרט-פליסיק צובינד איז בעסער. די פאָרעם פון די האַרט-פליסיק צובינד בעשאַס קריסטאַל פּולינג איז באשלאסן דורך סיבות אַזאַ ווי די טערמאַל פעלד פאַרשפּרייטונג און די קריסטאַל גראָוט אַפּערייטינג פּאַראַמעטערס. אין די גלייַך-פּולד איין קריסטאַל, די פאָרעם פון די האַרט-פליסיק ייבערפלאַך איז דער רעזולטאַט פון די קאַמביינד ווירקונג פון סיבות אַזאַ ווי אויוון טעמפּעראַטור פאַרשפּרייטונג און קריסטאַל היץ דיסיפּיישאַן.

640

ווען פּולינג קריסטאַלז, עס זענען פיר הויפּט טייפּס פון היץ וועקסל ביי די האַרט-פליסיק צובינד:

לייטאַנט היץ פון פאַסע טוישן באפרייט דורך מאָולטאַן סיליציום סאַלידאַפאַקיישאַן

היץ קאַנדאַקשאַן פון די צעשמעלצן

היץ קאַנדאַקשאַן אַרוף דורך די קריסטאַל

ראַדיאַציע היץ אַוטווערד דורך די קריסטאַל
די לייטאַנט היץ איז מונדיר פֿאַר די גאנצע צובינד, און זייַן גרייס טוט נישט טוישן ווען די וווּקס קורס איז קעסיידערדיק. (שנעל היץ קאַנדאַקשאַן, שנעל קאָאָלינג און געוואקסן סאַלידאַפאַקיישאַן קורס)

ווען דער קאָפּ פון די גראָוינג קריסטאַל איז נאָענט צו די וואַסער-קולד זוימען קריסטאַל רוט פון די איין קריסטאַל אויוון, די טעמפּעראַטור גראַדיענט אין די קריסטאַל איז גרויס, וואָס מאכט די לאַנדזשאַטודאַנאַל היץ קאַנדאַקשאַן פון די קריסטאַל גרעסער ווי די ייבערפלאַך ראַדיאַציע היץ, אַזוי האַרט-פליסיק צובינד קאַנוועקס צו די צעשמעלצן.

ווען די קריסטאַל וואקסט צו די מיטל, די לאַנדזשאַטודאַנאַל היץ קאַנדאַקשאַן איז גלייַך צו די ייבערפלאַך ראַדיאַציע היץ, אַזוי די צובינד איז גלייַך.

אין די עק פון די קריסטאַל, די לאַנדזשאַטודאַנאַל היץ קאַנדאַקשאַן איז ווייניקער ווי די ייבערפלאַך ראַדיאַציע היץ, וואָס מאכט די האַרט-פליסיק צובינד קאָנקאַווע צו די צעשמעלצן.
אין סדר צו באַקומען אַ איין קריסטאַל מיט מונדיר ריידיאַל רעסיסטיוויטי, די האַרט-פליסיק צובינד מוזן זיין לעוואַלד.
די מעטהאָדס געניצט זענען: ① סטרויערן די קריסטאַל וווּקס טערמאַל סיסטעם צו רעדוצירן די ריידיאַל טעמפּעראַטור גראַדיענט פון די טערמאַל פעלד.
② סטרויערן די קריסטאַל פּולינג אָפּעראַציע פּאַראַמעטערס. פֿאַר בייַשפּיל, פֿאַר אַ צובינד קאַנוועקס צו די צעשמעלצן, פאַרגרעסערן די פּולינג גיכקייַט צו פאַרגרעסערן די קריסטאַל סאַלידאַפאַקיישאַן קורס. אין דעם צייַט, רעכט צו דער פאַרגרעסערן אין די קריסטאַליזיישאַן לייטאַנט היץ רעלעאַסעד אויף די צובינד, די צעשמעלצן טעמפּעראַטור לעבן די צובינד ינקריסיז, ריזאַלטינג אין די מעלטינג פון אַ טייל פון די קריסטאַל אין די צובינד, מאכן די צובינד פלאַך. אויף די פאַרקערט, אויב די גראָוט צובינד איז קאָנקאַווע צו די צעשמעלצן, די גראָוט קורס קענען זיין רידוסט, און די צעשמעלצן וועט פאַרשטאַרקן אַ קאָראַספּאַנדינג באַנד, וואָס מאכט די גראָוט צובינד פלאַך.
③ סטרויערן די ראָוטיישאַן גיכקייַט פון די קריסטאַל אָדער קרוסאַבאַל. ינקריסינג די קריסטאַל ראָוטיישאַן גיכקייַט וועט פאַרגרעסערן די הויך-טעמפּעראַטור פליסיק לויפן מאָווינג פון דנאָ צו שפּיץ אין די האַרט-פליסיק צובינד, מאכן די צובינד טוישן פון קאַנוועקס צו קאָנקאַווע. די ריכטונג פון די פליסיק לויפן געפֿירט דורך די ראָוטיישאַן פון די קרוסיבלע איז די זעלבע ווי אַז פון נאַטירלעך קאַנוועקשאַן, און די ווירקונג איז גאָר פאַרקערט צו די פון די קריסטאַל ראָוטיישאַן.
④ ינקרעאַסינג די פאַרהעלטעניש פון די ינער דיאַמעטער פון די קרוסיבלע צו די דיאַמעטער פון די קריסטאַל וועט פלאַטאַן די האַרט-פליסיק צובינד, און קענען אויך רעדוצירן די דיסלאָוקיישאַן געדיכטקייַט און זויערשטאָף אינהאַלט אין די קריסטאַל. בכלל, די קרוסיבלע דיאַמעטער: קריסטאַל דיאַמעטער = 3 ~ 2.5:1.
השפּעה פון די קליין פלאַך ווירקונג
די האַרט-פליסיק צובינד פון קריסטאַל וווּקס איז אָפט קערווד רעכט צו דער באַגרענעצונג פון די צעשמעלצן יסאָטהערם אין די קרוסיבלע. אויב די קריסטאַל איז אויפגעהויבן געשווינד בעשאַס קריסטאַל וווּקס, אַ קליין פלאַך פלאַך וועט דערשייַנען אין די האַרט-פליסיק צובינד פון די (111) גערמאַניום און סיליציום איין קריסטאַלז. עס איז די (111) אַטאָמישע נאָענט-פּאַקט פלאַך, יוזשאַוואַלי גערופן אַ קליין פלאַך.
די טומאה קאַנסאַנטריישאַן אין די קליין פלאַך געגנט איז זייער אַנדערש פון אַז אין די ניט-קליין פלאַך געגנט. דער דערשיינונג פון אַבנאָרמאַל פאַרשפּרייטונג פון ימפּיוראַטיז אין די קליין פלאַך געגנט איז גערופן די קליין פלאַך ווירקונג.
רעכט צו דער קליין פלאַך ווירקונג, די רעסיסטיוויטי פון די קליין פלאַך געגנט וועט פאַרמינערן, און אין שטרענג קאַסעס, טומע רער קאָרעס וועט דערשייַנען. אין סדר צו עלימינירן די ריידיאַל רעסיסטיוויטי ינכאָומאַדזשיניאַטי געפֿירט דורך די קליין פלאַך ווירקונג, די האַרט-פליסיק צובינד דאַרף זיין לעוואַלד.

באַגריסן קיין קאַסטאַמערז פון אַלע איבער די וועלט צו באַזוכן אונדז פֿאַר אַ ווייַטער דיסקוסיע!

https://www.semi-cera.com/
https://www.semi-cera.com/tac-coating-monocrystal-growth-parts/
https://www.semi-cera.com/cvd-coating/


פּאָסטן צייט: יולי 24-2024