די פראָנט סוף פון די פּראָדוקציע שורה איז ווי ארויפלייגן דעם יסוד און בויען די ווענט פון אַ הויז. אין דער מאַנופאַקטורינג פון סעמיקאַנדאַקטער, דעם בינע ינוואַלווז קריייטינג די יקערדיק סטראַקטשערז און טראַנזיסטערז אויף אַ סיליציום ווייפער.
שליסל סטעפּס פון FEOL:
1. רייניקונג:אָנהייבן מיט אַ דין סיליציום ווייפער און ריין עס צו באַזייַטיקן קיין ימפּיוראַטיז.
2. אַקסאַדיישאַן:וואַקסן אַ פּלאַסט פון סיליציום דייאַקסייד אויף די ווייפער צו יזאָלירן פאַרשידענע טיילן פון די שפּאָן.
3. פאָטאָליטאָגראַפי:ניצן פאָטאָליטאָגראַפי צו עטשינג פּאַטערנז אַנטו די ווייפער, ענלעך צו צייכענונג בלועפּרינץ מיט ליכט.
4. עטשינג:עטש אַוועק אַנוואָנטיד סיליציום דייאַקסייד צו אַנטדעקן די געבעטן פּאַטערנז.
5. דאָפּינג:באַקענען ימפּיוראַטיז אין די סיליציום צו טוישן זייַן עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס, קריייטינג טראַנזיסטערז, די פונדאַמענטאַל בנין בלאַקס פון קיין שפּאָן.
מיטן סוף פון ליניע (MEOL): קאַנעקטינג די דאַץ
דער מיטן סוף פון די פּראָדוקציע שורה איז ווי ינסטאָלינג וויירינג און גערער אין אַ הויז. דער בינע פאָוקיסיז אויף גרינדן קאַנעקשאַנז צווישן די טראַנזיסטערז באשאפן אין די FEOL בינע.
שליסל סטעפּס פון MEOL:
1. דיעלעקטריק דעפּאַזישאַן:אַוועקלייגן ינסאַלייטינג לייַערס (גערופן דיעלעקטריקס) צו באַשיצן די טראַנזיסטערז.
2. קאָנטאַקט פאָרמירונג:פאָרעם קאָנטאַקטן צו פאַרבינדן די טראַנזיסטערז צו יעדער אנדערער און די אַרויס וועלט.
3. ינטערקאַנעקט:לייג מעטאַל לייַערס צו שאַפֿן פּאַטווייז פֿאַר עלעקטריקאַל סיגנאַלז, ענלעך צו וויירינג אַ הויז צו ענשור סימלאַס מאַכט און דאַטן לויפן.
צוריק סוף פון שורה (BEOL): פינישינג רירט
-
דער צוריק סוף פון די פּראָדוקציע שורה איז ווי אַדינג די לעצט רירט צו אַ הויז - ינסטאָלינג פיקסטשערז, געמעל און ינשורינג אַלץ אַרבעט. אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, דעם בינע ינוואַלווז אַדינג די לעצט לייַערס און פּריפּערינג די שפּאָן פֿאַר פּאַקקאַגינג.
שליסל סטעפּס פון BEOL:
1. נאָך מעטאַל לייַערס:לייג קייפל מעטאַל לייַערס צו פאַרבעסערן ינטערקאַנעקטיוויטי, ינשורינג די שפּאָן קענען שעפּן קאָמפּלעקס טאַסקס און הויך ספּידז.
2. פּאַסיוואַטיאָן:צולייגן פּראַטעקטיוו לייַערס צו באַשיצן די שפּאָן פון ינווייראַנמענאַל שעדיקן.
3. טעסטינג:אונטערטעניק די שפּאָן צו שטרענג טעסטינג צו ענשור אַז עס טרעפן אַלע ספּעסאַפאַקיישאַנז.
4. דיסינג:שנייַדן די ווייפער אין יחיד טשיפּס, יעדער גרייט פֿאַר פּאַקקאַגינג און נוצן אין עלעקטראָניש דעוויסעס.
פּאָסטן צייט: יולי-08-2024