פראָנט סוף פון ליניע (FEOL): ארויפלייגן די יסוד

די פראָנט, מיטן און צוריק ענדס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָדוקציע שורות

די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס קענען זיין בעערעך צעטיילט אין דרייַ סטאַגעס:
1) פראָנט סוף פון שורה
2) מיטן סוף פון שורה
3) צוריק סוף פון שורה

מיר קענען נוצן אַ פּשוט אַנאַלאַדזשי ווי בנין אַ הויז צו ויספאָרשן די קאָמפּלעקס פּראָצעס פון שפּאָן מאַנופאַקטורינג:

דער פראָנט סוף פון די פּראָדוקציע שורה איז ווי ארויפלייגן דעם יסוד און בויען די ווענט פון אַ הויז. אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, דעם בינע ינוואַלווז קריייטינג די יקערדיק סטראַקטשערז און טראַנזיסטערז אויף אַ סיליציום ווייפער.

שליסל סטעפּס פון FEOL:

1. קלינינג: אָנהייב מיט אַ דין סיליציום ווייפער און ריין עס צו באַזייַטיקן קיין ימפּיוראַטיז.
2.אָקסידאַטיאָן: וואַקסן אַ פּלאַסט פון סיליציום דייאַקסייד אויף די ווייפער צו יזאָלירן פאַרשידענע טיילן פון די שפּאָן.
3.פאָטאָליטאָגראַפי: ניצן פאָטאָליטהאָגראַפי צו עטשינג פּאַטערנז אַנטו די ווייפער, ענלעך צו צייכענונג בלועפּרינץ מיט ליכט.
4.עטטשינג: עטש אַוועק אַנוואָנטיד סיליציום דייאַקסייד צו אַנטדעקן די געבעטן פּאַטערנז.
5.דאָפּינג: באַקענען ימפּיוראַטיז אין די סיליציום צו טוישן זייַן עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס, קריייטינג טראַנזיסטערז, די פונדאַמענטאַל בנין בלאַקס פון קיין שפּאָן.

מיטן סוף פון ליניע (MEOL): קאַנעקטינג די דאַץ

דער מיטן סוף פון די פּראָדוקציע שורה איז ווי ינסטאָלינג וויירינג און גערער אין אַ הויז. דער בינע פאָוקיסיז אויף גרינדן קאַנעקשאַנז צווישן די טראַנזיסטערז באשאפן אין די FEOL בינע.

שליסל סטעפּס פון MEOL:

1.דיעלעקטריק דעפּאָסיטיאָן: אַוועקלייגן ינסאַלייטינג לייַערס (גערופן דיעלעקטריקס) צו באַשיצן די טראַנזיסטערז.
2.קאָנטאַקט פאָרמירונג: פאָרעם קאָנטאַקטן צו פאַרבינדן די טראַנזיסטערז צו יעדער אנדערער און די אַרויס וועלט.
3.ינטערקאָננעקט: לייג מעטאַל לייַערס צו שאַפֿן פּאַטווייז פֿאַר עלעקטריקאַל סיגנאַלז, ענלעך צו וויירינג אַ הויז צו ענשור סימלאַס מאַכט און דאַטן לויפן.

צוריק סוף פון שורה (BEOL): פינישינג רירט

דער צוריק סוף פון די פּראָדוקציע שורה איז ווי אַדינג די לעצט רירט צו אַ הויז - ינסטאָלינג פיקסטשערז, געמעל און ינשורינג אַלץ אַרבעט. אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, דעם בינע ינוואַלווז אַדינג די לעצט לייַערס און פּריפּערינג די שפּאָן פֿאַר פּאַקקאַגינג.

שליסל סטעפּס פון BEOL:

1.אַדדיטיאָנאַל מעטאַל לייַערס: לייג קייפל מעטאַל לייַערס צו פאַרבעסערן ינטערקאַנעקטיוויטי, ינשורינג די שפּאָן קענען שעפּן קאָמפּלעקס טאַסקס און הויך ספּידז.
2.פּאַססיוואַטיאָן: צולייגן פּראַטעקטיוו לייַערס צו באַשיצן די שפּאָן פון ינווייראַנמענאַל שעדיקן.
3.טעסטינג: ונטערטעניק די שפּאָן צו שטרענג טעסטינג צו ענשור אַז עס טרעפן אַלע ספּעסאַפאַקיישאַנז.
4.דיסינג: שנייַדן די ווייפער אין יחיד טשיפּס, יעדער גרייט פֿאַר פּאַקקאַגינג און נוצן אין עלעקטראָניש דעוויסעס.

Semicera איז אַ לידינג אָעם פאַבריקאַנט אין טשיינאַ, דעדאַקייטאַד צו צושטעלן יקסעפּשאַנאַל ווערט צו אונדזער קאַסטאַמערז. מיר פאָרשלאָגן אַ פולשטענדיק קייט פון הויך-קוואַליטעט פּראָדוקטן און באַדינונגס, אַרייַנגערעכנט:

1.CVD SiC קאָוטינג(עפּיטאַקסי, מנהג CVD-קאָוטאַד פּאַרץ, הויך-פאָרשטעלונג קאָוטינגז פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז, און מער)
2.CVD SiC פאַרנעם פּאַרץ(עטשן רינגס, פאָקוס רינגס, מנהג SiC קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער ויסריכט, און מער)
3.CVD טאַק קאָוטאַד פּאַרץ(עפּיטאַקסי, סיק וואַפער וווּקס, הויך-טעמפּעראַטור אַפּלאַקיישאַנז, און מער)
4.גראַפיטע פּאַרץ(גראַפיטע באָוץ, מנהג גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסינג, און מער)
5.SiC פּאַרץ(SiC באָוץ, SiC אויוון טובז, מנהג SiC קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר אַוואַנסירטע מאַטעריאַל פּראַסעסינג, און מער)
6.קוואַרץ פּאַרץ(קוואַרץ באָוץ, מנהג קוואַרץ פּאַרץ פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער און זונ - ינדאַסטריז, און מער)

אונדזער היסכייַוועס צו עקסאַלאַנס ינשורז אַז מיר צושטעלן ינאַווייטיוו און פאַרלאָזלעך סאַלושאַנז פֿאַר פאַרשידן ינדאַסטריז, אַרייַנגערעכנט סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, אַוואַנסירטע מאַטעריאַלס פּראַסעסינג און הויך-טעק אַפּלאַקיישאַנז. מיט אַ פאָקוס אויף פּינטלעכקייַט און קוואַליטעט, מיר זענען דעדאַקייטאַד צו טרעפן די יינציק באדערפענישן פון יעדער קונה.