-
זוימען קריסטאַל צוגרייטונג פּראָצעס אין SiC איין קריסטאַל גראָוט (טייל 2)
2. עקספּערימענטאַל פּראָצעס 2.1 קיורינג פון קלעפּיק פילם עס איז באמערקט אַז גלייַך שאפן אַ טשאַד פילם אָדער באַנדינג מיט גראַפייט פּאַפּיר אויף סיק ווייפערז קאָוטאַד מיט קלעפּיק געפירט צו עטלעכע ישוז: 1. אונטער וואַקוום טנאָים, די קלעפּיק פילם אויף סיק ווייפערז דעוועלאָפּעד אַ וואָג ווי אויסזען צו צייכן ...לייענען מער -
זוימען קריסטאַל צוגרייטונג פּראָצעס אין סייק סינגלע קריסטאַל גראָוט
סיליציום קאַרבידע (SiC) מאַטעריאַל האט די אַדוואַנטידזשיז פון אַ ברייט באַנדגאַפּ, הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, הויך קריטיש ברייקדאַון פעלד שטאַרקייַט און הויך סאַטשערייטאַד עלעקטראָן דריפט גיכקייַט, וואָס מאכט עס העכסט פּראַמאַסינג אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פעלד. SiC איין קריסטאַלז זענען בכלל געשאפן דורך ...לייענען מער -
וואָס זענען די מעטהאָדס פֿאַר וואַפער פּאַלישינג?
פון אַלע די פּראַסעסאַז ינוואַלווד אין שאפן אַ שפּאָן, די לעצט גורל פון די ווייפער איז צו זיין שנייַדן אין יחיד דייז און פּאַקידזשד אין קליין, ענקלאָוזד באָקסעס מיט בלויז אַ ביסל פּינס יקספּאָוזד. דער שפּאָן וועט זיין עוואַלואַטעד באזירט אויף זיין שוועל, קעגנשטעל, קראַנט און וואָולטידזש וואַלועס, אָבער קיין איינער וועט באַטראַכטן ...לייענען מער -
די באַסיק הקדמה פון SiC עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראָצעס
עפּיטאַקסיאַל שיכטע איז אַ ספּעציפיש איין קריסטאַל פילם דערוואַקסן אויף די ווייפער דורך עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס, און די סאַבסטרייט ווייפער און עפּיטאַקסיאַל פילם זענען גערופֿן עפּיטאַקסיאַל ווייפער. דורך גראָוינג די סיליציום קאַרבידע עפּיטאַקסיאַל שיכטע אויף די קאַנדאַקטיוו סיליציום קאַרבידע סאַבסטרייט, די סיליציום קאַרבידע כאָומאַדזשיניאַס עפּיטאַקסיאַל ...לייענען מער -
שליסל פונקטן פון די קוואַליטעט קאָנטראָל פון סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג פּראָצעס
שליסל פּאָינץ פֿאַר קוואַליטי קאָנטראָל אין סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג פּראַסעס דערווייַל, די פּראָצעס טעכנאָלאָגיע פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג האט ימפּרוווד און אָפּטימיזעד באטייטיק. אָבער, פֿון אַ קוילעלדיק פּערספּעקטיוו, די פּראַסעסאַז און מעטהאָדס פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג האָבן נישט נאָך ריטשט די מערסט פּערפעקט ...לייענען מער -
טשאַלאַנדזשיז אין סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג פּראָצעס
די קראַנט טעקניקס פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג זענען ביסלעכווייַז ימפּרוווינג, אָבער די מאָס אין וואָס אָטאַמייטיד עקוויפּמענט און טעקנאַלאַדזשיז זענען אנגענומען אין סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג גלייך דיטערמאַנז די מעקייַעם פון דערוואַרט אַוטקאַמז. די יגזיסטינג סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג פּראַסעסאַז נאָך ליידן פֿון ...לייענען מער -
פאָרשונג און אַנאַליסיס פון סעמיקאַנדאַקטער פּאַקקאַגינג פּראָצעס
איבערבליק פון סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס דער סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס איז בפֿרט ינוואַלווז אַפּלייינג מיקראָפאַבריקאַטיאָן און פילם טעקנאַלאַדזשיז צו גאָר פאַרבינדן טשיפּס און אנדערע עלעמענטן אין פאַרשידן מקומות, אַזאַ ווי סאַבסטרייץ און ראָמען. דאָס פאַסילאַטייץ די יקסטראַקשאַן פון פירן טערמינאַלס און ענקאַפּסולאַטיאָן מיט אַ ...לייענען מער -
ניו טרענדס אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע: די אַפּלאַקיישאַן פון פּראַטעקטיוו קאָוטינג טעכנאָלאָגיע
די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע איז וויטנאַסינג אַנפּרעסידענטיד וווּקס, ספּעציעל אין די מעלוכע פון סיליציום קאַרבידע (SiC) מאַכט עלעקטראָניק. מיט פילע גרויס-וואָג ווייפער פאַבריקס אונטער קאַנסטראַקשאַן אָדער יקספּאַנשאַן צו טרעפן די סערדזשינג פאָדערונג פֿאַר SiC דעוויסעס אין עלעקטריק וועהיקלעס, דעם ...לייענען מער -
וואָס זענען די הויפּט סטעפּס אין די פּראַסעסינג פון SiC סאַבסטרייץ?
ווי מיר פּראָדוצירן-פּראַסעסינג סטעפּס פֿאַר סיק סאַבסטרייץ זענען ווי גייט: 1. קריסטאַל אָריענטירונג: ניצן X-Ray דיפפראַקשאַן צו אָריענטירן די קריסטאַל ינגגאַט. ווען אַ X-Ray שטראַל איז דירעקטעד צו די געבעטן קריסטאַל פּנים, די ווינקל פון די דיפראַקטיד שטראַל דיטערמאַנז די קריסטאַל אָריענטירונג ...לייענען מער -
אַ וויכטיק מאַטעריאַל וואָס דיטערמאַנז די קוואַליטעט פון איין קריסטאַל סיליציום גראָוט - טערמאַל פעלד
דער וווּקס פּראָצעס פון איין קריסטאַל סיליציום איז גאָר דורכגעקאָכט אין די טערמאַל פעלד. א גוט טערמאַל פעלד איז קאַנדוסיוו צו פֿאַרבעסערן די קריסטאַל קוואַליטעט און האט אַ הויך קריסטאַליזיישאַן עפעקטיווקייַט. דער פּלאַן פון די טערמאַל פעלד לאַרגעלי דיטערמאַנז די ענדערונגען און ענדערונגען ...לייענען מער -
וואָס איז עפּיטאַקסיאַל וווּקס?
עפּיטאַקסיאַל גראָוט איז אַ טעכנאָלאָגיע וואָס וואקסט אַ איין קריסטאַל שיכטע אויף אַ איין קריסטאַל סאַבסטרייט (סובסטראַט) מיט די זעלבע קריסטאַל אָריענטירונג ווי די סאַבסטרייט, ווי אויב דער אָריגינעל קריסטאַל האט עקסטענדעד אַרויס. דעם ניי דערוואַקסן איין קריסטאַל שיכטע קענען זיין אַנדערש פון די סאַבסטרייט אין טערמינען פון ...לייענען מער -
וואָס איז די חילוק צווישן סאַבסטרייט און עפּיטאַקסי?
אין די ווייפער צוגרייטונג פּראָצעס, עס זענען צוויי האַרץ לינקס: איינער איז דער צוגרייטונג פון די סאַבסטרייט, און די אנדערע איז די ימפּלאַמענטיישאַן פון די עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס. די סאַבסטרייט, אַ ווייפער קערפאַלי קראַפטעד פון סעמיקאַנדאַקטער איין קריסטאַל מאַטעריאַל, קענען זיין גלייך שטעלן אין די ווייפער מאַנופאַקטורינג ...לייענען מער