צוגרייטונג אופֿן פון פּראָסט טאַק קאָוטאַד גראַפייט טיילן

טייל / 1
CVD (כעמיש פארע דעפּאָסיטיאָן) אופֿן:
ביי 900-2300 ℃, ניצן טאַקל₅און CnHm ווי טאַנטאַלום און טשאַד קוואלן, H₂ ווי רידוסינג אַטמאָספער, אַר₂אַס טרעגער גאַז, אָפּרוף דעפּאַזישאַן פילם. די צוגעגרייט קאָוטינג איז סאָליד, מונדיר און הויך ריינקייַט. אָבער, עס זענען עטלעכע פראבלעמען אַזאַ ווי קאָמפּליצירט פּראָצעס, טייַער פּרייַז, שווער לופט לויפן קאָנטראָל און נידעריק דעפּאַזישאַן עפעקטיווקייַט.
טייל / 2
סלעררי סינטערינג אופֿן:
די סלערי מיט טשאַד מקור, טאַנטאַלום מקור, דיספּערסאַנט און בינדער איז קאָוטאַד אויף די גראַפייט און סינטערד אין הויך טעמפּעראַטור נאָך דריינג. די צוגעגרייט קאָוטינג וואקסט אָן רעגולער אָריענטירונג, האט נידעריק פּרייַז און איז פּאַסיק פֿאַר גרויס-וואָג פּראָדוקציע. עס בלייבט צו ויספאָרשן צו דערגרייכן מונדיר און פול קאָוטינג אויף גרויס גראַפייט, עלימינירן שטיצן חסרונות און פאַרבעסערן קאָוטינג באַנדינג קראַפט.
טייל / 3
פּלאַזמע ספּרייינג אופֿן:
טאַק פּודער איז צעלאָזן דורך פּלאַזמע קרייַזבויגן אין הויך טעמפּעראַטור, אַטאָמיזעד אין הויך-טעמפּעראַטור דראַפּלאַץ דורך הויך-גיכקייַט שפּריץ און ספּרייד אויף די ייבערפלאַך פון גראַפייט מאַטעריאַל. עס איז גרינג צו פאָרעם אַקסייד שיכטע אונטער ניט-וואַקוום, און די ענערגיע קאַנסאַמשאַן איז גרויס.

 

פיגור . ווייפער טאַץ נאָך נוצן אין GaN עפּיטאַקסיאַל דערוואַקסן MOCVD מיטל (Veeco P75). דער איינער אויף די לינקס איז קאָוטאַד מיט טאַק און דער איינער אויף די רעכט איז קאָוטאַד מיט סיק.

טאַק קאָוטאַדגראַפיט טיילן דאַרפֿן צו זיין סאַלווד

טייל / 1
ביינדינג קראַפט:
די טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט און אנדערע גשמיות פּראָפּערטיעס צווישן טאַק און טשאַד מאַטעריאַלס זענען אַנדערש, די קאָוטינג באַנדינג שטאַרקייַט איז נידעריק, עס איז שווער צו ויסמיידן קראַקס, פּאָרעס און טערמאַל דרוק, און די קאָוטינג איז גרינג צו שאָלעכץ אַוועק אין די פאַקטיש אַטמאָספער מיט פוילן און ריפּיטיד רייזינג און קאָאָלינג פּראָצעס.
טייל / 2
ריינקייט:
טאַק קאָוטינגדאַרף זיין הינטער-הויך ריינקייַט צו ויסמיידן ימפּיוראַטיז און פאַרפּעסטיקונג אונטער הויך טעמפּעראַטור טנאָים, און די עפעקטיוו אינהאַלט סטאַנדאַרדס און כאַראַקטעריזיישאַן סטאַנדאַרדס פון פריי טשאַד און ינטרינסיק ימפּיוראַטיז אויף די ייבערפלאַך און ין פון די פול קאָוטינג דאַרף זיין מסכים.
טייל / 3
פעסטקייַט:
הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל און כעמיש אַטמאָספער קעגנשטעל העכער 2300 ℃ זענען די מערסט וויכטיק ינדאַקייטערז צו פּרובירן די פעסטקייַט פון די קאָוטינג. פּינהאָלעס, קראַקס, פעלנדיק עקן, און איין אָריענטירונג קערל באַונדריז זענען גרינג צו פאַרשאַפן קעראָוסיוו גאַסאַז צו דורכנעמען און דורכנעמען אין די גראַפייט, ריזאַלטינג אין קאָוטינג שוץ דורכפאַל.
טייל / 4
אָקסידאַטיאָן קעגנשטעל:
טאַק הייבט צו אַקסאַדייז צו טאַ2אָ5 ווען עס איז העכער 500 ℃, און די אַקסאַדיישאַן קורס ינקריסיז שארף מיט די פאַרגרעסערן פון טעמפּעראַטור און זויערשטאָף קאַנסאַנטריישאַן. די ייבערפלאַך אַקסאַדיישאַן סטאַרץ פון די קערל באַונדריז און קליין גריינז, און ביסלעכווייַז פארמען קאָלומנער קריסטאַלז און צעבראכן קריסטאַלז, ריזאַלטינג אין אַ גרויס נומער פון גאַפּס און האָלעס, און זויערשטאָף ינפילטריישאַן ינקריסיז ביז די קאָוטינג איז סטריפּט. די ריזאַלטינג אַקסייד שיכטע האט נעבעך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און אַ פאַרשיידנקייַט פון פארבן אין אויסזען.
טייל / 5
וניפאָרמאַטי און ראַפנאַס:
אַניוואַן פאַרשפּרייטונג פון די קאָוטינג ייבערפלאַך קענען פירן צו היגע טערמאַל דרוק קאַנסאַנטריישאַן, ינקריסינג די ריזיקירן פון קראַקינג און ספּאַלינג. אין דערצו, ייבערפלאַך ראַפנאַס גלייַך אַפעקץ די ינטעראַקשאַן צווישן די קאָוטינג און די פונדרויסנדיק סוויווע, און צו הויך ראַפנאַס לייכט פירט צו געוואקסן רייַבונג מיט די ווייפער און אַניוואַן טערמאַל פעלד.
טייל/6
גריין גרייס:
די מונדיר קערל גרייס העלפט די פעסטקייַט פון די קאָוטינג. אויב די קערל גרייס איז קליין, די בונד איז נישט ענג, און עס איז גרינג צו זיין אַקסאַדייזד און קעראָודיד, ריזאַלטינג אין אַ גרויס נומער פון קראַקס און האָלעס אין די קערל ברעג, וואָס ראַדוסאַז די פּראַטעקטיוו פאָרשטעלונג פון די קאָוטינג. אויב די קערל גרייס איז אויך גרויס, עס איז לעפיערעך פּראָסט, און די קאָוטינג איז גרינג צו פלייק אַוועק אונטער טערמאַל דרוק.