די טערמאַל פעסטקייַט פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע

הקדמה

אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, טערמאַל פעסטקייַט איז פון מאַקסימאַל וויכטיקייט צו ענשור די פאַרלאָזלעך און עפעקטיוו אָפּעראַציע פון ​​קריטיש קאַמפּאָונאַנץ.קוואַרץ, אַ קריסטאַליין פאָרעם פון סיליציום דייאַקסייד (SiO2), האט פארדינט באַטייטיק דערקענונג פֿאַר זייַן יקסעפּשאַנאַל טערמאַל פעסטקייַט פּראָפּערטיעס. דער אַרטיקל יקספּלאָרז די טערמאַל פעסטקייַט פוןקוואַרץקאַמפּאָונאַנץ און זייער וויטאַל ראָלע אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע.

טערמאַל סטאַביליטי פוןקוואַרץקאַמפּאָונאַנץ

קוואַרץיגזיבאַץ מערקווירדיק טערמאַל פעסטקייַט, מאכן עס אַן אידעאל מאַטעריאַל פֿאַר פאַרשידן סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז. די פאלגענדע סיבות ביישטייערן צו די טערמאַל פעסטקייַט פּראָפּערטיעס פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ:

הויך מעלטינג פונט:קוואַרץהאט אַ גאָר הויך מעלטינג פונט פון בעערעך 1,700 דיגריז סעלסיוס (3,092 דיגריז פאַהרענהעיט). דער הויך מעלטינג פונט אַלאַוז קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ צו וויטסטאַנד עלעוואַטעד טעמפּעראַטורעס געפּלאָנטערט בעשאַס סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן פּראַסעסאַז, אַזאַ ווי דעפּאַזישאַן, אַנילינג און דיפיוזשאַן.

נידעריק קאָעפפיסיענט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן:קוואַרץפארמאגט אַ נידעריק קאָואַפישאַנט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן, טייַטש עס יקספּאַנדז און קאַנטראַקץ מינאַמאַלי אין ענטפער צו טעמפּעראַטור ענדערונגען. דעם קוואַליטעט ינשורז דימענשאַנאַל פעסטקייַט און פּריווענץ וואָרפּינג אָדער קראַקינג פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ ווען יקספּאָוזד צו גיך אָדער עקסטרעם טעמפּעראַטור ווערייישאַנז.

טערמאַל שאַק קעגנשטעל:קוואַרץיגזיבאַץ ויסגעצייכנט קעגנשטעל צו טערמאַל שאַקס, וואָס פאַלן ווען אַ קאָמפּאָנענט יקספּיריאַנסיז פּלוצעמדיק טעמפּעראַטור ענדערונגען. זייַן פיייקייט צו וויטסטאַנד טערמאַל שאַקס ינשורז די אָרנטלעכקייַט און לאָנדזשעוואַטי פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ בעשאַס טערמאַל סייקלינג פּראַסעסאַז אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג.

ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס:קוואַרץאיז אַ ויסגעצייכנט עלעקטריקאַל ינסאַלייטער, אַלאַוינג עס צו וויטסטאַנד הויך-טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ אָן קאַנדאַקטינג עלעקטרע. די פאַרמאָג איז קריטיש אין סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז, ווו עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן איז פארלאנגט צו פאַרמייַדן קורץ סערקאַץ און ענשור די געהעריק פאַנגקשאַנינג פון דעוויסעס.

אַדוואַנטאַגעס פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע

די טערמאַל פעסטקייַט פּראָפּערטיעס פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ פאָרשלאָגן עטלעכע אַדוואַנטידזשיז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע:

פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין הויך טעמפּעראַטורעס: קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ קענען וויטסטאַנד די הויך טעמפּעראַטורעס אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז, און ינשורז סטאַביל און פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אפילו אין דימאַנדינג טערמאַל ינווייראַנמאַנץ. דעם רילייאַבילאַטי איז קריטיש פֿאַר מיינטיינינג פּראָצעס אָרנטלעכקייַט און דערגרייכן קאָנסיסטענט רעזולטאַטן.

דימענשאַנאַל סטאַביליטי: די נידעריק קאָואַפישאַנט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן פון קוואַרץ ינשורז אַז קאַמפּאָונאַנץ ריטיין זייער פאָרעם און דימענשאַנז אפילו אונטער וועריינג טעמפּעראַטור טנאָים. די פעסטקייַט איז וויטאַל פֿאַר אַטשיווינג גענוי אַליינמאַנץ, מיינטיינינג ענג טאָלעראַנץ און פּרעווענטינג פאָרשטעלונג דיווייישאַנז אין סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס.

קאַמפּאַטאַבילאַטי מיט סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס: קוואַרץ איז העכסט קאַמפּאַטאַבאַל מיט פאַרשידן סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס, אַרייַנגערעכנט סיליציום, סיליציום קאַרבידע, גאַליום ניטריד, און מער. זייַן טערמאַל פעסטקייַט אַלאַוז סימלאַס ינאַגריישאַן פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ אין סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס, קאַנטריביוטינג צו זייער קוילעלדיק פאָרשטעלונג און רילייאַבילאַטי.

קעגנשטעל צו קאַנטאַמאַניישאַן: קוואַרץ איז כעמיש ינערט און העכסט קעגנשטעליק צו קאַנטאַמאַניישאַן פון ריאַקטיוו גאַסאַז, קעמיקאַלז און אנדערע סאַבסטאַנסיז וואָס אָפט טרעפן אין סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז. דעם קעגנשטעל ינשורז אַז קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ האַלטן זייער פאָרשטעלונג און פאַנגקשאַנאַליטי איבער עקסטענדעד פּיריאַדז, רידוסינג די נויט פֿאַר אָפט רייניקונג און וישאַלט.

אַפּפּליקאַטיאָנס פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע

קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ געפֿינען וויידספּרעד אַפּלאַקיישאַנז אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, אַרייַנגערעכנט:

ווייפער קאַריערז און באָוץ: קוואַרץ ווייפער קאַריערז און באָוץ זענען געניצט אין פאַרשידן טערמאַל פּראַסעסאַז, אַזאַ ווי כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) און אַנילינג. זייער טערמאַל פעסטקייַט און נידעריק קאַנטאַמאַניישאַן פּראָפּערטיעס ענשור זיכער האַנדלינג און פּראַסעסינג פון סעמיקאַנדאַקטער ווייפערז, מינאַמייזינג די ריזיקירן פון חסרונות.

אויוון טובז און ליינערז: קוואַרץ אויוון טובז און ליינערז צושטעלן טערמאַל ינסאַליישאַן און שוץ אין הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז, אַזאַ ווי אַקסאַדיישאַן, דיפיוזשאַן און עפּיטאַקסי. זייער טערמאַל פעסטקייַט אַלאַוז פֿאַר גענוי טעמפּעראַטור קאָנטראָל און מונדיר היץ פאַרשפּרייטונג, יקערדיק פֿאַר אַטשיווינג געוואלט מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס.

קוואַרץ פֿענצטער און וויופּאָרטס: קוואַרץ פֿענצטער און וויופּאָרטס זענען געניצט אין ויסריכט און טשיימבערז צו צושטעלן אָפּטיש אַקסעס און האַלטן טערמאַל פעסטקייַט. די קאַמפּאָונאַנץ געבן וויזשאַוואַל דורכקוק, מאָניטאָרינג און אַליינמאַנט פון סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז און ויסריכט.

קוואַרץ סענסאָרס און טהערמאָקאָופּס: קוואַרץ-באזירט סענסאָרס און טהערמאָקאָופּלעס זענען געניצט פֿאַר טעמפּעראַטור מעזשערמאַנט און קאָנטראָל אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג. זייער טערמאַל פעסטקייַט ינשורז פּינטלעך און פאַרלאָזלעך מאָניטאָרינג פון טעמפּעראַטור-שפּירעוודיק פּראַסעסאַז.

מסקנא

די טערמאַל פעסטקייַט פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ פיעסעס אַ קריטיש ראָלע אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, ינשורינג די פאַרלאָזלעך און עפעקטיוו אָפּעראַציע פון ​​קריטיש דעוויסעס און פּראַסעסאַז. מיט זייער הויך מעלטינג פונט, נידעריק קאָואַפישאַנט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן, טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל און ינסאַלייטינג פּראָפּערטיעס, קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטורעס, גיך טעמפּעראַטור ענדערונגען און עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן רעקווירעמענץ. די אַדוואַנטאַגעס פון קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ, אַרייַנגערעכנט פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין הויך טעמפּעראַטורעס, דימענשאַנאַל פעסטקייַט, קאַמפּאַטאַבילאַטי מיט סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס און קעגנשטעל צו קאַנטאַמאַניישאַן, מאַכן זיי ינדיספּענסאַבאַל אין פאַרשידן סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז. ווי די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע האלט צו יוואַלוו, קוואַרץ קאַמפּאָונאַנץ וועט בלייַבן אַ וויטאַל לייזונג פֿאַר דערגרייכן טערמאַל פעסטקייַט און ינשורינג די לאָנדזשעוואַטי און פאָרשטעלונג פון סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס און סיסטעמען.