ווי מיר פּראָדוצירן-פּראַסעסינג סטעפּס פֿאַר SiC סאַבסטרייץ זענען ווי גייט:
1. קריסטאַל אָריענטירונג: ניצן X-Ray דיפפראַקשאַן צו אָריענטירן די קריסטאַל ינגגאַט.ווען אַ X-Ray שטראַל איז דירעקטעד צו די געבעטן קריסטאַל פּנים, די ווינקל פון די דיפראַקטיד שטראַל דיטערמאַנז די קריסטאַל אָריענטירונג.
2. ויסווייניקסט דיאַמעטער גרינדינג: איין קריסטאַלז דערוואַקסן אין גראַפייט קרוסיבלע אָפט יקסיד נאָרמאַל דיאַמעטערס.ויסווייניקסט דיאַמעטער גרינדינג ראַדוסאַז זיי צו נאָרמאַל סיזעס.
סוף פּנים גרינדינג: 4-אינטש 4H-SiC סאַבסטרייץ טיפּיקלי האָבן צוויי פּאַזישאַנינג עדזשאַז, ערשטיק און צווייטיק.סוף פּנים גרינדינג אָפּענס די פּאַזישאַנינג עדזשאַז.
3. ווירע סאָינג: ווירע סאָינג איז אַ קריטיש שריט אין פּראַסעסינג 4H-Sic סאַבסטרייץ.קראַקס און סאַב-ייבערפלאַך שעדיקן געפֿירט בעשאַס דראָט סאָינג אַ נעגאַטיוו פּראַל אויף סאַבסאַקוואַנט פּראַסעסאַז, יקסטענדינג פּראַסעסינג צייט און קאָזינג מאַטעריאַל אָנווער.די מערסט פּראָסט אופֿן איז מאַלטי-דראָט סאָינג מיט דימענט אַברייסיוו.א רעסיפּראָקאַטינג באַוועגונג פון מעטאַל ווירעס באַנדאַד מיט דימענט אַברייסיווז איז געניצט צו שנייַדן די 4H-SiC ינגגאַט.
4. טשאַמפערינג: צו פאַרמייַדן ברעג טשיפּינג און רעדוצירן קאַנסומאַבאַל לאָססעס בעשאַס סאַבסאַקוואַנט פּראַסעסאַז, די שאַרף עדזשאַז פון די דראָט-סאַוון טשיפּס זענען טשאַמפערעד צו ספּעסיפיעד שאַפּעס.
5. טינינג: דראָט סאָינג בלעטער פילע סקראַטשיז און סאַב-ייבערפלאַך דאַמידזשיז.טינינג איז געטאן ניצן דימענט ווילז צו באַזייַטיקן די חסרונות ווי פיל ווי מעגלעך.
6. גרינדינג: דער פּראָצעס כולל פּראָסט גרינדינג און פייַן גרינדינג ניצן סמאָלער-סייזד באָראָן קאַרבידע אָדער דימענט אַברייסיווז צו באַזייַטיקן ריזידזשואַל דאַמידזשיז און נייַ דאַמידזשיז באַקענענ בעשאַס טינינג.
7. פּאַלישינג: די לעצט סטעפּס אַרייַנציען פּראָסט פּאַלישינג און פייַן פּאַלישינג ניצן אַלומינאַ אָדער סיליציום אַקסייד אַברייסיווז.די פּאַלישינג פליסיק סאָפאַנז די ייבערפלאַך, וואָס איז דאַן מעטשאַניקאַלי אַוועקגענומען דורך אַברייסיווז.דעם שריט ינשורז אַ גלאַט און אַנדאַמאַדזשד ייבערפלאַך.
8. רייניקונג: רימוווינג פּאַרטיקאַלז, מעטאַלס, אַקסייד פילמס, אָרגאַניק רעזאַדוז און אנדערע קאַנטאַמאַנאַנץ לינקס פון די פּראַסעסינג סטעפּס.
פּאָסטן צייט: מאי 15-2024