די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע רילייז אויף העכסט ספּעשאַלייזד ויסריכט צו פּראָדוצירן הויך-קוואַליטעט עלעקטראָניש דעוויסעס. איינער אַזאַ קריטיש קאָמפּאָנענט אין די עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראָצעס איז די עפּי פּאַן טרעגער. די עקוויפּמענט פיעסעס אַ פּיוואַטאַל ראָלע אין די דעפּאַזישאַן פון עפּיטאַקסיאַל לייַערס אויף סעמיקאַנדאַקטער ווייפערז, ינשורינג די יונאַפאָרמאַטי און קוואַליטעט פון די לעצט פּראָדוקט.
אַן עפּי פּאַן טרעגער, אויך באקאנט ווי אַן עפּיטאַקסי פּאַן טרעגער, איז אַ ספּעשלי דיזיינד טאַץ געניצט אין די עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראָצעס. עס האלט און שטיצט סעמיקאַנדאַקטער ווייפערז בעשאַס די דעפּאַזישאַן פון עפּיטאַקסיאַל לייַערס. די קאַריערז זענען ענדזשאַנירד צו וויטסטאַנד די הויך טעמפּעראַטורעס און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ טיפּיש פֿאַר עפּיטאַקסיאַל פּראַסעסאַז, פּראַוויידינג אַ סטאַביל פּלאַטפאָרמע פֿאַר די וווּקס פון איין-קריסטאַל לייַערס.
מאַטעריאַלס און קאַנסטראַקשאַן:
עפּי פּאַן קאַריערז זענען טיפּיקלי געמאכט פון מאַטעריאַלס וואָס קענען פאַרטראָגן עקסטרעם טעמפּעראַטורעס און זענען קעגנשטעליק צו כעמיש ריאַקשאַנז. פּראָסט מאַטעריאַלס אַרייַננעמען:
•סיליציום קאַרבידע (SiC): באַוווסט פֿאַר זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און קעגנשטעל צו טראָגן און אַקסאַדיישאַן, SiC איז אַ פאָלקס ברירה פֿאַר עפּי פּאַן קאַריערז.
• גראַפיטע: אָפט געניצט רעכט צו זייַן ויסגעצייכנט טערמאַל פּראָפּערטיעס און פיייקייַט צו טייַנען סטראַקטשעראַל אָרנטלעכקייַט אין הויך טעמפּעראַטורעס. גראַפיטע קאַריערז זענען יוזשאַוואַלי קאָוטאַד מיט SiC צו פאַרבעסערן זייער געווער און קעגנשטעל צו קעראָוזשאַן.
ראָלע אין די עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראָצעס:
די עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראָצעס ינוואַלווז די דעפּאַזישאַן פון אַ דין פּלאַסט פון קריסטאַליין מאַטעריאַל אויף אַ סאַבסטרייט אָדער ווייפער. דער פּראָצעס איז קריטיש אין קריייטינג סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס מיט גענוי עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס. די עפּי פּאַן טרעגער שטיצט די ווייפער אין דער אָפּרוף קאַמער און ינשורז אַז עס בלייבט סטאַביל בעשאַס די דעפּאַזישאַן פּראָצעס.
שליסל פאַנגקשאַנז פון די עפּי פּאַן טרעגער אַרייַננעמען:
• וניפאָרם היץ פאַרשפּרייטונג: די טרעגער ינשורז אפילו היץ פאַרשפּרייטונג אַריבער די ווייפער, וואָס איז יקערדיק פֿאַר אַטשיווינג קאָנסיסטענט עפּיטאַקסיאַל שיכטע גרעב און קוואַליטעט.
• כעמישער יסאָלאַטיאָן: דורך פּראַוויידינג אַ סטאַביל און ינערט ייבערפלאַך, די טרעגער פּריווענץ אַנוואָנטיד כעמישער ריאַקשאַנז וואָס קען דיגרייד די קוואַליטעט פון די עפּיטאַקסיאַל שיכטע.
בענעפיץ פון הויך-קוואַליטעטעפּי פּאַן קאַריערז:
• ימפּרוווד מיטל פאָרשטעלונג: וניפאָרם עפּיטאַקסיאַל לייַערס ביישטייערן צו די העכער פאָרשטעלונג פון סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס, ריזאַלטינג אין בעסער עפעקטיווקייַט און רילייאַבילאַטי.
• ינקרעאַסעד טראָגן: דורך מינאַמייזינג חסרונות און ינשורינג מונדיר שיכטע דעפּאַזישאַן, הויך-קוואַליטעט קאַריערז פֿאַרבעסערן די טראָגן פון ניצלעך סעמיקאַנדאַקטער ווייפערז.
• רידוסט וישאַלט קאָס: דוראַבאַל מאַטעריאַלס און גענוי ינזשעניעריע רעדוצירן די נויט פֿאַר אָפט פאַרבייַט און וישאַלט, לאָוערינג די קוילעלדיק פּראָדוקציע קאָס.
די עפּי פּאַן טרעגער איז אַ וויטאַל קאָמפּאָנענט אין די עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראָצעס, גלייַך ינפלואַנסינג די קוואַליטעט און קאָנסיסטענסי פון סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס. דורך טשוזינג די רעכט מאַטעריאַלס און פּלאַן, מאַניאַפאַקטשערערז קענען אַפּטאַמייז די עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס, וואָס פירן צו ימפּרוווד מיטל פאָרשטעלונג און רידוסט פּראָדוקציע קאָס. ווי די פאָדערונג פֿאַר אַוואַנסירטע עלעקטראָניש דעוויסעס וואקסט, די וויכטיקייט פון הויך-קוואַליטעטעפּי פּאַן קאַריערזאין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע האלט צו פאַרגרעסערן.
פּאָסטן צייט: אויגוסט 13-2024