וואָס איז עפּיטאַקסי?

רובֿ ענדזשאַנירז זענען נישט באַקאַנט מיטעפּיטאַקסיע, וואָס פיעסעס אַ וויכטיק ראָלע אין מאַנופאַקטורינג פון סעמיקאַנדאַקטער מיטל.עפּיטאַקסיעקענען זיין געוויינט אין פאַרשידענע שפּאָן פּראָדוקטן, און פאַרשידענע פּראָדוקטן האָבן פאַרשידענע טייפּס פון עפּיטאַקסי, אַרייַנגערעכנטדי עפּיטאַקסיע, SiC עפּיטאַקסי, GaN עפּיטאַקסיאאז"ו ו

וואָס איז עפּיטאַקסי?
עפּיטאַקסי איז אָפט גערופן "עפּיטאַקסי" אין ענגליש. די וואָרט קומט פון די גריכיש ווערטער "עפּי" (טייַטש "אויבן") און "טאַקסיס" (טייַטש "אָרדענונג"). ווי דער נאָמען סאַגדזשעס, עס מיטל עריינדזשינג ניטלי אויף שפּיץ פון אַ כייפעץ. דער עפּיטאַקסי פּראָצעס איז צו שטעלן אַ דין איין קריסטאַל שיכטע אויף אַ איין קריסטאַל סאַבסטרייט. די ניי דיפּאַזאַטאַד איין קריסטאַל שיכטע איז גערופן אַן עפּיטאַקסיאַל שיכטע.

עס זענען צוויי הויפּט טייפּס פון עפּיטאַקסיע: האָמעפּיטאַקסיאַל און העטעראָפּיטאַקסיאַל. האָמאָעפּיטאַקסיאַל רעפערס צו וואַקסן די זעלבע מאַטעריאַל אויף דער זעלביקער טיפּ פון סאַבסטרייט. די עפּיטאַקסיאַל שיכטע און די סאַבסטרייט האָבן פּונקט די זעלבע לאַטאַס סטרוקטור. העטערעעפּיטאַקסי איז דער וווּקס פון אן אנדער מאַטעריאַל אויף אַ סאַבסטרייט פון איין מאַטעריאַל. אין דעם פאַל, די לאַטאַס סטרוקטור פון די עפּיטאַקסיאַל דערוואַקסן קריסטאַל שיכטע און די סאַבסטרייט קען זיין אַנדערש. וואָס זענען איין קריסטאַלז און פּאָליקריסטאַללינע?
אין סעמיקאַנדאַקטערז, מיר אָפט הערן די טערמינען איין קריסטאַל סיליציום און פּאָליקריסטאַללינע סיליציום. פארוואס זענען עטלעכע סיליציום גערופן איין קריסטאַלז און עטלעכע סיליציום גערופן פּאָליקריסטאַללינע?

איין קריסטאַל: די לאַטאַס אָרדענונג איז קעסיידערדיק און אַנטשיינדזשד, אָן קערל באַונדריז, דאָס איז, די גאנצע קריסטאַל איז קאַמפּאָוזד פון אַ איין לאַטאַס מיט קאָנסיסטענט קריסטאַל אָריענטירונג. פּאָליקריסטאַללינע: פּאָליקריסטאַללינע איז קאַמפּאָוזד פון פילע קליין גריינז, יעדער פון וואָס איז אַ איין קריסטאַל, און זייער אָריענטיישאַנז זענען טראַפ מיט רעספּעקט צו יעדער אנדערער. די גריינז זענען אפגעשיידט דורך קערל באַונדריז. די פּראָדוקציע פּרייַז פון פּאָליקריסטאַללינע מאַטעריאַלס איז נידעריקער ווי אַז פון איין קריסטאַלז, אַזוי זיי זענען נאָך נוציק אין עטלעכע אַפּלאַקיישאַנז. ווו וועט דער עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס זיין ינוואַלווד?
אין דער פּראָדוצירן פון סיליציום-באזירט ינאַגרייטיד סערקאַץ, די עפּיטאַקסיאַל פּראָצעס איז וויידלי געניצט. פֿאַר בייַשפּיל, סיליציום עפּיטאַקסי איז געניצט צו וואַקסן אַ ריין און פיינלי קאַנטראָולד סיליציום שיכטע אויף אַ סיליציום סאַבסטרייט, וואָס איז גאָר וויכטיק פֿאַר די פּראָדוצירן פון אַוואַנסירטע ינאַגרייטיד סערקאַץ. אין אַדישאַן, אין מאַכט דעוויסעס, SiC און GaN זענען צוויי קאַמאַנלי געניצט ברייט באַנדגאַפּ סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס מיט ויסגעצייכנט מאַכט האַנדלינג קייפּאַבילאַטיז. די מאַטעריאַלס זענען יוזשאַוואַלי דערוואַקסן אויף סיליציום אָדער אנדערע סאַבסטרייץ דורך עפּיטאַקסי. אין קוואַנטום קאָמוניקאַציע, סעמיקאַנדאַקטער-באזירט קוואַנטום ביטן יוזשאַוואַלי נוצן סיליציום גערמאַניום עפּיטאַקסיאַל סטראַקטשערז. אאז"ו ו

מעטהאָדס פון עפּיטאַקסיאַל גראָוט?

דריי קאַמאַנלי געניצט סעמיקאַנדאַקטער עפּיטאַקסי מעטהאָדס:

מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE): מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי) איז אַ סעמיקאַנדאַקטער עפּיטאַקסיאַל גראָוט טעכנאָלאָגיע געטאן אונטער הינטער-הויך וואַקוום טנאָים. אין דעם טעכנאָלאָגיע, די מקור מאַטעריאַל איז יוואַפּערייטיד אין די פאָרעם פון אַטאָמס אָדער מאָלעקולאַר בימז און דעמאָלט דאַפּאַזיטיד אויף אַ קריסטאַליין סאַבסטרייט. MBE איז אַ זייער גענוי און קאַנטראָולאַבאַל סעמיקאַנדאַקטער דין פילם גראָוט טעכנאָלאָגיע וואָס קענען פּונקט קאָנטראָלירן די גרעב פון די דאַפּאַזיטיד מאַטעריאַל אויף די אַטאָמישע מדרגה.

מעטאַל אָרגאַניק קווד (MOCVD): אין די MOCVD פּראָצעס, אָרגאַניק מעטאַלס ​​און כיידרייד גאַסאַז מיט די פארלאנגט עלעמענטן זענען סאַפּלייד צו די סאַבסטרייט אין אַ צונעמען טעמפּעראַטור, און די פארלאנגט סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס זענען דזשענערייטאַד דורך כעמיש ריאַקשאַנז און דאַפּאַזיטיד אויף די סאַבסטרייט, בשעת די רוען. קאַמפּאַונדז און אָפּרוף פּראָדוקטן זענען דיסטשאַרדזשד.

פארע פאַסע עפּיטאַקסי (VPE): פארע פאַסע עפּיטאַקסי איז אַ וויכטיק טעכנאָלאָגיע קאַמאַנלי געניצט אין דער פּראָדוקציע פון ​​סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס. זיין גרונט פּרינציפּ איז צו אַריבערפירן די פארע פון ​​אַ איין מאַטעריע אָדער קאַמפּאַונד אין אַ טרעגער גאַז און אַוועקלייגן קריסטאַלז אויף אַ סאַבסטרייט דורך כעמיש ריאַקשאַנז.