דיMOCVDדער מעטאָד איז איינער פון די מערסט סטאַביל פּראַסעסאַז דערווייַל געניצט אין די אינדוסטריע צו וואַקסן הויך קוואַליטעט איין-קריסטאַללינע דין פילמס, אַזאַ ווי איין-פאַסע InGaN עפּלייַערס, III-N מאַטעריאַלס און סעמיקאַנדאַקטער פילמס מיט מאַלטי-קוואַנטום געזונט סטראַקטשערז, און איז פון גרויס באַטייַט אין די פּראָדוצירן פון סעמיקאַנדאַקטער און אָפּטאָילעקטראָניק דעוויסעס.
דיסיק קאָוטינג MOCVD סאַסעפּטאָראיז אַ ספּעשאַלייזד ווייפער האָלדער קאָוטאַד מיט סיליציום קאַרבידע (סיק) פֿאַרעפּיטאַקסיאַל וווּקס אין די מעטאַל אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD) פּראָצעס.
די SiC קאָוטינג האט ויסגעצייכנט כעמישער קעגנשטעל און טערמאַל פעסטקייַט, וואָס מאכט עס אַן אידעאל ברירה פֿאַר MOCVD סאַספּעקטערז געניצט אין פאדערן עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראַסעסאַז.
א שליסל קאָמפּאָנענט פון די MOCVD פּראָצעס איז די סאַסעפּטאָר, וואָס איז אַ שליסל עלעמענט צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי און קוואַליטעט פון די געשאפן דין פילמס.
וואָס איז אַ סאַסעפּטאָר? די סוססעפּטאָר איז אַ ספּעשאַלייזד קאָמפּאָנענט געניצט אין די MOCVD פּראָצעס צו שטיצן און היץ די סאַבסטרייט אויף וואָס די דין פילם איז דאַפּאַזיטיד. עס האט קייפל פאַנגקשאַנז, אַרייַנגערעכנט אַבזאָרבינג ילעקטראָומאַגנעטיק ענערגיע, קאַנווערטינג עס אין היץ און יוואַנלי דיסטריביוטינג די היץ אויף די סאַבסטרייט. דעם מונדיר באַהיצונג איז יקערדיק פֿאַר די וווּקס פון מונדיר דין פילמס מיט גענוי גרעב און זאַץ.
טייפּס פון סאַסעפּטערז:
1. גראַפיטע סוססעפּטאָרס: גראַפיטע סוססעפּטאָרס זענען אָפט קאָוטאַד מיט אַ פּראַטעקטיוו שיכטע אַזאַ וויסיליציום קאַרבידע (SiC), וואָס איז באַוווסט פֿאַר זייַן הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און פעסטקייַט. דיSiC קאָוטינגגיט אַ שווער, פּראַטעקטיוו ייבערפלאַך וואָס אַנטקעגנשטעלנ קעראָוזשאַן און דערנידעריקונג אין הויך טעמפּעראַטורעס.
2. סיליציום קאַרבידע (סיק) סאַסעפּטערז: די סאַסעפּטערז זענען געמאכט לעגאַמרע פון סיק און האָבן ויסגעצייכנט טערמאַל פעסטקייַט און טראָגן קעגנשטעל. סיק סאַסעפּטערז זענען דער הויפּט פּאַסיק פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ.
ווי סאַסעפּטערז אַרבעט אין MOCVD:
אין די MOCVD פּראָצעס, פּריקערסערז זענען באַקענענ אין די אָפּרוף קאַמער ווו זיי צעלייגנ און רעאַגירן צו פאָרעם אַ דין פילם אויף די סאַבסטרייט. דער סאַסעפּטאָר פיעסעס אַ וויטאַל ראָלע דורך ינשורינג אַז די סאַבסטרייט איז העאַטעד יוואַנלי, וואָס איז קריטיש צו דערגרייכן קאָנסיסטענט פילם פּראָפּערטיעס איבער די גאנצע סאַבסטרייט ייבערפלאַך. דער מאַטעריאַל און פּלאַן פון די סאַססעפּטאָר זענען קערפאַלי אויסגעקליבן צו טרעפן די ספּעציפיש רעקווירעמענץ פון די דעפּאַזישאַן פּראָצעס, אַזאַ ווי טעמפּעראַטור קייט און כעמישער קאַמפּאַטאַבילאַטי.
די בענעפיץ פון ניצן הויך-קוואַליטעט סאַסעפּטערז:
• ענכאַנסט פילם קוואַליטעט: דורך פּראַוויידינג מונדיר היץ פאַרשפּרייטונג, די סוססעפּטאָר העלפּס דערגרייכן פילמס מיט קאָנסיסטענט גרעב און זאַץ, וואָס איז קריטיש צו די פאָרשטעלונג פון סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס.
• ימפּרוווד פּראָצעס עפעקטיווקייַט: הויך-קוואַליטעט סאַסעפּטערז פאַרגרעסערן די קוילעלדיק עפעקטיווקייַט פון די MOCVD פּראָצעס דורך רידוסינג די ליקעליהאָאָד פון חסרונות און ינקריסינג די טראָגן פון ניצלעך פילמס.
• לייפספּאַן און רילייאַבילאַטי: סאַסעפּטערז געמאכט פון דוראַבאַל מאַטעריאַלס אַזאַ ווי SiC ענשור לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי און רעדוצירן וישאַלט קאָס.
די סאַסעפּטאָר איז אַ ינטאַגראַל קאָמפּאָנענט אין די MOCVD פּראָצעס און גלייך אַפעקץ די קוואַליטעט און עפעקטיווקייַט פון דין פילם דעפּאַזישאַן. ביטע טאָן ניט קווענקלען צו קאָנטאַקט אונדז פֿאַר מער אינפֿאָרמאַציע וועגן די בנימצא סיזעס, MOCVD סאַספּעקטערז און פּרייסיז. אונדזער ענדזשאַנירז וועט זיין צופרידן צו רעקאָמענדירן איר אויף פּאַסיק מאַטעריאַלס און ענטפֿערן אַלע דיין פֿראגן.
טעלעפאָנירן: +86-13373889683
ווהאַצאַפּפּ: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
פּאָסטן צייט: אויגוסט 12-2024