וואָס איז MOCVD סוסעפּטאָר?

מעטאַל-אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (MOCVD) איז אַ קריטיש פּראָצעס אין די סעמיקאַנדאַקטער אינדוסטריע, ווו הויך-קוואַליטעט דין פילמס זענען דאַפּאַזיטיד אויף סאַבסטרייץ. א שליסל קאָמפּאָנענט פון די MOCVD פּראָצעס איז די סאַסעפּטאָר, אַ וויטאַל עלעמענט וואָס פיעסעס אַ קריטיש ראָלע אין ינשורינג די יונאַפאָרמאַטי און קוואַליטעט פון די פילמס געשאפן.

וואָס איז אַ סאַסעפּטאָר? א סוססעפּטאָר איז אַ ספּעשאַלייזד קאָמפּאָנענט געניצט אין די MOCVD פּראָצעס צו שטיצן און היץ די סאַבסטרייט אויף וואָס דין פילמס זענען דאַפּאַזיטיד. עס סערוועס קייפל פאַנגקשאַנז, אַרייַנגערעכנט אַבזאָרבינג ילעקטראָומאַגנעטיק ענערגיע, קאַנווערטינג עס צו היץ, און יונאַפאָרמלי דיסטריביוטינג די היץ אַריבער די סאַבסטרייט. דעם מונדיר באַהיצונג איז יקערדיק פֿאַר די וווּקס פון כאָומאַדזשיניאַס פילמס מיט גענוי גרעב און זאַץ.

טייפּס פון סאַסעפּטערז:
1. גראַפיטע סוססעפּטאָרס: טיפּיקלי קאָוטאַד מיט אַ פּראַטעקטיוו שיכטע, אַזאַ וויסיליציום קאַרבידע (SiC), גראַפייט סאַסעפּטערז זענען באקאנט פֿאַר זייער הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און פעסטקייַט. דיSiC קאָוטינגגיט אַ שווער, פּראַטעקטיוו ייבערפלאַך וואָס אַנטקעגנשטעלנ קעראָוזשאַן און דערנידעריקונג אין הויך טעמפּעראַטורעס.

2. סיליציום קאַרבידע (סיק) סאַסעפּטערז: די זענען געמאכט לעגאַמרע פון ​​סיק, וואָס אָפפערס ויסגעצייכנט טערמאַל פעסטקייַט און קעגנשטעל צו טראָגן און טרער.סיק סאַסעפּטערזזענען ספּעציעל פּאַסיק פֿאַר הויך-טעמפּעראַטור פּראַסעסאַז און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ.
וויסאַסעפּטערזאַרבעט אין MOCVD:

אין די MOCVD פּראָצעס, פּריקערסערז זענען באַקענענ אין די רעאַקטאָר קאַמער, ווו זיי צעלייגנ און רעאַגירן צו פאָרעם אַ דין פילם אויף די סאַבסטרייט. דער סאַסעפּטאָר פיעסעס אַ קריטיש ראָלע דורך ינשורינג אַז די סאַבסטרייט איז העאַטעד יונאַפאָרמלי, וואָס איז קריטיש פֿאַר אַטשיווינג קאָנסיסטענט פילם פּראָפּערטיעס איבער די גאנצע סאַבסטרייט ייבערפלאַך. דער מאַטעריאַל און פּלאַן פון די סאַסעפּטאָר זענען קערפאַלי אויסדערוויילט צו גלייַכן די ספּעציפיש רעקווירעמענץ פון די דעפּאַזישאַן פּראָצעס, אַזאַ ווי טעמפּעראַטור קייט און כעמישער קאַמפּאַטאַבילאַטי.
Benefits פון ניצןהויך-קוואַליטעט סאַסעפּטערז:
• ענכאַנסט פילם קוואַליטי: דורך פּראַוויידינג מונדיר היץ פאַרשפּרייטונג, סאַסעפּטערז העלפן אין דערגרייכן פילמס מיט קאָנסיסטענט גרעב און זאַץ, וואָס איז וויטאַל פֿאַר די פאָרשטעלונג פון סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס.
• ינקרעאַסעד פּראַסעס עפעקטיווקייַט: הויך-קוואַליטעט סאַסעפּטערז פֿאַרבעסערן די קוילעלדיק עפעקטיווקייַט פון די MOCVD פּראָצעס דורך רידוסינג די ליקעליהאָאָד פון חסרונות און ינקריסינג די טראָגן פון ניצלעך פילמס.
• לאָנדזשעוואַטי און רילייאַבילאַטי: סוססעפּטאָרס געמאכט פון דוראַבאַל מאַטעריאַלס ווי סיק ינשור לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי און רידוסט וישאַלט קאָס.

מסקנא: די סאַסעפּטאָר איז אַ ינדיספּענסאַבאַל קאָמפּאָנענט אין די MOCVD פּראָצעס, וואָס גלייך ימפּרוווז די קוואַליטעט און עפעקטיווקייַט פון דין פילם דעפּאַזישאַן. דורך טשוזינג די רעכט סאַסעפּטאָר מאַטעריאַל און פּלאַן, סעמיקאַנדאַקטער מאַניאַפאַקטשערערז קענען אַפּטאַמייז זייער פּראַסעסאַז, ריזאַלטינג אין בעסער מיטל פאָרשטעלונג און נידעריקער פּראָדוקציע קאָס. ווי די פאָדערונג פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג עלעקטראָניש דעוויסעס האלט צו וואַקסן, די וויכטיקייט פון הויך-קוואַליטעט MOCVD סוסק