SiC רודער אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג

אין די מעלוכע פון ​​סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, דיSiC רודערפיעסעס אַ קריטיש ראָלע, ספּעציעל אין די עפּיטאַקסיאַל וווּקס פּראָצעס. ווי אַ שליסל קאָמפּאָנענט געניצט איןMOCVD(מעטאַל אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן) סיסטעמען,סיק פּאַדאַלזזענען ענדזשאַנירד צו פאַרטראָגן הויך טעמפּעראַטורעס און כעמיש האַרב ינווייראַנמאַנץ, מאכן זיי ינדיספּענסאַבאַל פֿאַר אַוואַנסירטע מאַנופאַקטורינג. אין Semicera, מיר ספּעשאַלייז אין פּראַדוסינג הויך-פאָרשטעלונגסיק פּאַדאַלזדיזיינד פֿאַר ביידעSi עפּיטאַקסיאוןSiC עפּיטאַקסי, פאָרשלאָגן יקסעפּשאַנאַל געווער און טערמאַל פעסטקייַט.

די נוצן פון SiC פּאַדאַלז איז דער הויפּט פאַרשפּרייט אין פּראַסעסאַז ווי עפּיטאַקסיאַל גראָוט, ווו די סאַבסטרייט דאַרף גענוי טערמאַל און כעמישער טנאָים. אונדזער סעמיסעראַ פּראָדוקטן ענשור אָפּטימאַל פאָרשטעלונג אין ינווייראַנמאַנץ וואָס דאַרפן אַMOCVD סאַסעפּטאָר, ווו הויך-קוואַליטעט סיליציום קאַרבידע לייַערס זענען דאַפּאַזיטיד אויף סאַבסטרייץ. דעם קאַנטריביוץ צו ימפּרווודווייפערקוואַליטעט און העכער מיטל עפעקטיווקייַט אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע.

סעמיסעראַסיק פּאַדאַלזזענען נישט בלויז דיזיינד פֿאַרSi עפּיטאַקסיאָבער אויך טיילערד פֿאַר אַ קייט פון אנדערע קריטיש אַפּלאַקיישאַנז. פֿאַר בייַשפּיל, זיי זענען קאַמפּאַטאַבאַל מיט PSS עטטשינג קאַריערז, יקערדיק אין דער פּראָדוקציע פון ​​געפירט ווייפערז, אוןICP עטשינג קאַריערז, ווו גענוי יאָן קאָנטראָל איז נייטיק פֿאַר פורעמונג ווייפערז. די פּאַדאַלז זענען ינטאַגראַל צו סיסטעמען וויRTP קאַריערז(ראַפּיד טערמאַל פּראַסעסינג), ווו די נויט פֿאַר שנעל טעמפּעראַטור טראַנזישאַנז און הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי איז העכסט.

אַדדיטיאָנאַללי, SiC פּאַדאַלז דינען ווי געפירט עפּיטאַקסיאַל סוססעפּטאָרס, פאַסילאַטייטינג די גראָוט פון הויך-עפעקטיוו געפירט ווייפערז. די פיייקייט צו שעפּן וועריינג טערמאַל און ינווייראַנמענאַל סטרעסאַז מאכט זיי זייער ווערסאַטאַל אין פאַרשידענע סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן פּראַסעסאַז.

קוילעלדיק, Semicera איז קאַמיטאַד צו צושטעלן SiC פּאַדאַלז וואָס טרעפן די שטרענג רעקווירעמענץ פון מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג. פֿון SiC Epitaxy צו MOCVD סוססעפּטאָרס, אונדזער סאַלושאַנז ינשור ימפּרוווד רילייאַבילאַטי און פאָרשטעלונג, קייטערינג צו די קאַטינג-ברעג פאדערונגען פון די אינדוסטריע.