הקדמה פון ווייפער טרעגער
פּראָדוקט קאַטעגאָריע
▶ווייפער קאַריער סיסטעם פֿאַר PECVD & TALOX פּראָצעס
• PECVD & TALOX גראַפיטע שיפל (M4~M12)
• ווערטיקאַל SM-Boat (M4, M6)
• ימפּלאַנט און שפּריץ גראַפיטע טייל (מ4~מ6)
• C / C טרייַ & סעראַמיק קאָוטינג
• מעטאַל ריע-טרייַ & סעראַמיק קאָוטינג
• וואַקוום סילינג: אָ-רינג & סק-רינג
▶טעקסטשערינג & נאַס עטשינג אַריבערפירן פּראָצעס
• LSC H-Carrier אָדער קאַסעט (M4~M12)
• LSC V-Carrier אָדער קאַסעט (M4~M12)
• ASC קאַריער אָדער קאַסעט (M4, M6)
• W/F קאַריער & סטאָרידזש קעסטל (M4~M12)
• טראַנספּאָרט ראָד (ראָלער) סעריע
▶זונ צעל קאַריער & מעטאַל קאַריער
• TRC קאַריער אָדער קאַסעט (M4~M12)
• זשורנאַל (מיט גאַרטל)
גראַפיטע שיפל (ה-טיפּ)
19P6-216CT (WF M4~M12)
גראַפיטע שיפל (ה-טיפּ)
21P6-240CT WF M4~M12)
גראַפיטע שיפל (ה-טיפּ)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
גראַפיטע שיפל (ה-טיפּ)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
גראַפיטע שיפל (ה-טיפּ)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF קאַריער און סטאָרידזש קעסטל (~M12)
C/C טרייַ אָדער קאַריער (M4~M10)
C/C טרייַ אָדער קאַריער (M4~M10)
ווערטיקאַל שיפל (סם) מ6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAPHITE-BOAT(M12)
ווייפער קאַריער סיסטעם פֿאַר PECVD פּראָצעס
▶ גראַפיטע שיפל (קט-דיזיינד) M10/M12 פּראָצעס
• ספּעציעלע פּלאַן באַגריף
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) M4/M6 פּראָצעס
▶ שיפל אַקסעסערי פּאַרץ
▶ ווערטיקאַל שיפל-161.7 מם ווייפער
▶ ווערטיקאַל שיפל-166 מם ווייפער
▶ ווערטיקאַל שיפל-161.7 מם, 166 מם ווייפער
זונ צעל קאַריער און מעטאַל טרק קאַריער
טיפּ: אַוטאָמאַטיאָן
וואַפער גרייס: ① 156 × 156 מם ② 156.75 × 156.75 מם
③161.7x161.7מם ④166x166מם
⑤ 180 × 180 מם ⑥ 210 × 210 מם
באַניץ: קער (קאַסעט)
קאַפּאַציטעט: 100 בלאַט
פּעך: 4.76 מם / 5.953 מם / 6.35 מם
גרייס: בעערעך 559 × 220 × 220 מם
712 × 260 × 260 מם
מייַלע: אַטמאָספער
מאַטעריאַל: פלאַם, זייַט באַר-אַלומינום (אַנאָדיזינג)
SIDE PLATE-POM (אַנטיסטאַטיק)
דעקן פון דנאָ באַר-עפּדם / פּו / וויטאָן (אַסע)
TRC-מעטאַל טרעגער (באַניצער ליניע)
TRC-מעטאַל טרעגער (באַניצער ליניע)
TRC-מעטאַל טרעגער (באַניצער ליניע)
שפּריץ טעלער & ימפּלאַנט, טרעגער
