טאַנטאַלום קאַרבידע (TAC)איז אַ סופּער-הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק סעראַמיק מאַטעריאַל מיט די אַדוואַנטידזשיז פון הויך מעלטינג פונט, הויך כאַרדנאַס, גוט כעמישער פעסטקייַט, שטאַרק עלעקטריקאַל און טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, אאז"ו ו.טאַק קאָוטינגקענען ווערן געניצט ווי אַבלאַטיאָן-קעגנשטעליק קאָוטינג, אַקסאַדיישאַן-קעגנשטעליק קאָוטינג, און טראָגן-קעגנשטעליק קאָוטינג, און איז וויידלי געניצט אין אַעראָספּאַסע טערמאַל שוץ, דריט-דור סעמיקאַנדאַקטער איין-קריסטאַל וווּקס, ענערגיע עלעקטראָניק און אנדערע פעלדער.
פּראָצעס:
טאַנטאַלום קאַרבידע (TAC)איז אַ סאָרט פון הינטער-הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעליק סעראַמיק מאַטעריאַל מיט די אַדוואַנטידזשיז פון הויך מעלטינג פונט, הויך כאַרדנאַס, גוט כעמישער פעסטקייַט, שטאַרק עלעקטריקאַל און טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי. דעריבער,טאַק קאָוטינגקענען ווערן געניצט ווי אַבלאַטיאָן-קעגנשטעליק קאָוטינג, אַקסאַדיישאַן-קעגנשטעליק קאָוטינג, און טראָגן-קעגנשטעליק קאָוטינג, און איז וויידלי געניצט אין אַעראָספּאַסע טערמאַל שוץ, דריט-דור סעמיקאַנדאַקטער איין-קריסטאַל וווּקס, ענערגיע עלעקטראָניק און אנדערע פעלדער.
ינטרינסיק קעראַקטעריסטיקס פון קאָאַטינגס:
מיר נוצן די סלערי-סינטערינג אופֿן צו צוגרייטןטאַק קאָוטינגזפון פאַרשידענע געדיכטקייַט אויף גראַפייט סאַבסטרייץ פון פאַרשידן סיזעס. ערשטער, הויך-ריינקייַט פּודער מיט טאַ מקור און C מקור איז קאַנפיגיערד מיט דיספּערסאַנט און בינדער צו פאָרעם אַ מונדיר און סטאַביל פּריקערסער סלערי. אין דער זעלביקער צייַט, לויט צו די גרייס פון גראַפייט טיילן און די גרעב באדערפענישן פוןטאַק קאָוטינג, די פאַר-קאָוטינג איז צוגעגרייט דורך ספּרייינג, פּאָרינג, ינפילטריישאַן און אנדערע פארמען. צום סוף, עס איז העאַטעד צו העכער 2200 ℃ אין אַ וואַקוום סוויווע צו צוגרייטן אַ מונדיר, געדיכט, איין-פאַסע און געזונט קריסטאַליין.טאַק קאָוטינג.
ינטרינסיק קעראַקטעריסטיקס פון קאָאַטינגס:
די גרעב פוןטאַק קאָוטינגאיז וועגן 10-50 μם, די גריינז וואַקסן אין אַ פריי אָריענטירונג, און עס איז קאַמפּאָוזד פון טאַק מיט אַ איין-פאַסע פּנים-צענטערעד קוביק סטרוקטור, אָן אנדערע ימפּיוראַטיז; די קאָוטינג איז געדיכט, די סטרוקטור איז גאַנץ און די קריסטאַלינאַס איז הויך.טאַק קאָוטינגקענען פּלאָמבירן די פּאָרעס אויף די ייבערפלאַך פון גראַפיטע, און עס איז כעמיש בונד צו די גראַפיטע מאַטריץ מיט הויך באַנדינג שטאַרקייַט. די פאַרהעלטעניש פון טאַ צו C אין די קאָוטינג איז נאָענט צו 1: 1. די GDMS ריינקייַט דיטעקשאַן רעפֿערענץ נאָרמאַל ASTM F1593, די טומע קאַנסאַנטריישאַן איז ווייניקער ווי 121ppm. די אַריטמעטיק דורכשניטלעך דיווייישאַן (ראַ) פון די קאָוטינג פּראָפיל איז 662nm.
אַלגעמיינע אַפּפּליקאַטיאָנס:
גאַן אוןSiC עפּיטאַקסיאַלCVD רעאַקטאָר קאַמפּאָונאַנץ, אַרייַנגערעכנט ווייפער קאַריערז, סאַטעליט קיילים, שאָווערהעאַדס, שפּיץ קאָווערס און סאַסעפּטערז.
SiC, GaN און AlN קריסטאַל גראָוט קאַמפּאָונאַנץ, אַרייַנגערעכנט קרוסיבלע, זוימען קריסטאַל האָלדערס, לויפן גוידעס און פילטערס.
ינדאַסטריאַל קאַמפּאָונאַנץ, אַרייַנגערעכנט רעסיסטיווע באַהיצונג עלעמענטן, נאַזאַלז, שילדינג רינגס און בראַזינג פיקסטשערז.
שליסל פֿעיִקייטן:
הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט בייַ 2600 ℃
פּראָווידעס פעסט-שטאַט שוץ אין האַרב כעמישער ינווייראַנמאַנץ פון H2, NH3, סיה4און סי פארע
פּאַסיק פֿאַר מאַסע פּראָדוקציע מיט קורץ פּראָדוקציע סייקאַלז.
