עטשינג פּראָצעס טיילן

LED CVD SiC עטש רינג
SiC פּין טאַץ פֿאַר ICP עטשינג פּראַסעסאַז אין די LED אינדוסטריע
לעד עטש סיליקאָן קאַרבייד לאַגער טאַץ, ICP טאַץ (עטש)
SiC פּלאַטע
סיליקאָן קאַרבייד קעראַמיש קאָוטינג
SiC קאָוטינג טרעגערס פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר עטשינג
SiC טרעגער פֿאַר RTP/RTA שנעל-הייצונג היץ באַהאַנדלונג
מנהג האַלבקאָנדוקטאָר ICP טאַץ (עטשינג)
הויך טעמפּעראַטור און קעראָוזשאַן קעגנשטעליק LED סיליקאָן קאַרבייד עטשינג טאַץ (ICP עטשינג טאַץ)
PSS פּראַסעסינג טרעגער פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר וואַפער טראַנסמיסיע
סיליקאָן קאַרבייד RTA טרעגער פּלאַטע פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר