הקדמה פון וועיפער טרעגער
פּראָדוקט קאַטעגאָריע
▶וואַפער טרעגער סיסטעם פֿאַר PECVD און TALOX פּראָצעס
• PECVD און TALOX גראַפיט שיפל (M4~M12)
• ווערטיקאַל SM-שיפל (M4, M6)
• אימפּלאַנט און דוש גראַפיט טייל (M4~M6)
• C/C טאַץ און קעראַמישע קאָוטינג
• מעטאַל RIE-טרעי און קעראַמישע קאָוטינג
• וואַקוום פאַרזיגלונג: אָ-רינג און סקווער-רינג
▶טעקסטשערינג און נאַס עטשינג טראַנספער פּראָצעס
• LSC H-קעריער אדער קאַסעטע (M4~M12)
• LSC V-קעריער אדער קאַסעטע (M4~M12)
• ASC טרעגער אדער קאַסעטע (M4, M6)
• W/F טרעגער און סטאָרידזש קעסטל (M4~M12)
• טראַנספּאָרט ראָד (ראָולער) סעריע
▶זונ - צעל טרעגער און מעטאַל טרעגער
• TRC טרעגער אדער קאַסעטע (M4~M12)
• זשורנאַל (מיט גאַרטל)
גראַפיט שיפל (H-טיפּ)
19P6-216CT (WF M4~M12)
גראַפיט שיפל (H-טיפּ)
21P6-240CT WF M4~M12)
גראַפיט שיפל (H-טיפּ)
23P7-308CT (ברייט/פֿרײַ M4~M12)
גראַפיט שיפל (H-טיפּ)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
גראַפיט שיפל (H-טיפּ)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF טרעגער און סטאָרידזש קעסטל (~M12)
C/C טאַץ אָדער טרעגער (M4~M10)
C/C טאַץ אָדער טרעגער (M4~M10)
ווערטיקאַלע שיפל (SM) M6
LSC-H-קעריער (~M12)
LSC-V-קעריער (~M12)
ASC טרעגער (~M6)
TRC טרעגער (~M12)
TRC טרעגער (~M12)
גראַפיט-שיפל (M12)
וואַפער טרעגער סיסטעם פֿאַר PECVD פּראָצעס
▶ גראַפיט שיפל (CT-דיזיינד) M10/M12 פּראָצעס
• ספּעציעלע פּלאַן קאָנצעפּט
▶ גראַפיט שיפל (CT-דיזיינד) M4/M6 פּראָצעס
▶ שיפל אַקסעסאָרי טיילן
▶ ווערטיקאַלע שיפל - 161.7 מם ווייפער
▶ ווערטיקאַלע שיפל - 166 מם ווייפער
▶ ווערטיקאַלע שיפל - 161.7 מם, 166 מם ווייפער
זונ - צעל טרעגער און מעטאַל TRC טרעגער
טיפ: אויטאמאציע
וואַפער גרייס: ① 156×156 מם ② 156.75×156.75 מם
③161.7x161.7 מ״מ ④166x166 מ״מ
⑤ 180×180 מ״מ ⑥ 210×210 מ״מ
באַניץ: טראָגן (קאַסעטע)
קאַפּאַציטעט: 100 בלעטער
פּיטש: 4.76 מם/5.953 מם/6.35 מם
גרייס: בערך 559×220×220 מ״מ
אומגעפער 712×260×260 מ״מ
פֿאָרטייל: אַטמאָספֿערע
מאַטעריאַל: פלאַם, זייט באַר-אַלומינום (אַנאָדיזינג)
זייט פּלאַטע-פּאָם (אַנטיסטאַטיש)
דעקל פון אונטערשטן שטאַנג - EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-מעטאל טרעגער (יוזער ליניע)
TRC-מעטאל טרעגער (יוזער ליניע)
TRC-מעטאל טרעגער (יוזער ליניע)
דוש פּלאַטע און אימפּלאַנט, טרעגער
