קוואַרץ: אַ וויכטיקער קאָמפּאָנענט אין מאָדערנער עלעקטראָניק
הקדמה צו קוואַרץ מאַטעריאַלן
קוואַרץ (SiO₂) קען אויסזען ווי גלאָז אויפן ערשטן בליק, אָבער זייַנע אייגענאַרטיקע אייגנשאַפטן מאַכן עס אַנדערש. נישט ווי נאָרמאַל גלאָז, וואָס באַשטייט פון קייפל קאָמפּאָנענטן (ווי קוואַרץ זאַמד, באָראַקס, באַריום קאַרבאָנאַט, קאַלךשטיין, פעלדספּאַר און סאָדע), איז קוואַרץ צוזאַמענגעשטעלט בלויז פון SiO₂. דאָס גיט עס אַ פּשוטע נעץ סטרוקטור געשאַפֿן דורך טעטראַעדראַלע איינהייטן פון סיליקאָן דייאַקסייד..
די באַדייטונג פון הויך-ריינקייט קוואַרץ
הויך-ריינהייט קוואַרץ, אָפט גערופן די "קרוין דזשול" פון גלאָז מאַטעריאַלן, אָפפערס אויסערגעוויינלעכע אייגנשאַפטן רעכט צו זייַן מינימאַל מעטאַלישע אומריינקייטן. דאָס באַמערקונגסווערטע מאַטעריאַל איז וויכטיק אין פאַרשידענע האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָצעסן, מיט אַדוואַנטאַגעס ווי:
1. הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל: מיט אַ ווייכערונג פונקט פון בעערעך 1730°C, קען קוואַרץ אויסהאַלטן לאַנג-טערמין נוצן ביי 1150°C און שעפּן קורצע אויסברוכן ביז 1450°C.
2. כעמישע קעראָוזשאַן קעגנשטעל: הויך-ריינקייט קוואַרץ ווייזט מינימאַל רעאַקטיוויטי מיט רובֿ זויערן (חוץ הידראָפלואָריק זויער) און דעמאַנסטרירט העכערע פעסטקייט קעגן כעמישער אַטאַק, זייַענדיק 30 מאָל מער זויער-קעגנשטעליק ווי קעראַמיק און 150 מאָל מער קעגנשטעליק ווי ומבאַפלעקט שטאָל.
3. טערמישע פעסטקייט: הויך-ריינקייט קוואַרץ האט אַן עקסטרעם נידעריק טערמישע יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט, אַלאַוינג עס צו פאַרטראָגן שנעל טעמפּעראַטור ענדערונגען אָן בראָך.
4. אָפּטישע קלעריטי: דאָס מאַטעריאַל האַלט אַ הויכע טראַנסמיטאַנס איבער אַ ברייטן ספּעקטרום, מיט זעבאר ליכט טראַנסמיטאַנס וואָס יקסידז 93% און אַלטראַווייאַליט טראַנסמיטאַנס וואָס דערגרייכט העכער 80%.
5. עלעקטרישע איזאָלאַציע: הויך-ריינקייט קוואַרץ אָפפערס אויסערגעוויינלעכע עלעקטרישע קעגנשטעל, מאכן עס אַן ויסגעצייכנט איזאָלאַטאָר אפילו ביי עלעוואַטעד טעמפּעראַטורעס.
אַפּליקאַציעס אין דער האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע
צוליב די אויסגעצייכנטע פיזישע און כעמישע אייגנשאפטן, ווערט הויך-ריינקייט קוואַרץ ברייט גענוצט אין מאָדערנער עלעקטראָניק, טעלעקאָמוניקאַציע, און די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע. די וואַקסנדיקע פאָדערונג פֿאַר סיליקאָן וועיפערס האט באַדייטנד געוואקסן די נויט פֿאַר קוואַרץ קאָמפּאָנענטן, ספּעציעל אין טשיפּ פאַבריקאַציע.
שליסל אַפּליקאַציעס פון קוואַרץ אין האַלב-קאָנדוקטאָר מאַנופאַקטורינג:
1. הויך-טעמפּעראַטור דעוויסעס:
·קוואַרץ אויוון רערן:עסענציעל פֿאַר פּראָצעסן ווי דיפוזיע, אַקסאַדיישאַן און אַנילינג, די רערן ענשור הויך-טעמפּעראַטור פעסטקייט און עפעקטיווקייט בעשאַס האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע.
·קוואַרץ שיפן:געניצט פֿאַר טראַנספּאָרט און פּראַסעסינג סיליקאָן וועיפערס, קוואַרץ שיפן פאַסילאַטייט באַטש מאַנופאַקטורינג אין דיפיוזשאַן פּראַסעסאַז.
2. נידעריק-טעמפּעראַטור דעוויסעס:
·קוואַרץ רינגען:אינטעגראל צום עטשינג פּראָצעס, פאַרהיטן קוואַרץ רינגען קאָנטאַמינאַציע און ענשור פּינקטלעכע מאַנופאַקטורינג בעת ליטאָגראַפֿיע און פּאַטערן.
·קוואַרץ רייניקונג קערב און טאַנקען:די קאָמפּאָנענטן זענען קריטיש וויכטיק פֿאַר רייניקונג פון סיליקאָן וועיפערס. זיי מוזן קעגנשטעלן זויער און אַלקאַלי בשעת זיי מינימיזירן קאָנטאַקט שטח צו פֿאַרבעסערן רייניקונג עפעקטיווקייט.
מסקנא
כאָטש קוואַרץ קאָמפּאָנענטן קענען דערשייַנען ווי מינערווערטיקע קאָנסומאַבלעס אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס, שפּילן זיי אַ קריטישע ראָלע אין ענשורינג די קוואַליטעט און פאַרלאָזלעכקייט פון האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס. לויט Techcet, הויך-ריינקייט קוואַרץ גלאז מאַטעריאַלס זענען פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר וועגן 90% פון די יערלעך גלאבאלע פּראָדוקציע אין די עלעקטראָניש אינפֿאָרמאַציע אינדוסטריע.
ביי סעמיסעראַ, זענען מיר געטרייַ צו פֿאַרבעסערן די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע דורך צושטעלן הויך-פאָרשטעלונג קוואַרץ מאַטעריאַלן. פּונקט ווי נעגל זענען וויכטיק פֿאַר סטרוקטורעלע אָרנטלעכקייט, אַזוי איז קוואַרץ אויך וויכטיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע.
2. נידעריק-טעמפּעראַטור דעוויסעס:
·קוואַרץ רינגעןאינטעגראל צום עטשינג פּראָצעס, קוואַרץ רינגען פאַרהיטן קאַנטאַמאַניישאַן און ענשור פּינקטלעכע מאַנופאַקטורינג בעשאַס ליטאָגראַפֿיע און פּאַטערנינג.
·קוואַרץ רייניקונג קערב און טאַנקעןדי קאָמפּאָנענטן זענען קריטיש פֿאַר רייניקונג פון סיליקאָן וועיפערס. זיי מוזן קעגנשטעלן זויער און אַלקאַלי בשעת זיי מינימיזירן קאָנטאַקט שטח צו פֿאַרבעסערן רייניקונג עפעקטיווקייט.
מסקנא
כאָטש קוואַרץ קאָמפּאָנענטן קענען דערשייַנען ווי מינערווערטיקע קאָנסומאַבלעס אין דעם האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פּראָצעס, שפּילן זיי אַ קריטישע ראָלע אין ענשורינג די קוואַליטעט און פאַרלאָזלעכקייט פון האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס. לויט Techcet, הויך-ריינקייט קוואַרץ גלאז מאַטעריאַלס זענען פאַראַנטוואָרטלעך פֿאַר וועגן 90% פון די יערלעך גלאבאלע פּראָדוקציע אין די עלעקטראָניש אינפֿאָרמאַציע אינדוסטריע.
ביי סעמיסעראַ, זענען מיר געטרייַ צו פֿאַרבעסערן די האַלב-קאָנדוקטאָר אינדוסטריע דורך צושטעלן הויך-פאָרשטעלונג קוואַרץ מאַטעריאַלן. פּונקט ווי נעגל זענען וויכטיק פֿאַר סטרוקטורעלע אָרנטלעכקייט, אַזוי איז קוואַרץ אויך וויכטיק פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר פּראָדוקציע.
