סיליציום קאַרבידע (סיק) איין קריסטאַל מאַטעריאַל האט אַ גרויס באַנד ריס ברייט (~ סי 3 מאל), הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (~ סי 3.3 מאל אָדער גאַאַס 10 מאל), הויך עלעקטראָן זעטיקונג מייגריישאַן קורס (~ סי 2.5 מאל), הויך ברייקדאַון עלעקטריק פעלד (~ סי 10 מאל אָדער גאַאַס 5 מאל) און אנדערע בוילעט קעראַקטעריסטיקס.
די דריט דור סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַרייַננעמען דער הויפּט סיק, גאַן, דימענט, אאז"ו ו, ווייַל זייַן באַנד ריס ברייט (למשל) איז גרעסער ווי אָדער גלייַך צו 2.3 עלעקטראָן וואלטס (עוו), אויך באקאנט ווי ברייט באַנד ריס סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס. קאַמפּערד מיט דער ערשטער און רגע דור סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס, די דריט דור סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס האָבן די אַדוואַנטידזשיז פון הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, הויך ברייקדאַון עלעקטריק פעלד, הויך סאַטשערייטאַד עלעקטראָן מייגריישאַן קורס און הויך באַנדינג ענערגיע, וואָס קענען טרעפן די נייַע רעקווירעמענץ פון מאָדערן עלעקטראָניש טעכנאָלאָגיע פֿאַר הויך. טעמפּעראַטור, הויך מאַכט, הויך דרוק, הויך אָפטקייַט און ראַדיאַציע קעגנשטעל און אנדערע האַרב טנאָים. עס האט וויכטיק אַפּלאַקיישאַן פּראַספּעקס אין די פעלדער פון נאציאנאלע פאַרטיידיקונג, ייווייישאַן, אַעראָספּאַסע, ייל עקספּלעריישאַן, אָפּטיש סטאָרידזש, אאז"ו ו, און קענען רעדוצירן ענערגיע אָנווער מיט מער ווי 50% אין פילע סטראַטידזשיק ינדאַסטריז אַזאַ ווי בראָדבאַנד קאָמוניקאַציע, זונ - ענערגיע, ויטאָמאָביל מאַנופאַקטורינג, סעמיקאַנדאַקטער לייטינג, און קלוג גריד, און קענען רעדוצירן ויסריכט באַנד מיט מער ווי 75%, וואָס איז אַ מיילסטאָון באַטייַט פֿאַר דער אַנטוויקלונג פון מענטש וויסנשאַפֿט און טעכנאָלאָגיע.
סעמיסעראַ ענערגיע קענען צושטעלן קאַסטאַמערז מיט הויך-קוואַליטעט קאַנדאַקטיוו (קאָנדוקטיווע), האַלב-ינסאַלייטינג (סעמי-ינסאַלייטינג), הפּסי (היגה ריינקייַט האַלב-ינסאַלייטינג) סיליציום קאַרבידע סאַבסטרייט; אין דערצו, מיר קענען צושטעלן קאַסטאַמערז מיט כאָומאַדזשיניאַס און כעטעראַדזשיניאַס סיליציום קאַרבידע עפּיטאַקסיאַל שיץ; מיר קענען אויך קאַסטאַמייז די עפּיטאַקסיאַל בויגן לויט צו די ספּעציפיש באדערפענישן פון קאַסטאַמערז, און עס איז קיין מינימום סדר קוואַנטיטי.
| זאכן | פּראָדוקציע | פאָרשונג | דאַמי |
| קריסטאַל פּאַראַמעטערס | |||
| פּאָליטיפּע | 4H | ||
| ייבערפלאַך אָריענטירונג טעות | <11-20 >4±0.15° | ||
| עלעקטריקאַל פּאַראַמעטערס | |||
| דאָפּאַנט | n-טיפּ ניטראָגען | ||
| רעסיסטיוויטי | 0.015-0.025 אָהם · סענטימעטער | ||
| מעטשאַניקאַל פּאַראַמעטערס | |||
| דיאַמעטער | 150.0±0.2מם | ||
| גרעב | 350±25 μם | ||
| ערשטיק פלאַך אָריענטירונג | [1-100]±5° | ||
| ערשטיק פלאַך לענג | 47.5±1.5מם | ||
| צווייטיק פלאַך | קיינער | ||
| TTV | ≤5 μם | ≤10 μם | ≤15 μם |
| LTV | ≤3 μם (5 מם * 5 מם) | ≤5 μם (5 מם * 5 מם) | ≤10 μם (5 מם * 5 מם) |
| בויגן | -15μם ~ 15μם | -35μם ~ 35μם | -45μם ~ 45μם |
| וואָרפּ | ≤35 μם | ≤45 μם | ≤55 μם |
| פראָנט (סי-פּנים) ראַפנאַס (אַפם) | ראַ≤0.2נם (5μם*5μם) | ||
| סטרוקטור | |||
| מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט | <1 עאַ / סענטימעטער2 | <10 עאַ/קם2 | <15 עאַ / סענטימעטער2 |
| מעטאַל ימפּיוראַטיז | ≤5ע10אַטאָמס/קם2 | NA | |
| BPD | ≤1500 עאַ/קם2 | ≤3000 עאַ/קם2 | NA |
| TSD | ≤500 עאַ/קם2 | ≤1000 עאַ / סענטימעטער2 | NA |
| פראָנט קוואַליטי | |||
| פראָנט | Si | ||
| ייבערפלאַך ענדיקן | סי-פּנים קמפּ | ||
| פּאַרטיקאַלז | ≤60 עאַ / וואַפער (גרייס ≥0.3μם) | NA | |
| סקראַטשיז | ≤5עאַ/מם. קיומיאַלאַטיוו לענג ≤דיאַמעטער | קיומיאַלאַטיוו לענג≤2*דיאַמעטער | NA |
| מאַראַנץ שאָלעכץ / פּיץ / סטאַינס / סטרייישאַנז / קראַקס / קאַנטאַמאַניישאַן | קיינער | NA | |
| ברעג טשיפּס / ינדענץ / בראָך / העקס פּלאַטעס | קיינער | ||
| פּאָליטיפּע געביטן | קיינער | קיומיאַלאַטיוו שטח≤20% | קיומיאַלאַטיוו שטח≤30% |
| פראָנט לאַזער מאַרקינג | קיינער | ||
| צוריק קוואַליטי | |||
| צוריק ענדיקן | C-פּנים קמפּ | ||
| סקראַטשיז | ≤5עאַ/מם,קיומיאַלאַטיוו לענג≤2*דיאַמעטער | NA | |
| צוריק חסרונות (ברעג טשיפּס / ינדענטז) | קיינער | ||
| צוריק ראַפנאַס | ראַ≤0.2נם (5μם*5μם) | ||
| צוריק לאַזער מאַרקינג | 1 מם (פון שפּיץ ברעג) | ||
| עדזש | |||
| עדזש | טשאַמפער | ||
| פּאַקקאַגינג | |||
| פּאַקקאַגינג | עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקקאַגינג מולטי-ווייפער קאַסעט פּאַקקאַגינג | ||
| * נאָטעס: "NA" מיטל קיין בעטן יטעמס ניט דערמאנט קען אָפּשיקן צו SEMI-STD. | |||
-
הויך ריינקייַט סיליציום קאַרבידע קריסטאַל שיפל קאַררי ...
-
הויך ריינקייַט פּאָרעז טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטאַד פאַס
-
אָפּרוף סינטערעד סיליציום קאַרבידע ווייפער שיפל
-
פּאָרעז טאַנטאַלום קאַרבידע, הייס פעלד מאַטעריאַל פֿאַר ...
-
מנהג קווד טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטינג טיילן
-
טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטאַד וואַפער סוסעפּטאָר