די 6 אינטש N-Type SiC Wafer פון Semicera שטייט אין די פאָרפראַנט פון סעמיקאַנדאַקטער טעכנאָלאָגיע. די ווייפער איז דיזיינד פֿאַר אָפּטימאַל פאָרשטעלונג און יקסעלז אין הויך-מאַכט, הויך-אָפטקייַט און הויך-טעמפּעראַטור אַפּלאַקיישאַנז, יקערדיק פֿאַר אַוואַנסירטע עלעקטראָניש דעוויסעס.
אונדזער 6 אינטש N-טיפּ SiC ווייפער פֿעיִקייטן הויך עלעקטראָן מאָביליטי און נידעריק קעגנשטעל, וואָס זענען קריטיש פּאַראַמעטערס פֿאַר מאַכט דעוויסעס אַזאַ ווי MOSFETs, דייאָודז און אנדערע קאַמפּאָונאַנץ. די פּראָפּערטיעס ענשור עפעקטיוו ענערגיע קאַנווערזשאַן און רידוסט היץ דזשענעריישאַן, ענכאַנסינג די פאָרשטעלונג און לעבן פון עלעקטראָניש סיסטעמען.
די שטרענג קוואַליטעט קאָנטראָל פּראַסעסאַז פון Semicera ינשור אַז יעדער SiC ווייפער מיינטיינז ויסגעצייכנט ייבערפלאַך פלאַטנאַס און מינימאַל חסרונות. די פּינטלעך ופמערקזאַמקייט צו דעטאַל ינשורז אַז אונדזער ווייפערז טרעפן די שטרענג רעקווירעמענץ פון ינדאַסטריז אַזאַ ווי אָטאַמאָוטיוו, עראָוספּייס און טעלאַקאַמיונאַקיישאַנז.
אין אַדישאַן צו די העכער עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס, די N-Type SiC ווייפער אָפפערס שטאַרק טערמאַל פעסטקייַט און קעגנשטעל צו הויך טעמפּעראַטורעס, וואָס מאכט עס ידעאַל פֿאַר ינווייראַנמאַנץ ווו קאַנווענשאַנאַל מאַטעריאַלס קען פאַרלאָזן. די פיייקייט איז דער הויפּט ווערטפול אין אַפּלאַקיישאַנז מיט הויך-אָפטקייַט און הויך-מאַכט אַפּעריישאַנז.
דורך טשוזינג די 6 אינטש N-Type SiC Wafer פון Semicera, איר ינוועסטירן אין אַ פּראָדוקט וואָס רעפּראַזענץ די שפּיץ פון סעמיקאַנדאַקטער כידעש. מיר זענען קאַמיטאַד צו צושטעלן די בנין בלאַקס פֿאַר קאַטינג-ברעג דעוויסעס, ינשורינג אַז אונדזער פּאַרטנערס אין פאַרשידן ינדאַסטריז האָבן אַקסעס צו די בעסטער מאַטעריאַלס פֿאַר זייער טעקנאַלאַדזשיקאַל אַדוואַנטידזשיז.
| זאכן | פּראָדוקציע | פאָרשונג | דאַמי |
| קריסטאַל פּאַראַמעטערס | |||
| פּאָליטיפּע | 4H | ||
| ייבערפלאַך אָריענטירונג טעות | <11-20 >4±0.15° | ||
| עלעקטריקאַל פּאַראַמעטערס | |||
| דאָפּאַנט | n-טיפּ ניטראָגען | ||
| רעסיסטיוויטי | 0.015-0.025 אָהם · סענטימעטער | ||
| מעטשאַניקאַל פּאַראַמעטערס | |||
| דיאַמעטער | 150.0±0.2מם | ||
| גרעב | 350±25 μם | ||
| ערשטיק פלאַך אָריענטירונג | [1-100]±5° | ||
| ערשטיק פלאַך לענג | 47.5±1.5מם | ||
| צווייטיק פלאַך | קיינער | ||
| TTV | ≤5 μם | ≤10 μם | ≤15 μם |
| LTV | ≤3 μם (5 מם * 5 מם) | ≤5 μם (5 מם * 5 מם) | ≤10 μם (5 מם * 5 מם) |
| בויגן | -15μם ~ 15μם | -35μם ~ 35μם | -45μם ~ 45μם |
| וואָרפּ | ≤35 μם | ≤45 μם | ≤55 μם |
| פראָנט (סי-פּנים) ראַפנאַס (אַפם) | ראַ≤0.2נם (5μם*5μם) | ||
| סטרוקטור | |||
| מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט | <1 עאַ / סענטימעטער2 | <10 עאַ/קם2 | <15 עאַ / סענטימעטער2 |
| מעטאַל ימפּיוראַטיז | ≤5ע10אַטאָמס/קם2 | NA | |
| BPD | ≤1500 עאַ/קם2 | ≤3000 עאַ/קם2 | NA |
| TSD | ≤500 עאַ/קם2 | ≤1000 עאַ / סענטימעטער2 | NA |
| פראָנט קוואַליטי | |||
| פראָנט | Si | ||
| ייבערפלאַך ענדיקן | סי-פּנים קמפּ | ||
| פּאַרטיקאַלז | ≤60 עאַ / וואַפער (גרייס ≥0.3μם) | NA | |
| סקראַטשיז | ≤5עאַ/מם. קיומיאַלאַטיוו לענג ≤דיאַמעטער | קיומיאַלאַטיוו לענג≤2*דיאַמעטער | NA |
| מאַראַנץ שאָלעכץ / פּיץ / סטאַינס / סטרייישאַנז / קראַקס / קאַנטאַמאַניישאַן | קיינער | NA | |
| ברעג טשיפּס / ינדענץ / בראָך / העקס פּלאַטעס | קיינער | ||
| פּאָליטיפּע געביטן | קיינער | קיומיאַלאַטיוו שטח≤20% | קיומיאַלאַטיוו שטח≤30% |
| פראָנט לאַזער מאַרקינג | קיינער | ||
| צוריק קוואַליטי | |||
| צוריק ענדיקן | C-פּנים קמפּ | ||
| סקראַטשיז | ≤5עאַ/מם,קיומיאַלאַטיוו לענג≤2*דיאַמעטער | NA | |
| צוריק חסרונות (ברעג טשיפּס / ינדענטז) | קיינער | ||
| צוריק ראַפנאַס | ראַ≤0.2נם (5μם*5μם) | ||
| צוריק לאַזער מאַרקינג | 1 מם (פון שפּיץ ברעג) | ||
| עדזש | |||
| עדזש | טשאַמפער | ||
| פּאַקקאַגינג | |||
| פּאַקקאַגינג | עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקקאַגינג מולטי-ווייפער קאַסעט פּאַקקאַגינג | ||
| * נאָטעס: "NA" מיטל קיין בעטן יטעמס ניט דערמאנט קען אָפּשיקן צו SEMI-STD. | |||
