6 לנטש n-טיפּ סיק סאַבסטרייט

קורץ באַשרייַבונג:

6-אינטש n-טיפּ סיק סאַבסטרייט‌ איז אַ סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַל קעראַקטערייזד דורך די נוצן פון אַ 6-אינטש ווייפער גרייס, וואָס ינקריסאַז די נומער פון דעוויסעס וואָס קענען זיין געשאפן אויף אַ איין ווייפער איבער אַ גרעסערע ייבערפלאַך געגנט, און דערמיט רידוסינג קאָס אויף מיטל מדרגה. . די אַנטוויקלונג און אַפּלאַקיישאַן פון 6-אינטש n-טיפּ סיק סאַבסטרייץ בענאַפיטיד פון די העכערונג פון טעקנאַלאַדזשיז אַזאַ ווי די RAF גראָוט אופֿן, וואָס ראַדוסאַז דיסלאָוקיישאַנז דורך קאַטינג קריסטאַלז צוזאמען דיסלאָוקיישאַנז און פּאַראַלעל אינסטרוקציעס און ריגראָוינג קריסטאַלז, דערמיט ימפּרוווינג די קוואַליטעט פון די סאַבסטרייט. די אַפּלאַקיישאַן פון דעם סאַבסטרייט איז פון גרויס באַטייַט צו פֿאַרבעסערן די פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט און רידוסינג קאָס פון SiC מאַכט דעוויסעס.


פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

סיליציום קאַרבידע (סיק) איין קריסטאַל מאַטעריאַל האט אַ גרויס באַנד ריס ברייט (~ סי 3 מאל), הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (~ סי 3.3 מאל אָדער גאַאַס 10 מאל), הויך עלעקטראָן זעטיקונג מייגריישאַן קורס (~ סי 2.5 מאל), הויך ברייקדאַון עלעקטריק פעלד (~ סי 10 מאל אָדער גאַאַס 5 מאל) און אנדערע בוילעט קעראַקטעריסטיקס.

די דריט דור סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס אַרייַננעמען דער הויפּט סיק, גאַן, דימענט, אאז"ו ו, ווייַל זייַן באַנד ריס ברייט (למשל) איז גרעסער ווי אָדער גלייַך צו 2.3 עלעקטראָן וואלטס (עוו), אויך באקאנט ווי ברייט באַנד ריס סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס. קאַמפּערד מיט דער ערשטער און רגע דור סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס, די דריט דור סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס האָבן די אַדוואַנטידזשיז פון הויך טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, הויך ברייקדאַון עלעקטריק פעלד, הויך סאַטשערייטאַד עלעקטראָן מייגריישאַן קורס און הויך באַנדינג ענערגיע, וואָס קענען טרעפן די נייַע רעקווירעמענץ פון מאָדערן עלעקטראָניש טעכנאָלאָגיע פֿאַר הויך. טעמפּעראַטור, הויך מאַכט, הויך דרוק, הויך אָפטקייַט און ראַדיאַציע קעגנשטעל און אנדערע האַרב טנאָים. עס האט וויכטיק אַפּלאַקיישאַן פּראַספּעקס אין די פעלדער פון נאציאנאלע פאַרטיידיקונג, ייווייישאַן, אַעראָספּאַסע, ייל עקספּלעריישאַן, אָפּטיש סטאָרידזש, אאז"ו ו, און קענען רעדוצירן ענערגיע אָנווער מיט מער ווי 50% אין פילע סטראַטידזשיק ינדאַסטריז אַזאַ ווי בראָדבאַנד קאָמוניקאַציע, זונ - ענערגיע, ויטאָמאָביל מאַנופאַקטורינג, סעמיקאַנדאַקטער לייטינג, און קלוג גריד, און קענען רעדוצירן ויסריכט באַנד מיט מער ווי 75%, וואָס איז אַ מיילסטאָון באַטייַט פֿאַר דער אַנטוויקלונג פון מענטש וויסנשאַפֿט און טעכנאָלאָגיע.

סעמיסעראַ ענערגיע קענען צושטעלן קאַסטאַמערז מיט הויך-קוואַליטעט קאַנדאַקטיוו (קאָנדוקטיווע), האַלב-ינסאַלייטינג (סעמי-ינסאַלייטינג), הפּסי (היגה ריינקייַט האַלב-ינסאַלייטינג) סיליציום קאַרבידע סאַבסטרייט; אין דערצו, מיר קענען צושטעלן קאַסטאַמערז מיט כאָומאַדזשיניאַס און כעטעראַדזשיניאַס סיליציום קאַרבידע עפּיטאַקסיאַל שיץ; מיר קענען אויך קאַסטאַמייז די עפּיטאַקסיאַל בויגן לויט צו די ספּעציפיש באדערפענישן פון קאַסטאַמערז, און עס איז קיין מינימום סדר קוואַנטיטי.

יקערדיק פּראָדוקט ספּעסאַפאַקיישאַנז

גרייס 6-אינטש
דיאַמעטער 150.0מם+0מם/-0.2מם
ייבערפלאַך אָריענטירונג אַוועק-אַקס: 4 ° צו <1120> ± 0.5 °
ערשטיק פלאַך לענג 47.5 מם 1.5 מם
ערשטיק פלאַך אָריענטירונג <1120>±1.0°
צווייטיק פלאַך קיינער
גרעב 350.0um±25.0um
פּאָליטיפּע 4H
קאַנדאַקטיוו טיפּ n-טיפּ

קריסטאַל קוואַליטעט ספּעסאַפאַקיישאַנז

6-אינטש
נומער P-MOS גראַד פּ-סבד גראַדע
רעסיסטיוויטי 0.015Ω·קם-0.025Ω·קם
פּאָליטיפּע קיין דערלויבט
מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט ≤0.2/cm2 ≤0.5/cm2
EPD ≤4000/cm2 ≤8000/cm2
TED ≤3000/cm2 ≤6000/cm2
BPD ≤1000/cm2 ≤2000/cm2
TSD ≤300/cm2 ≤1000/cm2
SF (געמאסטן דורך UV-PL-355nm) ≤0.5% שטח ≤1% שטח
העקס פּלאַטעס דורך הויך ינטענסיטי ליכט קיין דערלויבט
וויסואַל קאַרבאָן ינקלוזשאַנז דורך הויך ינטענסיטי ליכט קומולאַטיווע שטח≤0.05%
微信截图_20240822105943

רעסיסטיוויטי

פּאָליטיפּע

6 לנטש n-טיפּ סיק סאַבסטרייט (3)
6 לנטש n-טיפּ סיק סאַבסטרייט (4)

BPD&TSD

6 לנטש n-טיפּ סיק סאַבסטרייט (5)
SiC ווייפערז

  • פֿריִער:
  • ווייַטער: