אַטאָמישע שיכטע דעפּאַזישאַן (ALD) איז אַ כעמישער פארע דעפּאַזישאַן טעכנאָלאָגיע וואָס וואקסט דין פילמס שיכטע דורך שיכטע דורך אָלטערנאַטלי ינדזשעקטינג צוויי אָדער מער פּריקערסער מאַלאַקיולז. ALD האט די אַדוואַנטידזשיז פון הויך קאַנטראָולאַביליטי און יונאַפאָרמאַטי, און קענען זיין וויידלי געניצט אין סעמיקאַנדאַקטער דעוויסעס, אָפּטאָעלעקטראָניק דעוויסעס, ענערגיע סטאָרידזש דעוויסעס און אנדערע פעלדער. די גרונט פּרינסאַפּאַלז פון ALD אַרייַננעמען פּריקערסער אַדסאָרפּטיאָן, ייבערפלאַך אָפּרוף און באַזייַטיקונג פון ביי-פּראָדוקטן, און מאַלטי-שיכטע מאַטעריאַלס קענען זיין געשאפן דורך ריפּיטינג די סטעפּס אין אַ ציקל. ALD האט די קעראַקטעריסטיקס און אַדוואַנטידזשיז פון הויך קאַנטראָולאַביליטי, יונאַפאָרמאַטי און ניט-פּאָרעז סטרוקטור, און קענען זיין געוויינט פֿאַר די דעפּאַזישאַן פון פאַרשידן סאַבסטרייט מאַטעריאַלס און פאַרשידן מאַטעריאַלס.
ALD האט די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס און אַדוואַנטידזשיז:
1. הויך קאָנטראָלאַביליטי:זינט ALD איז אַ שיכטע-דורך-שיכטע גראָוט פּראָצעס, די גרעב און זאַץ פון יעדער שיכטע פון מאַטעריאַל קענען זיין גענוי קאַנטראָולד.
2. וניפאָרמאַטי:ALD קענען יונאַפאָרמלי אַוועקלייגן מאַטעריאַלס אויף די גאנצע סאַבסטרייט ייבערפלאַך, אַוווידיד די אַניוואַננאַס וואָס קען פּאַסירן אין אנדערע דעפּאַזישאַן טעקנאַלאַדזשיז.
3. ניט-פּאָרעז סטרוקטור:זינט ALD איז דאַפּאַזיטיד אין וניץ פון איין אַטאָמס אָדער איין מאַלאַקיולז, די ריזאַלטינג פילם יוזשאַוואַלי האט אַ געדיכט, ניט-פּאָרעז סטרוקטור.
4. גוט קאַווערידזש פאָרשטעלונג:ALD קענען יפעקטיוולי דעקן סטראַקטשערז מיט הויך אַספּעקט פאַרהעלטעניש, אַזאַ ווי נאַנאָפּאָרע ערייז, מאַטעריאַלס מיט הויך פּאָראָסיטי, עטק.
5. סקאַלאַביליטי:ALD קענען זיין געוויינט פֿאַר אַ פאַרשיידנקייַט פון סאַבסטרייט מאַטעריאַלס, אַרייַנגערעכנט מעטאַלס, סעמיקאַנדאַקטערז, גלאז, עטק.
6. ווערסאַטאַליטי:דורך סאַלעקטינג פאַרשידענע פּריקערסער מאַלאַקיולז, אַ פאַרשיידנקייַט פון פאַרשידענע מאַטעריאַלס קענען זיין דאַפּאַזיטיד אין די ALD פּראָצעס, אַזאַ ווי מעטאַל אַקסיידז, סולפידעס, ניטרידעס, עטק.
