ALD אַטאָמישע שיכטע דעפּאַזישאַן פּלאַנעטאַרי סאַספּעקטאָר

ALD האט די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס און אַדוואַנטידזשיז:
1. הויך קאָנטראָלאַביליטי:זינט ALD איז אַ שיכטע-דורך-שיכטע גראָוט פּראָצעס, די גרעב און זאַץ פון יעדער שיכטע פון ​​מאַטעריאַל קענען זיין גענוי קאַנטראָולד.
2. וניפאָרמאַטי:ALD קענען יונאַפאָרמלי אַוועקלייגן מאַטעריאַלס אויף די גאנצע סאַבסטרייט ייבערפלאַך, אַוווידיד די אַניוואַננאַס וואָס קען פּאַסירן אין אנדערע דעפּאַזישאַן טעקנאַלאַדזשיז.
3. ניט-פּאָרעז סטרוקטור:זינט ALD איז דאַפּאַזיטיד אין וניץ פון איין אַטאָמס אָדער איין מאַלאַקיולז, די ריזאַלטינג פילם יוזשאַוואַלי האט אַ געדיכט, ניט-פּאָרעז סטרוקטור.
4. גוט קאַווערידזש פאָרשטעלונג:ALD קענען יפעקטיוולי דעקן סטראַקטשערז מיט הויך אַספּעקט פאַרהעלטעניש, אַזאַ ווי נאַנאָפּאָרע ערייז, מאַטעריאַלס מיט הויך פּאָראָסיטי, עטק.
5. סקאַלאַביליטי:ALD קענען זיין געוויינט פֿאַר אַ פאַרשיידנקייַט פון סאַבסטרייט מאַטעריאַלס, אַרייַנגערעכנט מעטאַלס, סעמיקאַנדאַקטערז, גלאז, עטק.
6. ווערסאַטאַליטי:דורך סאַלעקטינג פאַרשידענע פּריקערסער מאַלאַקיולז, אַ פאַרשיידנקייַט פון פאַרשידענע מאַטעריאַלס קענען זיין דאַפּאַזיטיד אין די ALD פּראָצעס, אַזאַ ווי מעטאַל אַקסיידז, סולפידעס, ניטרידעס, עטק.