די AlN כיטער פון סעמיסעראַ איז אַ אַוואַנסירטע באַהיצונג לייזונג קראַפטעד פון אַלומינום ניטריד סעראַמיק, דיזיינד פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג אַפּלאַקיישאַנז אין ינדאַסטריז אַזאַ ווי סעמיקאַנדאַקטערז, וואַקוום סיסטעמען און מער. די יקסעפּשאַנאַל טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און עלעקטריקאַל ינסאַליישאַן פון דעם כיטער מאַכן עס ידעאַל פֿאַר פּינטלעכקייַט באַהיצונג אין פאדערן ינווייראַנמאַנץ ווי ווייפער פּראַסעסינג, וואַקוום יוואַפּערייטערז און ספּאַטערינג מאשינען.
אין סעמיסעראַ, מיר שטאָלצירן זיך מיט דיליווערינג פּראָדוקטן פון די העכסטן ריי וואָס טרעפן ינדאַסטרי באדערפענישן, און די AlN כיטער איז קיין ויסנעם. מאַניאַפאַקטשערד פון אַלומינום ניטרידע (אַלן), דעם כיטער אָפפערס ויסגעצייכנט היץ קעגנשטעל, נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן און די פיייקייט צו וויטסטאַנד עקסטרעם טעמפּעראַטורעס אָן קאַמפּראַמייזינג פאָרשטעלונג. זיין עפעקטיוו היץ פאַרשפּרייטונג מאכט עס פּאַסיק פֿאַר קריטיש פּראַסעסאַז ווי כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) און אנדערע דין פילם אַפּלאַקיישאַנז.
אַדדיטיאָנאַללי, די AlN כיטער איז גאנץ פֿאַר ינאַגריישאַן אין ווייפער כיטערז און וואַקוום יוואַפּערייטערז, וואָס מאכט עס אַ ווערסאַטאַל לייזונג פֿאַר מאַניאַפאַקטשערערז וואָס פאַרלאָזנ זיך קאָנסיסטענט, הויך-קוואַליטעט באַהיצונג קאַמפּאָונאַנץ. מיט אַלומינום ניטריד מאַשינינג און פּינטלעכקייַט ניטריד פון אַלומינום קאַנסטראַקשאַן, די כיטער איז געבויט פֿאַר לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי און פּינטלעכקייַט באַהיצונג קאָנטראָל.
אויב איר זוכט פֿאַר אַ אַלN אַלומינום ניטריד לייזונג וואָס יקסעלז אין געווער און עפעקטיווקייַט, סעמיסעראַ גיט אַ טראַסטיד אָפּציע אין די AlN כיטער. דעם אַוואַנסירטע סעראַמיק כיטער שטיצט קאַטינג-ברעג טעקנאַלאַדזשיז אין CVD פּראַסעסאַז, ספּאַטערינג און אנדערע סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז, העלפּינג צו האַלטן פּראָצעס אָרנטלעכקייַט אין הויך-טעמפּעראַטור ינווייראַנמאַנץ.
