הקדמה צו סיליציום קאַרבידע קאָוטינג
אונדזער כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (CVD) סיליציום קאַרבידע (SiC) קאָוטינג איז אַ העכסט דוראַבאַל און טראָגן-קעגנשטעליק שיכטע, ידעאַל פֿאַר ינווייראַנמאַנץ וואָס דאַרפן הויך קעראָוזשאַן און טערמאַל קעגנשטעל.סיליציום קאַרבידע קאָוטינגאיז געווענדט אין דין לייַערס אויף פאַרשידן סאַבסטרייץ דורך די CVD פּראָצעס, וואָס אָפפערס העכער פאָרשטעלונג קעראַקטעריסטיקס.
שליסל פֿעיִקייטן
● -יקסעפּשאַנאַל ריינקייַט: באָוסטינג אַן הינטער-ריין זאַץ פון99.99995%, אונדזערSiC קאָוטינגמינאַמייזאַז קאַנטאַמאַניישאַן ריסקס אין שפּירעוודיק סעמיקאַנדאַקטער אַפּעריישאַנז.
● - העכער קעגנשטעל: יגזיבאַץ ויסגעצייכנט קעגנשטעל צו טראָגן און קעראָוזשאַן, מאכן עס גאנץ פֿאַר טשאַלאַנדזשינג כעמישער און פּלאַזמע סעטטינגס.
● -היגה טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: ינשורז פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אונטער עקסטרעם טעמפּעראַטורעס רעכט צו זייַן בוילעט טערמאַל פּראָפּערטיעס.
● -דימענשאַנאַל סטאַביליטי: מאַינטאַינס סטראַקטשעראַל אָרנטלעכקייַט אַריבער אַ ברייט קייט פון טעמפּעראַטורעס, דאַנק צו זייַן נידעריק טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט.
● -ענכאַנסט כאַרדנאַס: מיט אַ כאַרדנאַס ראַנג פון40 גפּאַ, אונדזער SiC קאָוטינג וויטסטאַנדs באַטייַטיק פּראַל און אַברייזשאַן.
● - גלאַט ייבערפלאַך ענדיקן: פּראָווידעס אַ שפּיגל-ווי ענדיקן, רידוסינג פּאַרטאַקאַל דור און ענכאַנסינג אַפּעריישאַנאַל עפעקטיווקייַט.
אַפּפּליקאַטיאָנס
סעמיסעראַ SiC קאָאַטינגסזענען געניצט אין פאַרשידן סטאַגעס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, אַרייַנגערעכנט:
● -געפֿירט טשיפּ פאַבריק
● -פּאָליסיליקאָן פּראָדוקציע
● -סעמיקאַנדאַקטער קריסטאַל גראָוט
● -סיליציום און סיק עפּיטאַקסי
● -טערמאַל אַקסאַדיישאַן און דיפיוזשאַן (TO&D)
מיר צושטעלן סיק-קאָוטאַד קאַמפּאָונאַנץ געמאכט פון הויך-שטאַרקייט יסאָסטאַטיק גראַפייט, טשאַד פיברע-ריינפאָרסט טשאַד און 4N רעקריסטאַלליזעד סיליציום קאַרבידע, טיילערד פֿאַר פלוידייזד-בעט רעאַקטאָרס,STC-TCS קאַנווערטערז, CZ אַפּאַראַט רעפלעקטאָרס, SiC ווייפער שיפל, SiCwafer רודער, SiC ווייפער רער און ווייפער קאַריערז געניצט אין PECVD, סיליציום עפּיטאַקסי, MOCVD פּראַסעסאַז.
Benefits
● עקסטענדעד ליפעספּאַן: באטייטיק ראַדוסאַז ויסריכט דאַונטיים און וישאַלט קאָס, ענכאַנסינג קוילעלדיק פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט.
● - ימפּרוווד קוואַליטי: אַטשיווז הויך-ריינקייַט סערפאַסיז נייטיק פֿאַר סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסינג, אַזוי בוסטינג פּראָדוקט קוואַליטעט.
● - ינקרעאַסעד עפיקאַסי: אָפּטימיזעס טערמאַל און CVD פּראַסעסאַז, ריזאַלטינג אין קירצער ציקל צייט און העכער ייעלדס.
טעכניש ספּעסאַפאַקיישאַנז
● -סטרוקטור: פקק β פאַסע פּאָליקריסטאַליין, דער הויפּט (111) אָריענטיד
● -געדיכטקייַטגרייס: 3.21 ג/קם³
● -כאַרדנאַס: 2500 וויקס כאַרדנאַס (500 ג מאַסע)
● בראָך טאַפנאַס: 3.0 מפּאַ·ם1/2
● טערמאַל יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט (100-600 °C)גרייס: 4.3 X 10-6k-1
● -Elastic Modulus(1300℃):435 גפּאַ
● - טיפּיש פילם גרעב:100 μם
● -סורפאַסע ראַפנאַס:2-10 µm
ריינקייַט דאַטן (געמאסטן דורך גלאָוו אָפּזאָגן מאַסע ספּעקטראָסקאָפּי)
| עלעמענט | ppm | עלעמענט | ppm |
| Li | < 0.001 | Cu | < 0.01 |
| Be | < 0.001 | Zn | < 0.05 |
| על | < 0.04 | Ga | < 0.01 |
| P | < 0.01 | Ge | < 0.05 |
| S | < 0.04 | As | < 0.005 |
| K | < 0.05 | In | < 0.01 |
| Ca | < 0.05 | Sn | < 0.01 |
| Ti | < 0.005 | Sb | < 0.01 |
| V | < 0.001 | W | < 0.05 |
| Cr | < 0.05 | Te | < 0.01 |
| Mn | < 0.005 | Pb | < 0.01 |
| Fe | < 0.05 | Bi | < 0.05 |
| Ni | < 0.01 |
|
