עפּיטאַקסי וואַפער קאַריער איז אַ קריטיש קאָמפּאָנענט אין סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע, ספּעציעל איןSi עפּיטאַקסיאוןSiC עפּיטאַקסיפּראַסעסאַז. Semicera קערפאַלי דיזיינז און מאַניאַפאַקטשערערזווייפערקאַריערז צו וויטסטאַנד גאָר הויך טעמפּעראַטורעס און כעמיש ינווייראַנמאַנץ, ינשורינג ויסגעצייכנט פאָרשטעלונג אין אַפּלאַקיישאַנז אַזאַ וויMOCVD סאַסעפּטאָראון פאַס סוסעפּטאָר. צי עס איז די דעפּאַזישאַן פון מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום אָדער קאָמפּלעקס עפּיטאַקסי פּראַסעסאַז, Semicera's Epitaxy Wafer Carrier גיט ויסגעצייכנט יונאַפאָרמאַטי און פעסטקייַט.
סעמיסעראַעפּיטאַקסי וואַפער קאַריעראיז געמאכט פון אַוואַנסירטע מאַטעריאַלס מיט ויסגעצייכנט מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט און טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, וואָס קענען יפעקטיוולי רעדוצירן לאָססעס און ינסטאַביליטי בעשאַס דעם פּראָצעס. אין דערצו, די פּלאַן פון דיווייפערקאַריער קענען אויך אַדאַפּט צו עפּיטאַקסי ויסריכט פון פאַרשידענע סיזעס, דערמיט ימפּרוווינג קוילעלדיק פּראָדוקציע עפעקטיווקייַט.
פֿאַר קאַסטאַמערז וואָס דאַרפן הויך-פּינטלעכקייַט און הויך-ריינקייַט עפּיטאַקסי פּראַסעסאַז, Semicera's Epitaxy Wafer Carrier איז אַ טראַסטווערדי ברירה. מיר זענען שטענדיק קאַמיטאַד צו צושטעלן קאַסטאַמערז מיט ויסגעצייכנט פּראָדוקט קוואַליטעט און פאַרלאָזלעך טעכניש שטיצן צו פֿאַרבעסערן די רילייאַבילאַטי און עפעקטיווקייַט פון פּראָדוקציע פּראַסעסאַז.
✓ העכסט קוואַליטעט אין טשיינאַ מאַרק
✓ גוט דינסט שטענדיק פֿאַר איר, 7 * 24 שעה
✓ קורץ דאַטע פון עקספּרעס
✓ קליין מאָק באַגריסן און אנגענומען
✓ מנהג באַדינונגס
עפּיטאַקסי גראָוט סאַסעפּטאָר
סיליציום / סיליציום קאַרבידע ווייפערז דאַרפֿן צו גיין דורך קייפל פּראַסעסאַז צו זיין געוויינט אין עלעקטראָניש דעוויסעס. א וויכטיקער פראצעס איז סיליציום/סיק עפּיטאקסיע, אין וועלכע סיליציום/סיק וואפערס ווערן געטראגן אויף א גראפיט באזע. ספּעציעלע אַדוואַנטידזשיז פון סעמיסעראַ ס סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד גראַפייט באַזע אַרייַננעמען גאָר הויך ריינקייַט, מונדיר קאָוטינג און גאָר לאַנג דינסט לעבן. זיי אויך האָבן הויך כעמישער קעגנשטעל און טערמאַל פעסטקייַט.
געפֿירט טשיפּ פּראָדוקציע
בעשאַס די ברייט קאָוטינג פון די MOCVD רעאַקטאָר, די פּלאַנאַטערי באַזע אָדער טרעגער באוועגט די סאַבסטרייט ווייפער. די פאָרשטעלונג פון די באַזע מאַטעריאַל האט אַ גרויס השפּעה אויף די קאָוטינג קוואַליטעט, וואָס אין קער אַפעקץ די ברעקל קורס פון די שפּאָן. סעמיסעראַ ס סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד באַזע ינקריסאַז די מאַנופאַקטורינג עפעקטיווקייַט פון הויך-קוואַליטעט געפירט ווייפערז און מינאַמייז די ווייוולענגט דיווייישאַן. מיר אויך צושטעלן נאָך גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר אַלע MOCVD רעאַקטאָרס דערווייַל אין נוצן. מיר קענען מאַנטל כּמעט יעדער קאָמפּאָנענט מיט אַ סיליציום קאַרבידע קאָוטינג, אפילו אויב דער קאָמפּאָנענט דיאַמעטער איז אַרויף צו 1.5 ם, מיר קענען נאָך מאַנטל מיט סיליציום קאַרבידע.
סעמיקאַנדאַקטער פעלד, אָקסידאַטיאָן דיפיוזשאַן פּראָצעס, אאז"ו ו
אין די סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס, די אַקסאַדיישאַן יקספּאַנשאַן פּראָצעס ריקווייערז הויך פּראָדוקט ריינקייַט, און אין Semicera מיר פאָרשלאָגן מנהג און CVD קאָוטינג באַדינונגס פֿאַר די מערהייַט פון סיליציום קאַרבידע פּאַרץ.
די פאלגענדע בילד ווייזט די גראָב-פּראַסעסט סיליציום קאַרבידע סלערי פון סעמיסעאַ און די סיליציום קאַרבידע אויוון רער וואָס איז קלינד אין די 1000- מדרגהשטויב-פֿרייַצימער. אונדזער טוערס זענען ארבעטן איידער קאָוטינג. די ריינקייַט פון אונדזער סיליציום קאַרבידע קענען דערגרייכן 99.98%, און די ריינקייַט פון סיק קאָוטינג איז גרעסער ווי 99.9995%.
רוי סיליציום קאַרבידע רודער און סיק פּראָצעס רער אין רייניקונג
סיליציום קאַרבידע ווייפער שיפל קווד סיק קאָוטאַד
