באַשרייַבונג
די גראַפיטע סוסעפּטאָר מיטסיליציום קאַרבידע קאָוטינג, 6 שטיק6 אינטש ווייפער קאַריערפון סעמיסעראַ אָפפערס יקסעפּשאַנאַל געווער און טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי פֿאַר הויך-פאָרשטעלונג עפּיטאַקסיאַל גראָוט אַפּלאַקיישאַנז. Semicera ספּעשאַלייזיז אין אַוואַנסירטע סאַסעפּטערז דיזיינד צו פאַרבעסערן פּראַסעסאַז וויSi עפּיטאַקסיאוןSiC עפּיטאַקסי, ינשורינג פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג אין פאדערן סעמיקאַנדאַקטער ינווייראַנמאַנץ.
דעם סאַסעפּטאָר איז ספּאַסיפיקלי ענדזשאַנירד פֿאַר נוצן מיטMOCVD סאַסעפּטאָרסיסטעמען און אָפפערס קאַמפּאַטאַבילאַטי מיט פאַרשידן קאַריערז אַזאַ ווי די PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier און RTP Carrier. עס איז ידעאַל פֿאַר מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום פּראָדוקציע און געפירט עפּיטאַקסיאַל סוסעפּטאָר סעטאַפּס, און אָפפערס ווערסאַטילאַטי אין פאַרשידענע קאַנפיגיעריישאַנז, אַרייַנגערעכנט פאַס סאַססעפּטאָר און פּאַנקייק סוסעפּטאָר דיזיינז.
די גראַפיטע סאַספּטער מיט סיליציום קאַרבידע קאָוטינג אויך שטיצט אַפּלאַקיישאַנז אין די זונ - ענערגיע סעקטאָר דורך זיין ינאַגריישאַן מיט פאָטאָוואָלטאַיק פּאַרץ און יקסעלז אין GaN אויף SiC עפּיטאַקסי פּראַסעסאַז. זיין 6-אינטש ווייפער טרעגער קאַפּאַציטעט ינשורז הויך טרופּוט, מאכן עס אַ יקערדיק געצייַג פֿאַר מאַניאַפאַקטשערערז אין סעמיקאַנדאַקטער און פאָטאָוואָלטאַיק ינדאַסטריז.
הויפּט פֿעיִקייטן
1 .הויך ריינקייַט סיק קאָוטאַד גראַפייט
2. העכער היץ קעגנשטעל & טערמאַל יונאַפאָרמאַטי
3. פייןסיק קריסטאַל קאָוטאַדפֿאַר אַ גלאַט ייבערפלאַך
4. הויך געווער קעגן כעמישער רייניקונג
הויפּט ספּעסאַפאַקיישאַנז פון CVD-SIC קאָאַטינגס:
| SiC-CVD | ||
| געדיכטקייַט | (ג/קק) | 3.21 |
| פלעקסוראַל שטאַרקייַט | (מפּאַ) | 470 |
| טערמאַל יקספּאַנשאַן | (10-6/ק) | 4 |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי | (וו/מק) | 300 |
פּאַקינג און שיפּינג
צושטעלן אַביליטי:
10000 שטיק / פּיעס פּער חודש
פּאַקקאַגינג און עקספּרעס:
פּאַקינג: נאָרמאַל און שטאַרק פּאַקינג
פּאָלי זעקל + באָקס + קאַרטאָן + פּאַלאַט
פּאָרט:
נינגבאָ / שענזשען / שאַנגהאַי
לידינג צייט:
| קוואַנטיטי (פּיקס) | 1-1000 | >1000 |
| Est. צייט (טעג) | 30 | צו זיין ניגאָושיייטיד |
