האַרט קווד סיליציום קאַרבידע פּאַרץ זענען אנערקענט ווי די ערשטיק ברירה פֿאַר RTP / EPI רינגס און באַסעס און פּלאַזמע אַעטטש קאַוואַטי פּאַרץ וואָס אַרבעטן אין הויך סיסטעם פארלאנגט אַפּערייטינג טעמפּעראַטורעס (> 1500 ℃), די רעקווירעמענץ פֿאַר ריינקייַט זענען דער הויפּט הויך (> 99.9995%) און די פאָרשטעלונג איז ספּעציעל גוט ווען די קעגנשטעל צו קעמיקאַלז איז דער הויפּט הויך. די מאַטעריאַלס טאָן ניט אַנטהאַלטן צווייטיק פייזאַז בייַ די קערל ברעג, אַזוי זייער קאַמפּאָונאַנץ פּראָדוצירן ווייניקערע פּאַרטיקאַלז ווי אנדערע מאַטעריאַלס. אין אַדישאַן, די קאַמפּאָונאַנץ קענען זיין קלינד דורך ניצן הייס HF / HCl מיט קליין דערנידעריקונג, ריזאַלטינג אין ווייניקערע פּאַרטיקאַלז און אַ מער דינסט לעבן.
