SEMICERA יסאָסטאַטיק PECVD גראַפיטע שיפל איז אַ הויך-ריינקייַט, הויך-געדיכטקייַט גראַפייט פּראָדוקט דיזיינד פֿאַר ווייפער שטיצן אין די PECVD (פּלאַזמאַ ענכאַנסט כעמישער פארע דעפּאַזישאַן) פּראָצעס. SEMICERA ניצט אַוואַנסירטע יסאָסטאַטיק דרינגלעך טעכנאָלאָגיע צו ענשור אַז די גראַפייט שיפל האט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייַט און גוט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי, וואָס איז אַ ינדיספּענסאַבאַל קאַנסומער אין די סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראָצעס.
SEMICERA יסאָסטאַטיק PECVD גראַפייט שיפל האט די פאלגענדע אַדוואַנטידזשיז:
▪ הויך ריינקייַט: די גראַפייט מאַטעריאַל איז פון הויך ריינקייַט און נידעריק טומע צופרידן צו ויסמיידן קאַנטאַמאַניישאַן פון די ווייפער ייבערפלאַך.
▪ הויך געדיכטקייַט: הויך געדיכטקייַט, הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט, קענען וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטור און הויך וואַקוום סוויווע.
▪ גוט דימענשאַנאַל פעסטקייַט: קליין דימענשאַנאַל ענדערונג אין הויך טעמפּעראַטור צו ענשור פּראָצעס פעסטקייַט.
▪ ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי: יפעקטיוולי אַריבערפירן היץ צו פאַרמייַדן וואַפער אָוווערכיטינג.
▪ שטאַרק קעראָוזשאַן קעגנשטעל: קענען צו אַנטקעגנשטעלנ יראָוזשאַן דורך פאַרשידן קעראָוסיוו גאַסאַז און פּלאַזמע.
פאָרשטעלונג פּאַראַמעטער | סעמיסעראַ | SGL R6510 | פאָרשטעלונג פּאַראַמעטער |
פאַרנעם געדיכטקייַט (ג/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
בענדינג שטאַרקייַט (MPa) | 63 | 60 | 49 |
קאַמפּרעסיוו שטאַרקייַט (MPa) | 135 | 130 | 103 |
ברעג כאַרדנאַס (HS) | 70 | 64 | 60 |
קאָעפפיסיענט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן (10-6 / ק) | 85 | 105 | 130 |
קאָעפפיסיענט פון טערמאַל יקספּאַנשאַן (10-6 / ק) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
רעסיסטיוויטי (μΩם) | 11-13 | 13 | 10 |
אַדוואַנטאַגעס פון טשוזינג אונדז:
▪ מאַטעריאַל סעלעקציע: הויך-ריינקייַט גראַפייט מאַטעריאַלס זענען געניצט צו ענשור פּראָדוקט קוואַליטעט.
▪ פּראַסעסינג טעכנאָלאָגיע: יסאָסטאַטיק דרינגלעך איז געניצט צו ענשור פּראָדוקט געדיכטקייַט און יונאַפאָרמאַטי.
▪ גרייס קוסטאָמיזאַטיאָן: גראַפיטע באָוץ פון פאַרשידענע סיזעס און שאַפּעס קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט צו קונה דאַרף.
▪ ייבערפלאַך באַהאַנדלונג: אַ פאַרשיידנקייַט פון ייבערפלאַך באַהאַנדלונג מעטהאָדס זענען צוגעשטעלט, אַזאַ ווי קאָוטינג סיליציום קאַרבידע, באָראָן ניטרידע, אאז"ו ו, צו טרעפן פאַרשידענע פּראָצעס רעקווירעמענץ.