סעמיסעראַאיז צופרידן צו פאָרשלאָגן דיPFA קאַסעט, אַ פּרעמיע ברירה פֿאַר וואַפער האַנדלינג אין ינווייראַנמאַנץ ווו כעמישער קעגנשטעל און געווער זענען העכסט. די קאַסעט, וואָס איז געמאכט פון הויך-ריינקייַט פּערפלואָראָאַלקאָקסי (PFA) מאַטעריאַל, איז דיזיינד צו וויטסטאַנד די מערסט פאדערן טנאָים אין סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן, און ינשורז די זיכערקייַט און אָרנטלעכקייַט פון דיין ווייפערז.
ניט ענלעך כעמישער קעגנשטעלדיPFA קאַסעטאיז ענדזשאַנירד צו צושטעלן העכער קעגנשטעל צו אַ ברייט קייט פון קעמיקאַלז, מאכן עס די שליימעסדיק ברירה פֿאַר פּראַסעסאַז וואָס אַרייַנציען אַגרעסיוו אַסאַדז, סאָלוואַנץ און אנדערע האַרב קעמיקאַלז. דער שטאַרק כעמישער קעגנשטעל ינשורז אַז די קאַסעט בלייבט בעשאָלעם און פאַנגקשאַנאַל אפילו אין די מערסט קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ, דערמיט יקסטענדינג זייַן לעבן און רידוסינג די נויט פֿאַר אָפט ריפּלייסמאַנץ.
הויך-ריין קאַנסטראַקשאַןסעמיסעראַPFA קאַסעטאיז מאַניאַפאַקטשערד פון הינטער-ריין פּפאַ מאַטעריאַל, וואָס איז קריטיש אין פּרעווענטינג קאַנטאַמאַניישאַן בעשאַס ווייפער פּראַסעסינג. דעם הויך-ריינקייַט קאַנסטראַקשאַן מינאַמייזאַז די ריזיקירן פון פּאַרטאַקאַל דור און כעמיש ליטשינג, ינשורינג אַז דיין ווייפערז זענען פּראָטעקטעד פון ימפּיוראַטיז וואָס קען קאָמפּראָמיס זייער קוואַליטעט.
ימפּרוווד געווער און פאָרשטעלונגדיזיינד פֿאַר געווער, דיPFA קאַסעטמיינטיינז זייַן סטראַקטשעראַל אָרנטלעכקייַט אונטער עקסטרעם טעמפּעראַטורעס און שטרענג פּראַסעסינג טנאָים. צי יקספּאָוזד צו הויך טעמפּעראַטורעס אָדער אונטערטעניק צו ריפּיטיד האַנדלינג, די קאַסעט האלט זיין פאָרעם און פאָרשטעלונג, און אָפפערס לאַנג-טערמין רילייאַבילאַטי אין פאדערן מאַנופאַקטורינג ינווייראַנמאַנץ.
פּרעסיסיאָן אינזשעניריע פֿאַר זיכער האַנדלינגדיסעמיסעראַ פּפאַ קאַסעטפֿעיִקייטן גענוי ינזשעניעריע וואָס ינשורז זיכער און סטאַביל ווייפער האַנדלינג. יעדער שפּעלטל איז קערפאַלי דיזיינד צו האַלטן ווייפערז סיקיורלי אין פּלאַץ, פּרעווענטינג קיין באַוועגונג אָדער שיפטינג וואָס קען פירן צו שעדיקן. דעם פּינטלעכקייַט ינזשעניעריע שטיצט קאָנסיסטענט און פּינטלעך פּלייסמאַנט פון ווייפער, קאַנטריביוטינג צו קוילעלדיק פּראָצעס עפעקטיווקייַט.
ווערסאַטאַל אַפּפּליקאַטיאָן אַריבער פּראַסעסאַזדאַנק צו זייַן העכער מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס, דיPFA קאַסעטאיז ווערסאַטאַל גענוג צו זיין געוויינט אין פאַרשידן סטאַגעס פון סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן. עס איז דער הויפּט געזונט סוטאַד פֿאַר נאַס עטשינג, כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) און אנדערע פּראַסעסאַז וואָס אַרייַנציען האַרב כעמישער ינווייראַנמאַנץ. זיין אַדאַפּטאַבילאַטי מאכט עס אַ יקערדיק געצייַג אין מיינטיינינג פּראָצעס אָרנטלעכקייַט און ווייפער קוואַליטעט.
היסכייַוועס צו קוואַליטעט און כידעשאין Semicera, מיר זענען קאַמיטאַד צו צושטעלן פּראָדוקטן וואָס טרעפן די העכסטן ינדאַסטרי סטאַנדאַרדס. דיPFA קאַסעטיגזאַמפּאַלז דעם היסכייַוועס, און אָפפערס אַ פאַרלאָזלעך לייזונג וואָס ינטאַגרייץ סימלאַס אין דיין מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז. יעדער קאַסעט אַנדערגאָוז שטרענג קוואַליטעט קאָנטראָל צו ענשור אַז עס טרעפן אונדזער שטרענג פאָרשטעלונג קרייטיריאַ, און צושטעלן די עקסאַלאַנס איר דערוואַרטן פון Semicera.
| זאכן | פּראָדוקציע | פאָרשונג | דאַמי |
| קריסטאַל פּאַראַמעטערס | |||
| פּאָליטיפּע | 4H | ||
| ייבערפלאַך אָריענטירונג טעות | <11-20 >4±0.15° | ||
| עלעקטריקאַל פּאַראַמעטערס | |||
| דאָפּאַנט | n-טיפּ ניטראָגען | ||
| רעסיסטיוויטי | 0.015-0.025 אָהם · סענטימעטער | ||
| מעטשאַניקאַל פּאַראַמעטערס | |||
| דיאַמעטער | 150.0±0.2מם | ||
| גרעב | 350±25 μם | ||
| ערשטיק פלאַך אָריענטירונג | [1-100]±5° | ||
| ערשטיק פלאַך לענג | 47.5±1.5מם | ||
| צווייטיק פלאַך | קיינער | ||
| TTV | ≤5 μם | ≤10 μם | ≤15 μם |
| LTV | ≤3 μם (5 מם * 5 מם) | ≤5 μם (5 מם * 5 מם) | ≤10 μם (5 מם * 5 מם) |
| בויגן | -15μם ~ 15μם | -35μם ~ 35μם | -45μם ~ 45μם |
| וואָרפּ | ≤35 μם | ≤45 μם | ≤55 μם |
| פראָנט (סי-פּנים) ראַפנאַס (אַפם) | ראַ≤0.2נם (5μם*5μם) | ||
| סטרוקטור | |||
| מיקראָפּיפּע געדיכטקייַט | <1 עאַ / סענטימעטער2 | <10 עאַ/קם2 | <15 עאַ / סענטימעטער2 |
| מעטאַל ימפּיוראַטיז | ≤5ע10אַטאָמס/קם2 | NA | |
| BPD | ≤1500 עאַ/קם2 | ≤3000 עאַ/קם2 | NA |
| TSD | ≤500 עאַ/קם2 | ≤1000 עאַ / סענטימעטער2 | NA |
| פראָנט קוואַליטי | |||
| פראָנט | Si | ||
| ייבערפלאַך ענדיקן | סי-פּנים קמפּ | ||
| פּאַרטיקאַלז | ≤60 עאַ / וואַפער (גרייס ≥0.3μם) | NA | |
| סקראַטשיז | ≤5עאַ/מם. קיומיאַלאַטיוו לענג ≤דיאַמעטער | קיומיאַלאַטיוו לענג≤2*דיאַמעטער | NA |
| מאַראַנץ שאָלעכץ / פּיץ / סטאַינס / סטרייישאַנז / קראַקס / קאַנטאַמאַניישאַן | קיינער | NA | |
| ברעג טשיפּס / ינדענץ / בראָך / העקס פּלאַטעס | קיינער | ||
| פּאָליטיפּע געביטן | קיינער | קיומיאַלאַטיוו שטח≤20% | קיומיאַלאַטיוו שטח≤30% |
| פראָנט לאַזער מאַרקינג | קיינער | ||
| צוריק קוואַליטי | |||
| צוריק ענדיקן | C-פּנים קמפּ | ||
| סקראַטשיז | ≤5עאַ/מם,קיומיאַלאַטיוו לענג≤2*דיאַמעטער | NA | |
| צוריק חסרונות (ברעג טשיפּס / ינדענטז) | קיינער | ||
| צוריק ראַפנאַס | ראַ≤0.2נם (5μם*5μם) | ||
| צוריק לאַזער מאַרקינג | 1 מם (פון שפּיץ ברעג) | ||
| עדזש | |||
| עדזש | טשאַמפער | ||
| פּאַקקאַגינג | |||
| פּאַקקאַגינג | עפּי-גרייט מיט וואַקוום פּאַקקאַגינג מולטי-ווייפער קאַסעט פּאַקקאַגינג | ||
| * נאָטעס: "NA" מיטל קיין בעטן יטעמס ניט דערמאנט קען אָפּשיקן צו SEMI-STD. | |||
