סיק קאָוטינג גראַפיטע ווייפער סוסעפּטאָר

קורץ באַשרייַבונג:

די סיק קאָוטינג גראַפייט ווייפער סוססעפּטאָר פון Semicera Semiconductor דיליווערז העכער טערמאַל פאָרשטעלונג און געווער פֿאַר ווייפער פּראַסעסינג. פאַרלאָזנ אויף Semicera פֿאַר אַוואַנסירטע סיק-קאָוטאַד סאַסעפּטערז דיזיינד צו פאַרבעסערן עפעקטיווקייַט און רילייאַבילאַטי אין סעמיקאַנדאַקטער אַפּלאַקיישאַנז.

שיקן E- בריוו צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

באַשרייַבונג

Semicorex's SiC Wafer Susceptors פֿאַר MOCVD (מעטאַל-אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן) זענען ענדזשאַנירד צו טרעפן די שטרענג פאדערונגען פון עפּיטאַקסיאַל דעפּאַזישאַן פּראַסעסאַז. ניצן הויך-קוואַליטעט סיליקאָן קאַרבידע (SiC), די סאַססעפּטאָרס פאָרשלאָגן אַנפּעראַלעלד געווער און פאָרשטעלונג אין הויך-טעמפּעראַטור און קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ, ינשורינג די גענוי און עפעקטיוו וווּקס פון סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס.

שליסל פֿעיִקייטן:

1. העכער מאַטעריאַל פּראָפּערטיעסקאַנסטראַקטאַד פון הויך-מיינונג SiC, אונדזער וואַפער סאַספּעקטערז ויסשטעלונג יקסעפּשאַנאַל טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און כעמישער קעגנשטעל. די פּראָפּערטיעס געבן זיי צו וויטסטאַנד די עקסטרעם טנאָים פון MOCVD פּראַסעסאַז, אַרייַנגערעכנט הויך טעמפּעראַטורעס און קעראָוסיוו גאַסאַז, ינשורינג לאָנדזשעוואַטי און פאַרלאָזלעך פאָרשטעלונג.

2. פּינטלעכקייַט אין עפּיטאַקסיאַל דעפּאַזישאַןדי גענוי ינזשעניעריע פון אונדזער סיק וואַפער סוססעפּטאָרס ינשורז מונדיר טעמפּעראַטור פאַרשפּרייטונג אַריבער די ווייפער ייבערפלאַך, פאַסילאַטייטינג קאָנסיסטענט און הויך-קוואַליטעט עפּיטאַקסיאַל שיכטע גראָוט. די פּינטלעכקייַט איז קריטיש פֿאַר פּראַדוסינג סעמיקאַנדאַקטערז מיט אָפּטימאַל עלעקטריקאַל פּראָפּערטיעס.

3. ענכאַנסט דוראַביליטידי שטאַרק SiC מאַטעריאַל גיט ויסגעצייכנט קעגנשטעל צו טראָגן און דערנידעריקונג, אפילו אונטער קעסיידערדיק ויסשטעלן צו האַרב פּראָצעס ינווייראַנמאַנץ. דעם געווער ראַדוסאַז די אָפטקייַט פון סאַסעפּטאָר ריפּלייסמאַנץ, מינאַמייזינג דאַונטיים און אַפּעריישאַנאַל קאָס.