SiC עפּיטאַקסי

קורץ באַשרייַבונג:

Semicera אָפפערס מנהג דין פילם (סיליציום קאַרבידע) סייק עפּיטאַקסי אויף סאַבסטרייץ פֿאַר דער אַנטוויקלונג פון סיליציום קאַרבידע דעוויסעס. Weitai איז קאַמיטאַד צו צושטעלן קוואַליטעט פּראָדוקטן און קאַמפּעטיטיוו פּרייסאַז, און מיר קוקן פאָרויס צו זיין דיין לאַנג-טערמין שוטעף אין טשיינאַ.

 

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

SiC עפּיטאַקסי (2)(1)

פּראָדוקט באַשרייַבונג

4 ה-n 4 אינטש 6 אינטש דיאַמעטער 100 מם סיק זוימען ווייפער 1 מם גרעב פֿאַר ינגגאַט וווּקס

קאַסטאַמייזד גרייס / 2 אינטש / 3 אינטש / 4 אינטש / 6 אינטש 6 ה-ן / 4 ה-סעמי / 4 ה-ן סיק ינגגאַץ / הויך ריינקייַט 4 ה-ען 4 אינטש 6 אינטש דיאַמעטער 150 מם סיליציום קאַרבידע איין קריסטאַל (סיק) סאַבסטרייט ווייפערז / קאַסטאַמייזד ווי-שנייַדן פּראָדוקטן מיינונג 4H-N 1.5מם סיק וואַפערס פֿאַר זוימען קריסטאַל

וועגן סיליקאָן קאַרבידע (סיק) קריסטאַל

סיליציום קאַרבידע (SiC), אויך באקאנט ווי קאַרבאָרונדום, איז אַ סעמיקאַנדאַקטער מיט סיליציום און טשאַד מיט כעמישער פאָרמולע SiC. סיק איז גענוצט אין סעמיקאַנדאַקטער עלעקטראָניק דעוויסעס וואָס אַרבעטן אין הויך טעמפּעראַטורעס אָדער הויך וואָולטאַדזשאַז, אָדער ביידע. סיק איז אויך איינער פון די וויכטיק געפירט קאַמפּאָונאַנץ, עס איז אַ פאָלקס סאַבסטרייט פֿאַר גראָוינג GaN דעוויסעס, און עס אויך סערוועס ווי אַ היץ ספּרעדער אין הויך- מאַכט לעדס.

באַשרייַבונג

פאַרמאָג

4H-SiC, איין קריסטאַל

6H-SiC, איין קריסטאַל

לאַטאַס פּאַראַמעטערס

a=3.076 Å c=10.053 Å

a=3.073 Å c=15.117 Å

סטאַקינג סיקוואַנס

ABCB

ABCACB

מאָהס כאַרדנאַס

≈9.2

≈9.2

געדיכטקייַט

3.21 ג/קמ3

3.21 ג/קמ3

טערמ. יקספּאַנשאַן קאָואַפישאַנט

4-5 × 10-6 / ק

4-5 × 10-6 / ק

רעפראקציע אינדעקס @750נם

ניט = 2.61
נע = 2.66

ניט = 2.60
נע = 2.65

דיעלעקטריק קעסיידערדיק

c~9.66

c~9.66

טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (N-טיפּ, 0.02 אָהם.קם)

אַ ~ 4.2 וו / סענטימעטער · ק @ 298 ק
c ~ 3.7 וו / סענטימעטער · ק @ 298 ק

 

טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי (האַלב ינסאַלייטינג)

אַ ~ 4.9 וו / סענטימעטער · ק @ 298 ק
c ~ 3.9 וו / סענטימעטער · ק @ 298 ק

אַ ~ 4.6 וו / סענטימעטער · ק @ 298 ק
c ~ 3.2 וו / סענטימעטער · ק @ 298 ק

באַנד-ריס

3.23 eV

3.02 eV

ברעכן-אַראָפּ עלעקטריקאַל פעלד

3-5 × 106 וו / סענטימעטער

3-5 × 106 וו / סענטימעטער

סאַטוראַטיאָן דריפט גיכקייַט

2.0 × 105 ם / s

2.0 × 105 ם / s

SiC ווייפערז

סעמיסעראַ אַרבעט אָרט Semicera אַרבעט אָרט 2 עקוויפּמענט מאַשין CNN פּראַסעסינג, כעמישער רייניקונג, CVD קאָוטינג אונדזער דינסט


  • פֿריִער:
  • ווייַטער: