טאַק קאָוטינגאיז אַ וויכטיק מאַטעריאַל קאָוטינג, וואָס איז יוזשאַוואַלי צוגעגרייט אויף אַ גראַפייט באַזע דורך מעטאַל אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (MOCVD) טעכנאָלאָגיע. דער קאָוטינג האט ויסגעצייכנט פּראָפּערטיעס, אַזאַ ווי הויך כאַרדנאַס, ויסגעצייכנט טראָגן קעגנשטעל, הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל און כעמישער פעסטקייַט, און איז פּאַסיק פֿאַר פאַרשידן הויך-פאָדערונג ינזשעניעריע אַפּלאַקיישאַנז.
MOCVD טעכנאָלאָגיע איז אַ קאַמאַנלי געניצט דין פילם גראָוט טעכנאָלאָגיע וואָס דיפּאַזאַץ די געבעטן קאַמפּאַונד פילם אויף די סאַבסטרייט ייבערפלאַך דורך ריאַקטינג מעטאַל אָרגאַניק פּריקערסערז מיט ריאַקטיוו גאַסאַז אין הויך טעמפּעראַטורעס. ווען פּריפּערינגטאַק קאָוטינגסאַלעקטינג צונעמען מעטאַל אָרגאַניק פּריקערסערז און טשאַד קוואלן, קאַנטראָולינג אָפּרוף טנאָים און דעפּאַזישאַן פּאַראַמעטערס, אַ מונדיר און געדיכט טאַק פילם קענען זיין דאַפּאַזיטיד אויף אַ גראַפייט באַזע.
Semicera פּראָווידעס ספּעשאַלייזד טאַנטאַלום קאַרבידע (טאַק) קאָאַטינגס פֿאַר פאַרשידן קאַמפּאָונאַנץ און קאַריערז.סעמיסעראַ לידינג קאָוטינג פּראָצעס ינייבאַלז טאַנטאַלום קאַרבידע (טאַק) קאָוטינגז צו דערגרייכן הויך ריינקייַט, הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט און הויך כעמיש טאָלעראַנץ, ימפּרוווינג פּראָדוקט קוואַליטעט פון SIC / GAN קריסטאַלז און EPI לייַערס (גראַפיטע קאָוטאַד טאַק סאַסעפּטאָר), און יקסטענדינג די לעבן פון שליסל רעאַקטאָר קאַמפּאָונאַנץ. די נוצן פון טאַנטאַלום קאַרבידע טאַק קאָוטינג איז צו סאָלווע די ברעג פּראָבלעם און פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פון קריסטאַל גראָוט, און סעמיסעראַ האט ברייקטרו סאַלווד די טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטינג טעכנאָלאָגיע (CVD), ריטשינג די אינטערנאַציאָנאַלע אַוואַנסירטע מדרגה.
נאָך יאָרן פון אַנטוויקלונג, Semicera האט קאַנגקערד די טעכנאָלאָגיע פוןCVD TaCמיט די שלאָס השתדלות פון די ר & די אָפּטיילונג. חסרונות זענען גרינג צו פאַלן אין דעם וווּקס פּראָצעס פון סיק ווייפערז, אָבער נאָך ניצןטאַק, דער חילוק איז באַטייטיק. ונטער איז אַ פאַרגלייַך פון ווייפערז מיט און אָן טאַק, ווי געזונט ווי Simicera' פּאַרץ פֿאַר איין קריסטאַל גראָוט.
מיט און אָן טאַק
נאָך ניצן טאַק (רעכט)
דערצו, סעמיסעראַ סטאַק-קאָוטאַד פּראָדוקטןויסשטעלונג אַ מער דינסט לעבן און גרעסער הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל קאַמפּערד צוSiC קאָאַטינגס.לאַבאָראַטאָריע מעזשערמאַנץ האָבן דעמאַנסטרייטיד אַז אונדזערטאַק קאָוטינגזקענען קאַנסיסטאַנטלי דורכפירן אין טעמפּעראַטורעס אַרויף צו 2300 דיגריז סעלסיוס פֿאַר עקסטענדעד פּיריאַדז. ונטער זענען עטלעכע ביישפילן פון אונדזער סאַמפּאַלז: