Semicera פּראָווידעס ספּעשאַלייזד טאַנטאַלום קאַרבידע (טאַק) קאָאַטינגס פֿאַר פאַרשידן קאַמפּאָונאַנץ און קאַריערז.סעמיסעראַ לידינג קאָוטינג פּראָצעס ינייבאַלז טאַנטאַלום קאַרבידע (טאַק) קאָוטינגז צו דערגרייכן הויך ריינקייַט, הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט און הויך כעמיש טאָלעראַנץ, ימפּרוווינג פּראָדוקט קוואַליטעט פון SIC / GAN קריסטאַלז און EPI לייַערס (גראַפיטע קאָוטאַד טאַק סאַסעפּטאָר), און יקסטענדינג די לעבן פון שליסל רעאַקטאָר קאַמפּאָונאַנץ. די נוצן פון טאַנטאַלום קאַרבידע טאַק קאָוטינג איז צו סאָלווע די ברעג פּראָבלעם און פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פון קריסטאַל גראָוט, און סעמיסעראַ האט ברייקטרו סאַלווד די טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטינג טעכנאָלאָגיע (CVD), ריטשינג די אינטערנאַציאָנאַלע אַוואַנסירטע מדרגה.
מיט די אַדווענט פון 8-אינטש סיליציום קאַרבידע (SiC) ווייפערז, די רעקווירעמענץ פֿאַר פאַרשידן סעמיקאַנדאַקטער פּראַסעסאַז האָבן ווערן ינקריסינגלי סטרינדזשאַנט, ספּעציעל פֿאַר עפּיטאַקסי פּראַסעסאַז ווו טעמפּעראַטורעס קענען יקסיד 2000 דיגריז סעלסיוס. טראַדיציאָנעל סאַסעפּטאָר מאַטעריאַלס, אַזאַ ווי גראַפייט קאָוטאַד מיט סיליציום קאַרבידע, טענד צו סאַבלימאַטע ביי די הויך טעמפּעראַטורעס, דיסראַפּטינג די עפּיטאַקסי פּראָצעס. אָבער, CVD טאַנטאַלום קאַרבידע (טאַק) יפעקטיוולי אַדרעסז דעם אַרויסגעבן, וויטסטאַנד טעמפּעראַטורעס אַרויף צו 2300 דיגריז סעלסיוס און פאָרשלאָגן אַ מער דינסט לעבן. קאָנטאַקט Semicera's טאַנטאַלום קאַרבידע טאַק קווד קאָוטינג ווייפער סוססעפּטאָרצו ויספאָרשן מער וועגן אונדזער אַוואַנסירטע סאַלושאַנז.
נאָך יאָרן פון אַנטוויקלונג, Semicera האט קאַנגקערד די טעכנאָלאָגיע פוןCVD TaCמיט די שלאָס השתדלות פון די ר & די אָפּטיילונג. חסרונות זענען גרינג צו פאַלן אין דעם וווּקס פּראָצעס פון סיק ווייפערז, אָבער נאָך ניצןטאַק, דער חילוק איז באַטייטיק. ונטער איז אַ פאַרגלייַך פון ווייפערז מיט און אָן טאַק, ווי געזונט ווי Simicera' פּאַרץ פֿאַר איין קריסטאַל גראָוט.
מיט און אָן טאַק
נאָך ניצן טאַק (רעכט)
דערצו, סעמיסעראַ סטאַק-קאָוטאַד פּראָדוקטןויסשטעלונג אַ מער דינסט לעבן און גרעסער הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל קאַמפּערד צוSiC קאָאַטינגס.לאַבאָראַטאָריע מעזשערמאַנץ האָבן דעמאַנסטרייטיד אַז אונדזערטאַק קאָוטינגזקענען קאַנסיסטאַנטלי דורכפירן אין טעמפּעראַטורעס אַרויף צו 2300 דיגריז סעלסיוס פֿאַר עקסטענדעד פּיריאַדז. ונטער זענען עטלעכע ביישפילן פון אונדזער סאַמפּאַלז:
