טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטאַד סאַסעפּטאָר שטיצן טעלעראיז אַ סאַסעפּטאָר אָדער שטיצן סטרוקטור וואָס איז באדעקט מיט אַ דין פּלאַסט פוןטאַנטאַלום קאַרבידע. דער קאָוטינג קענען זיין געשאפן אויף די סוספּעפּטאָר ייבערפלאַך דורך טעקניקס אַזאַ ווי פיזיש פארע דעפּאַזישאַן (פּווד) אָדער כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD), וואָס גיט די סאַססעפּטאָר די העכער פּראָפּערטיעס פוןטאַנטאַלום קאַרבידע.
Semicera פּראָווידעס ספּעשאַלייזד טאַנטאַלום קאַרבידע (טאַק) קאָאַטינגס פֿאַר פאַרשידן קאַמפּאָונאַנץ און קאַריערז.סעמיסעראַ לידינג קאָוטינג פּראָצעס ינייבאַלז טאַנטאַלום קאַרבידע (טאַק) קאָוטינגז צו דערגרייכן הויך ריינקייַט, הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט און הויך כעמיש טאָלעראַנץ, ימפּרוווינג פּראָדוקט קוואַליטעט פון SIC / GAN קריסטאַלז און EPI לייַערס (גראַפיטע קאָוטאַד טאַק סאַסעפּטאָר), און יקסטענדינג די לעבן פון שליסל רעאַקטאָר קאַמפּאָונאַנץ. די נוצן פון טאַנטאַלום קאַרבידע טאַק קאָוטינג איז צו סאָלווע די ברעג פּראָבלעם און פֿאַרבעסערן די קוואַליטעט פון קריסטאַל גראָוט, און סעמיסעראַ האט ברייקטרו סאַלווד די טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטינג טעכנאָלאָגיע (CVD), ריטשינג די אינטערנאַציאָנאַלע אַוואַנסירטע מדרגה.
נאָך יאָרן פון אַנטוויקלונג, Semicera האט קאַנגקערד די טעכנאָלאָגיע פוןCVD TaCמיט די שלאָס השתדלות פון די ר & די אָפּטיילונג. חסרונות זענען גרינג צו פאַלן אין דעם וווּקס פּראָצעס פון סיק ווייפערז, אָבער נאָך ניצןטאַק, דער חילוק איז באַטייטיק. ונטער איז אַ פאַרגלייַך פון ווייפערז מיט און אָן טאַק, ווי געזונט ווי Simicera' פּאַרץ פֿאַר איין קריסטאַל גראָוט.
די הויפּט פֿעיִקייטן פון טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטאַד באַזע שטיצן פּלאַטעס אַרייַננעמען:
1. הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט: טאַנטאַלום קאַרבידע האט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור פעסטקייַט, מאכן די קאָוטאַד באַזע שטיצן טעלער פּאַסיק פֿאַר שטיצן באדערפענישן אין הויך טעמפּעראַטור ארבעטן ינווייראַנמאַנץ.
2. קעראָוזשאַן קעגנשטעל: טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטינג האט גוט קעראָוזשאַן קעגנשטעל, קענען אַנטקעגנשטעלנ כעמישער קעראָוזשאַן און אַקסאַדיישאַן, און פאַרברייטערן די דינסט לעבן פון די באַזע.
3. הויך כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל: די הויך כאַרדנאַס פון טאַנטאַלום קאַרבידע קאָוטינג גיט די באַזע שטיצן טעלער גוט טראָגן קעגנשטעל, וואָס איז פּאַסיק פֿאַר מאל ריקוויירינג הויך טראָגן קעגנשטעל.
4. כעמישער פעסטקייַט: טאַנטאַלום קאַרבידע האט הויך פעסטקייַט צו אַ פאַרשיידנקייַט פון כעמישער סאַבסטאַנסיז, וואָס מאכט די קאָוטאַד באַזע שטיצן טעלער געזונט אין עטלעכע קעראָוסיוו ינווייראַנמאַנץ.
מיט און אָן טאַק
נאָך ניצן טאַק (רעכט)
דערצו, סעמיסעראַ סטאַק-קאָוטאַד פּראָדוקטןויסשטעלונג אַ מער דינסט לעבן און גרעסער הויך-טעמפּעראַטור קעגנשטעל קאַמפּערד צוSiC קאָאַטינגס.לאַבאָראַטאָריע מעזשערמאַנץ האָבן דעמאַנסטרייטיד אַז אונדזערטאַק קאָוטינגזקענען קאַנסיסטאַנטלי דורכפירן אין טעמפּעראַטורעס אַרויף צו 2300 דיגריז סעלסיוס פֿאַר עקסטענדעד פּיריאַדז. ונטער זענען עטלעכע ביישפילן פון אונדזער סאַמפּאַלז:
