CVD סיליציום קאַרבידע (SiC) עטשינג רינג איז אַ ספּעציעל קאָמפּאָנענט געמאכט פון סיליציום קאַרבידע (SiC) ניצן די כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (CVD) אופֿן. CVD סיליציום קאַרבידע (SiC) עטשינג רינג פיעסעס אַ שליסל ראָלע אין פאַרשידן ינדאַסטריאַל אַפּלאַקיישאַנז, ספּעציעל אין פּראַסעסאַז מיט מאַטעריאַל עטשינג. סיליציום קאַרבידע איז אַ יינציק און אַוואַנסירטע סעראַמיק מאַטעריאַל באקאנט פֿאַר זייַן בוילעט פּראָפּערטיעס, אַרייַנגערעכנט הויך כאַרדנאַס, ויסגעצייכנט טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי און קעגנשטעל צו האַרב כעמישער ינווייראַנמאַנץ.
די כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן פּראָצעס ינוואַלווז דיפּאַזאַץ פון אַ דין פּלאַסט פון סיק אויף אַ סאַבסטרייט אין אַ קאַנטראָולד סוויווע, ריזאַלטינג אין אַ הויך-ריינקייַט און גענוי ענדזשאַנירד מאַטעריאַל. CVD סיליקאָן קאַרבידע איז באַוווסט פֿאַר זיין מונדיר און געדיכט מיקראָסטרוקטורע, ויסגעצייכנט מעטשאַניקאַל שטאַרקייַט און ימפּרוווד טערמאַל פעסטקייַט.
CVD סיליציום קאַרבידע (SiC) עטשינג רינג איז געמאכט פון CVD סיליציום קאַרבידע, וואָס ניט בלויז ינשורז ויסגעצייכנט געווער, אָבער אויך אַנטקעגנשטעלנ זיך כעמישער קעראָוזשאַן און עקסטרעם טעמפּעראַטור ענדערונגען. דאָס מאכט עס ידעאַל פֿאַר אַפּלאַקיישאַנז ווו פּינטלעכקייַט, רילייאַבילאַטי און לעבן זענען קריטיש.
✓ העכסט קוואַליטעט אין טשיינאַ מאַרק
✓ גוט דינסט שטענדיק פֿאַר איר, 7 * 24 שעה
✓ קורץ דאַטע פון עקספּרעס
✓ קליין מאָק באַגריסן און אנגענומען
✓ מנהג באַדינונגס
עפּיטאַקסי גראָוט סאַסעפּטאָר
סיליציום / סיליציום קאַרבידע ווייפערז דאַרפֿן צו גיין דורך קייפל פּראַסעסאַז צו זיין געוויינט אין עלעקטראָניש דעוויסעס. א וויכטיקער פראצעס איז סיליציום/סיק עפּיטאקסיע, אין וועלכע סיליציום/סיק וואפערס ווערן געטראגן אויף א גראפיט באזע. ספּעציעלע אַדוואַנטידזשיז פון סעמיסעראַ ס סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד גראַפייט באַזע אַרייַננעמען גאָר הויך ריינקייַט, מונדיר קאָוטינג און גאָר לאַנג דינסט לעבן. זיי אויך האָבן הויך כעמישער קעגנשטעל און טערמאַל פעסטקייַט.
געפֿירט טשיפּ פּראָדוקציע
בעשאַס די ברייט קאָוטינג פון די MOCVD רעאַקטאָר, די פּלאַנאַטערי באַזע אָדער טרעגער באוועגט די סאַבסטרייט ווייפער. די פאָרשטעלונג פון די באַזע מאַטעריאַל האט אַ גרויס השפּעה אויף די קאָוטינג קוואַליטעט, וואָס אין קער אַפעקץ די ברעקל קורס פון די שפּאָן. סעמיסעראַ ס סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד באַזע ינקריסאַז די מאַנופאַקטורינג עפעקטיווקייַט פון הויך-קוואַליטעט געפירט ווייפערז און מינאַמייז די ווייוולענגט דיווייישאַן. מיר אויך צושטעלן נאָך גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר אַלע MOCVD רעאַקטאָרס דערווייַל אין נוצן. מיר קענען מאַנטל כּמעט יעדער קאָמפּאָנענט מיט אַ סיליציום קאַרבידע קאָוטינג, אפילו אויב דער קאָמפּאָנענט דיאַמעטער איז אַרויף צו 1.5 ם, מיר קענען נאָך מאַנטל מיט סיליציום קאַרבידע.
סעמיקאַנדאַקטער פעלד, אָקסידאַטיאָן דיפיוזשאַן פּראָצעס, אאז"ו ו
אין די סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס, די אַקסאַדיישאַן יקספּאַנשאַן פּראָצעס ריקווייערז הויך פּראָדוקט ריינקייַט, און אין Semicera מיר פאָרשלאָגן מנהג און CVD קאָוטינג באַדינונגס פֿאַר די מערהייַט פון סיליציום קאַרבידע פּאַרץ.
די פאלגענדע בילד ווייזט די גראָב-פּראַסעסט סיליציום קאַרבידע סלערי פון סעמיסעאַ און די סיליציום קאַרבידע אויוון רער וואָס איז קלינד אין די 1000- מדרגהשטויב-פֿרייַצימער. אונדזער טוערס זענען ארבעטן איידער קאָוטינג. די ריינקייַט פון אונדזער סיליציום קאַרבידע קענען דערגרייכן 99.99%, און די ריינקייַט פון סיק קאָוטינג איז גרעסער ווי 99.99995%
רוי סיליציום קאַרבידע רודער און סיק פּראָצעס רער אין רייניקונג
סיליציום קאַרבידע ווייפער שיפל קווד סיק קאָוטאַד
