באַשרייַבונג
סיק קאָוטאַד גראַפיטע באַסע סוססעפּטאָרספֿאַר MOCVD פֿון סעמיסעראַ זענען ענדזשאַנירד צו צושטעלן יקסעפּשאַנאַל פאָרשטעלונג אין עפּיטאַקסיאַל גראָוט פּראַסעסאַז. די הויך-קוואַליטעט סיליציום קאַרבידע קאָוטינג אויף די גראַפייט באַזע ינשורז פעסטקייַט, געווער און אָפּטימאַל טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי בעשאַס MOCVD (מעטאַל אָרגאַניק כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן) אַפּעריישאַנז. דורך ניצן סעמיסעראַ ס ינאַווייטיוו סאַסעפּטאָר טעכנאָלאָגיע, איר קענען דערגרייכן ימפּרוווד פּינטלעכקייַט און עפעקטיווקייַט איןSi עפּיטאַקסיאוןSiC עפּיטאַקסיאַפּלאַקיישאַנז.
דיMOCVD סאַסעפּטערזזענען דיזיינד צו שטיצן אַ קייט פון יקערדיק סעמיקאַנדאַקטער קאַמפּאָונאַנץ, אַזאַ וויPSS עטשינג קאַריער, ICP עטשינג קאַריער, אוןRTP קאַריער, מאכן זיי ווערסאַטאַל פֿאַר פאַרשידן עטשינג און עפּיטאַקסיאַל טאַסקס. די היסכייַוועס פון Semicera צו הויך סטאַנדאַרדס ינשורז אַז די סאַסעפּטערז טרעפן די שטרענג פאדערונגען פון מאָדערן סעמיקאַנדאַקטער פּראָדוקציע.
ידעאַל פֿאַר נוצן איןגעפירט עפּיטאַקסיאַלסאַסעפּטאָר, פאַס סאַססעפּטאָר און מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום פּראַסעסאַז, די סאַסעפּטערז קענען זיין קאַסטאַמייזד פֿאַר פאַרשידענע ווייפער סיזעס, אַרייַנגערעכנט פּאַנקייק סוסעפּטאָר קאַנפיגיעריישאַנז. זיי זענען אויך זייער עפעקטיוו אין האַנדלינג פאָטאָוואָלטאַיק פּאַרץ, וואָס מאכט זיי אַ קריטיש קאָמפּאָנענט אין דער אַנטוויקלונג פון עפעקטיוו זונ - סעלז.
אין אַדישאַן, SiC Coated Graphite Base Susceptors פֿאַר MOCVD זענען אָפּטימיזעד פֿאַר GaN אויף SiC Epitaxy, וואָס אָפפערס הויך קאַמפּאַטאַבילאַטי מיט אַוואַנסירטע סעמיקאַנדאַקטער מאַטעריאַלס. צי איר זענט פאָוקיסט אויף ימפּרוווינג ייעלדס אָדער ימפּרוווינג די קוואַליטעט פון עפּיטאַקסיאַל גראָוט, סעמיסעראַ ס סוססעפּטאָרס צושטעלן די רילייאַבילאַטי און פאָרשטעלונג וואָס איז נויטיק פֿאַר הצלחה אין הויך-טעק ינדאַסטריז.
הויפּט פֿעיִקייטן
1 .הויך ריינקייַט סיק קאָוטאַד גראַפייט
2. העכער היץ קעגנשטעל & טערמאַל יונאַפאָרמאַטי
3. פייןסיק קריסטאַל קאָוטאַדפֿאַר אַ גלאַט ייבערפלאַך
4. הויך געווער קעגן כעמישער רייניקונג
הויפּט ספּעסאַפאַקיישאַנז פון CVD-SIC קאָאַטינגס:
| SiC-CVD | ||
| געדיכטקייַט | (ג/קק) | 3.21 |
| פלעקסוראַל שטאַרקייַט | (מפּאַ) | 470 |
| טערמאַל יקספּאַנשאַן | (10-6/ק) | 4 |
| טערמאַל קאַנדאַקטיוואַטי | (וו/מק) | 300 |
פּאַקינג און שיפּינג
צושטעלן אַביליטי:
10000 שטיק / פּיעס פּער חודש
פּאַקקאַגינג און עקספּרעס:
פּאַקינג: נאָרמאַל און שטאַרק פּאַקינג
פּאָלי זעקל + באָקס + קאַרטאָן + פּאַלאַט
פּאָרט:
נינגבאָ / שענזשען / שאַנגהאַי
לידינג צייט:
| קוואַנטיטי (פּיקס) | 1-1000 | >1000 |
| Est. צייט (טעג) | 30 | צו זיין ניגאָושיייטיד |
