סיליציום קאַרבידע עפּיטאַקסיאַל ווייפער דיסקס פֿאַר וועעקאָ עקוויפּמענט

סיליציום קאַרבידע עפּיטאַקסיאַלוואַפער דיסקס פֿאַר VEECO עקוויפּמענט פון סעמיסעראַ זענען פּינטלעכקייַט-ענדזשאַנירד פֿאַר אַוואַנסירטע עפּיטאַקסיאַל פּראַסעסאַז, ינשורינג הויך-קוואַליטעט רעזולטאַטן אין ביידעSi עפּיטאַקסיאוןSiC עפּיטאַקסיאַפּלאַקיישאַנז. די ווייפער דיסקס זענען ספּאַסיפיקלי דיזיינד פֿאַר VEECO ויסריכט, ענכאַנסינג די פאָרשטעלונג און עפעקטיווקייַט פון פאַרשידן סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג פּראַסעסאַז. די עקספּערטיז פון Semicera געראַנטיז יקסעפּשאַנאַל געווער און פּינטלעכקייַט פֿאַר קריטיש אַפּלאַקיישאַנז.

די עפּיטאַקסיאַל ווייפער דיסקס זענען ידעאַל פֿאַר נוצן מיטMOCVD סאַסעפּטאָרסיסטעמען, פּראַוויידינג געזונט שטיצן פֿאַר יקערדיק קאַמפּאָונאַנץ אַזאַ וויPSS עטשינג קאַריער, ICP עטשינג קאַריער, אוןRTP קאַריער. אַדדיטיאָנאַללי, זיי פאָרשלאָגן ימפּרוווד קאַמפּאַטאַבילאַטי מיטגעפירט עפּיטאַקסיאַל סוסעפּטאָר, פאַס סאַססעפּטאָר און מאָנאָקריסטאַללינע סיליציום פּראַסעסאַז, ינשורינג אַז דיין פּראָדוקציע שורות האַלטן די העכסטן סטאַנדאַרדס פון עפעקטיווקייַט און אַקיעראַסי.

די ווייפער דיסקס, דיזיינד פֿאַר קאַטינג-ברעג טעכנאָלאָגיע, ביישטייערן באטייטיק צו דער פּראָדוקציע פון ​​פאָטאָוואָלטאַיק פּאַרץ און פאַסילאַטייט קאָמפּלעקס פּראַסעסאַז ווי GaN אויף SiC Epitaxy. צי זיי זענען געניצט פֿאַר פּאַנקייק סוססעפּטאָר קאַנפיגיעריישאַנז אָדער אנדערע פאדערן אַפּלאַקיישאַנז, סעמיסעראַ ס סיליקאָן קאַרבידע עפּיטאַקסיאַל וואַפער דיסקס צושטעלן אַ פאַרלאָזלעך יסוד פֿאַר אַוואַנסירטע סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג, ינשורינג אָפּטימאַל פאָרשטעלונג און לאַנג-טערמין געווער.