די טערמאַל אַקסייד שיכטע פון אַ סיליציום ווייפער איז אַ אַקסייד שיכטע אָדער סיליקאַ שיכטע געשאפן אויף די נאַקעט ייבערפלאַך פון אַ סיליציום ווייפער אונטער הויך טעמפּעראַטור טנאָים מיט אַ אַקסאַדייזינג אַגענט.די טערמאַל אַקסייד שיכטע פון סיליציום ווייפער איז יוזשאַוואַלי דערוואַקסן אין אַ האָריזאָנטאַל רער אויוון, און די גראָוט טעמפּעראַטור קייט איז בכלל 900 ° C ~ 1200 ° C, און עס זענען צוויי וווּקס מאָדעס פון "נאַס אַקסאַדיישאַן" און "טרוקן אַקסאַדיישאַן".די טערמאַל אַקסייד שיכטע איז אַ "דערוואַקסן" אַקסייד שיכטע וואָס האט העכער כאָומאַדזשיניאַטי און העכער דיעלעקטריק שטאַרקייַט ווי די CVD דיפּאַזאַטאַד אַקסייד שיכטע.די טערמאַל אַקסייד שיכטע איז אַ ויסגעצייכנט דיעלעקטריק שיכטע ווי אַ ינסאַלייטער.אין פילע סיליציום-באזירט דעוויסעס, די טערמאַל אַקסייד שיכטע פיעסעס אַ וויכטיק ראָלע ווי אַ דאָפּינג בלאַקינג שיכטע און ייבערפלאַך דיעלעקטריק.
עצות: אָקסידאַטיאָן טיפּ
1. טרוקן אַקסאַדיישאַן
דער סיליציום רעאַגירט מיט זויערשטאָף, און די אַקסייד שיכטע באוועגט צו די בייסאַל שיכטע.טרוקן אַקסאַדיישאַן דאַרף זיין דורכגעקאָכט ביי אַ טעמפּעראַטור פון 850 צו 1200 ° C, און די גראָוט קורס איז נידעריק, וואָס קענען זיין געוויינט פֿאַר די MOS ינסאַליישאַן טויער וווּקס.ווען אַ הויך קוואַליטעט, הינטער-דין סיליציום אַקסייד שיכטע איז פארלאנגט, טרוקן אַקסאַדיישאַן איז בילכער איבער נאַס אַקסאַדיישאַן.
טרוקן אַקסאַדיישאַן קאַפּאַציטעט: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)
2. נאַס אַקסאַדיישאַן
דער אופֿן ניצט אַ געמיש פון הידראָגען און הויך-ריינקייַט זויערשטאָף צו ברענען בייַ ~ 1000 ° C, אַזוי פּראַדוסינג וואַסער פארע צו פאָרעם אַן אַקסייד שיכטע.כאָטש נאַס אַקסאַדיישאַן קענען נישט פּראָדוצירן ווי הויך קוואַליטעט אַקסאַדיישאַן שיכטע ווי טרוקן אַקסאַדיישאַן, אָבער גענוג צו ווערן געניצט ווי אַ אפגעזונדערטקייט זאָנע, קאַמפּערד מיט טרוקן אַקסאַדיישאַן האט אַ קלאָר מייַלע איז אַז עס האט אַ העכער וווּקס קורס.
נאַס אַקסאַדיישאַן קאַפּאַציטעט: 50nm ~ 15μm (500A ~15μm)
3. טרוקן אופֿן - נאַס אופֿן - טרוקן אופֿן
אין דעם אופֿן, ריין טרוקן זויערשטאָף איז באפרייט אין די אַקסאַדיישאַן אויוון אין דער ערשט בינע, הידראָגען איז צוגעגעבן אין די מיטן פון די אַקסאַדיישאַן, און הידראָגען איז סטאָרד אין די סוף צו פאָרזעצן די אַקסאַדיישאַן מיט ריין טרוקן זויערשטאָף צו פאָרעם אַ דענסער אַקסאַדיישאַן סטרוקטור ווי דער פּראָסט נאַס אַקסאַדיישאַן פּראָצעס אין די פאָרעם פון וואַסער פּאַרע.
4. טעאָס אַקסאַדיישאַן
| אָקסידאַטיאָן טעכניק | נאַס אַקסאַדיישאַן אָדער טרוקן אַקסאַדיישאַן |
| דיאַמעטער | 2″ / 3″ / 4″ / 6″ / 8″ / 12″ |
| אַקסייד גרעב | 100 אַ ~ 15 μם |
| טאָלעראַנץ | +/- 5% |
| ייבערפלאַך | איין זייַט אַקסאַדיישאַן (ססאָ) / טאָפּל זייטן אַקסאַדיישאַן (דסאָ) |
| אויוון | האָריזאָנטאַל רער אויוון |
| גאַז | הידראָגען און זויערשטאָף גאַז |
| טעמפּעראַטור | 900℃ ~ 1200 ℃ |
| רעפראַקטיווע אינדעקס | 1.456 |
