SOI וואַפערס

קורץ באַשרייַבונג:

די SOI ווייפער איז אַ סענדוויטש-ווי סטרוקטור מיט דריי לייַערס;אַרייַנגערעכנט די שפּיץ שיכטע (מיטל שיכטע), די מיטן פון די בעריד זויערשטאָף שיכטע (פֿאַר די ינסאַלייטינג סיאָ 2 שיכטע) און די דנאָ סאַבסטרייט (פאַרנעם סיליציום).SOI ווייפערז זענען געשאפן מיט די SIMOX אופֿן און ווייפער באַנדינג טעכנאָלאָגיע, וואָס אַלאַוז טינער און מער פּינטלעך מיטל לייַערס, מונדיר גרעב און נידעריק דעפעקט געדיכטקייַט.

שיקן בליצפּאָסט צו אונדז

פּראָדוקט דעטאַל

פּראָדוקט טאַגס

SOI Wafers (1)

אַפּפּליקאַטיאָן פעלד

1. הויך-גיכקייַט ינאַגרייטיד קרייַז

2. מייקראַווייוו דעוויסעס

3. הויך טעמפּעראַטור ינאַגרייטיד קרייַז

4. מאַכט דעוויסעס

5. נידעריק מאַכט ינאַגרייטיד קרייַז

6. מעמס

7. נידעריק וואָולטידזש ינאַגרייטיד קרייַז

נומער		אַרגומענט
קוילעלדיק	ווייפער דיאַמעטער 晶圆尺寸 (מם)	50/75/100/125/150/200 מם ± 25ום
	בויגן / וואָרפּ 翘曲度(	<10um
	פּאַרטיקאַלז 颗粒度(	0.3ום <30ea
	פלאַץ / קאַרב 定位边/定位槽	פלאַך אָדער קאַרב
	עדזש יקסקלוזשאַן 边缘去除 (מם)	/
מיטל שיכטע 器件层	מיטל-שיכטע טיפּ / דאָפּאַנט 器件层掺杂类型	N-Type / P-Type ב / פּ / סב / ווי
	מיטל-שיכטע אָריענטירונג 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	מיטל-שיכטע גרעב 器件层厚度(um)	0.1 ~ 300ום
	מיטל-שיכטע רעסיסטיוויטי 器件层电阻率(אָהם•קם)	0.001 ~ 100,000 אָום-סענטימעטער
	מיטל-שיכטע פּאַרטיקאַלז 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	מיטל שיכטע TTV 器件层TTV(	<10um
	מיטל לייַער ענדיקן 器件层表面处理	פּאַלישט
BOX	בעריד טערמאַל אַקסייד גרעב 埋氧层厚度(um)	50nm (500Å) ~ 15um
שעפּן שיכטע 衬底	שעפּן וואַפער טיפּ / דאָמאַנט 衬底层类型	N-Type / P-Type ב / פּ / סב / ווי
	שעפּן וואַפער אָריענטירונג 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	שעפּן וואַפער רעסיסטיוויטי 衬底电阻率(אָהם•קם)	0.001 ~ 100,000 אָום-סענטימעטער
	שעפּן ווייפער גרעב 衬底厚度 (ום)	>100ום
	שעפּן וואַפער ענדיקן 衬底表面处理	פּאַלישט
SOI ווייפערז פון ציל ספּעסאַפאַקיישאַנז קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט צו קונה באדערפענישן.