די סאָליד סיליציום קאַרבידע (SiC) עטשינג רינגס געפֿינט דורך Semicera זענען מאַניאַפאַקטשערד דורך די כעמישער פארע דעפּאָסיטיאָן (CVD) אופֿן און זענען אַ בוילעט רעזולטאַט אין די פעלד פון פּינטלעכקייַט עטשינג פּראָצעס אַפּלאַקיישאַנז. די סאָליד סיליציום קאַרבידע (SiC) עטשינג רינגס זענען באַוווסט פֿאַר זייער ויסגעצייכנט כאַרדנאַס, טערמאַל פעסטקייַט און קעראָוזשאַן קעגנשטעל, און די העכער מאַטעריאַל קוואַליטעט איז ינשורד דורך CVD סינטעז.
דיזיינד ספּאַסיפיקלי פֿאַר עטשינג פּראַסעסאַז, די סאָליד סיליציום קאַרבידע (SiC) עטשינג רינגס, די גראָב סטרוקטור און יינציק מאַטעריאַל פּראָפּערטיעס שפּילן אַ שליסל ראָלע אין דערגרייכן פּינטלעכקייַט און רילייאַבילאַטי. ניט ענלעך טראדיציאנעלן מאַטעריאַלס, די האַרט סיק קאָמפּאָנענט האט אַנפּעראַלעלד געווער און טראָגן קעגנשטעל, וואָס מאכט עס אַ ינדיספּענסאַבאַל קאָמפּאָנענט אין ינדאַסטריז וואָס דאַרפן פּינטלעכקייַט און לאַנג לעבן.
אונדזער סאָליד סיליציום קאַרבידע (SiC) עטשינג רינגס זענען פּינטלעכקייַט מאַניאַפאַקטשערד און קוואַליטעט קאַנטראָולד צו ענשור זייער העכער פאָרשטעלונג און רילייאַבילאַטי. צי אין סעמיקאַנדאַקטער מאַנופאַקטורינג אָדער אנדערע פֿאַרבונדענע פעלדער, די סאָליד סיליציום קאַרבידע (סיק) עטשינג רינגס קענען צושטעלן סטאַביל עטשינג פאָרשטעלונג און ויסגעצייכנט עטשינג רעזולטאַטן.
אויב איר זענט אינטערעסירט אין אונדזער סאָליד סיליציום קאַרבידע (סיק) עטשינג רינג, ביטע קאָנטאַקט אונדז. אונדזער מאַנשאַפֿט וועט צושטעלן דיטיילד פּראָדוקט אינפֿאָרמאַציע און פאַכמאַן טעכניש שטיצן צו טרעפן דיין באדערפענישן. מיר קוקן פאָרויס צו גרינדן אַ לאַנג-טערמין שוטפעס מיט איר און צוזאַמען פּראַמאָוטינג די אַנטוויקלונג פון די אינדוסטריע.
✓ העכסט קוואַליטעט אין טשיינאַ מאַרק
✓ גוט דינסט שטענדיק פֿאַר איר, 7 * 24 שעה
✓ קורץ דאַטע פון עקספּרעס
✓ קליין מאָק באַגריסן און אנגענומען
✓ מנהג באַדינונגס
עפּיטאַקסי גראָוט סאַסעפּטאָר
סיליציום / סיליציום קאַרבידע ווייפערז דאַרפֿן צו גיין דורך קייפל פּראַסעסאַז צו זיין געוויינט אין עלעקטראָניש דעוויסעס. א וויכטיקער פראצעס איז סיליציום/סיק עפּיטאקסיע, אין וועלכע סיליציום/סיק וואפערס ווערן געטראגן אויף א גראפיט באזע. ספּעציעלע אַדוואַנטידזשיז פון סעמיסעראַ ס סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד גראַפייט באַזע אַרייַננעמען גאָר הויך ריינקייַט, מונדיר קאָוטינג און גאָר לאַנג דינסט לעבן. זיי אויך האָבן הויך כעמישער קעגנשטעל און טערמאַל פעסטקייַט.
געפֿירט טשיפּ פּראָדוקציע
בעשאַס די ברייט קאָוטינג פון די MOCVD רעאַקטאָר, די פּלאַנאַטערי באַזע אָדער טרעגער באוועגט די סאַבסטרייט ווייפער. די פאָרשטעלונג פון די באַזע מאַטעריאַל האט אַ גרויס השפּעה אויף די קאָוטינג קוואַליטעט, וואָס אין קער אַפעקץ די ברעקל קורס פון די שפּאָן. סעמיסעראַ ס סיליציום קאַרבידע-קאָוטאַד באַזע ינקריסאַז די מאַנופאַקטורינג עפעקטיווקייַט פון הויך-קוואַליטעט געפירט ווייפערז און מינאַמייז די ווייוולענגט דיווייישאַן. מיר אויך צושטעלן נאָך גראַפייט קאַמפּאָונאַנץ פֿאַר אַלע MOCVD רעאַקטאָרס דערווייַל אין נוצן. מיר קענען מאַנטל כּמעט יעדער קאָמפּאָנענט מיט אַ סיליציום קאַרבידע קאָוטינג, אפילו אויב דער קאָמפּאָנענט דיאַמעטער איז אַרויף צו 1.5 ם, מיר קענען נאָך מאַנטל מיט סיליציום קאַרבידע.
סעמיקאַנדאַקטער פעלד, אָקסידאַטיאָן דיפיוזשאַן פּראָצעס, אאז"ו ו
אין די סעמיקאַנדאַקטער פּראָצעס, די אַקסאַדיישאַן יקספּאַנשאַן פּראָצעס ריקווייערז הויך פּראָדוקט ריינקייַט, און אין Semicera מיר פאָרשלאָגן מנהג און CVD קאָוטינג באַדינונגס פֿאַר די מערהייַט פון סיליציום קאַרבידע פּאַרץ.
די פאלגענדע בילד ווייזט די גראָב-פּראַסעסט סיליציום קאַרבידע סלערי פון סעמיסעאַ און די סיליציום קאַרבידע אויוון רער וואָס איז קלינד אין די 1000- מדרגהשטויב-פֿרייַצימער. אונדזער טוערס זענען ארבעטן איידער קאָוטינג. די ריינקייַט פון אונדזער סיליציום קאַרבידע קענען דערגרייכן 99.99%, און די ריינקייַט פון סיק קאָוטינג איז גרעסער ווי 99.99995%.
רוי סיליציום קאַרבידע רודער און סיק פּראָצעס רער אין רייניקונג
סיליציום קאַרבידע ווייפער שיפל קווד סיק קאָוטאַד
